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鈣鈦礦薄膜及其制備方法與流程

文檔序號:12888981閱讀:15186來源:國知局

本發(fā)明涉及光伏技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種鈣鈦礦薄膜及其制備方法。



背景技術(shù):

鈣鈦礦太陽能電池以其優(yōu)異的光電性能,成為研究的熱點。而鈣鈦礦薄膜研究是鈣鈦礦太陽能電池研究中的核心。

目前,鈣鈦礦薄膜的制備方法的一般采用旋涂法。旋涂法的具體操作為,將前驅(qū)體溶液旋涂在基板上,在旋涂過程中滴加反溶劑,最終退火晶化,形成鈣鈦礦薄膜。

但是,上述方法,由于受限于旋涂設(shè)備的尺寸,不能制備大面積的鈣鈦礦薄膜。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

基于此,有必要針對現(xiàn)有的鈣鈦礦薄膜的制備方法不能制備大面積薄膜的問題,提供一種可以制備大面積薄膜的鈣鈦礦薄膜的制備方法。

一種鈣鈦礦薄膜的制備方法,包括如下步驟:

將前驅(qū)體溶液噴涂在基板上,形成液膜;所述前驅(qū)體溶液包括溶劑、以及溶解在所述溶劑中的鈣鈦礦材料;

加熱所述基板,以使所述液膜形成半干膜;

將反溶劑噴涂在所述半干膜上以使所述半干膜晶化。

上述鈣鈦礦薄膜的制備方法,采用噴涂的方式,薄膜的面積取決于噴涂時噴頭的行程范圍,故而可以制備出大面積的鈣鈦礦薄膜。另外,由于采用噴涂的方式,還可以避免因旋涂所帶來的邊緣波浪形起伏的問題。

在其中一個實施例中,所述鈣鈦礦薄膜的制備方法還包括,在所述半干膜晶化之后,進(jìn)行退火操作。

在其中一個實施例中,所述退火操作的溫度為110℃~120℃,時間為10min~60min。

在其中一個實施例中,在所述半干膜晶化時,所述基板的溫度為80℃~100℃。

在其中一個實施例中,在所述半干膜晶化時,氣壓為負(fù)壓。

在其中一個實施例中,在形成所述半干膜的過程中,所述基板的溫度為80℃~100℃。

在其中一個實施例中,所述前驅(qū)體溶液的濃度為0.1mol/l~0.3mol/l。

在其中一個實施例中,所述溶劑選自n,n-二甲基甲酰胺、二甲基亞砜、異氟爾酮、乙二醇單甲醚和γ-丁內(nèi)酯中的一種或幾種。

在其中一個實施例中,所述反溶劑選自甲苯、氯苯、四氫呋喃、乙腈和乙醚中的一種或幾種。

本發(fā)明還提供了一種鈣鈦礦薄膜。

一種鈣鈦礦薄膜,所述鈣鈦礦薄膜通過本發(fā)明所提供的制備方法獲得。

上述鈣鈦礦薄膜的面積較大,有利于產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合具體實施方式,對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施方式僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。

除非另有定義,本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施方式的目的,不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。

一種鈣鈦礦薄膜的制備方法,包括如下步驟:

s1、將前驅(qū)體溶液噴涂在基板上,形成液膜。

其中,基板的作用是承載鈣鈦礦薄膜,也就是說,鈣鈦礦薄膜最終形成于基板上。基板可以是多層結(jié)構(gòu),例如已經(jīng)形成有鈣鈦礦電池其它層部件的多層結(jié)構(gòu),亦可以是其它在其上可以形成鈣鈦礦薄膜的載體板。本發(fā)明對基板沒有特殊限制。

其中,前驅(qū)體溶液包括溶劑、以及溶解在溶劑中的鈣鈦礦材料。

鈣鈦礦材料的一般通式為abx3,其中,a代表ch3nh3+(ma)或nh2ch=nh2+(fa)、cs、或rb中的一種或幾種;b代表pb、或sn中的一種或幾種;x代表鹵素或擬鹵素;鹵素選自cl、br或i;擬鹵素選自cn、硫氰根(scn)、氧氰根(ocn)、或硒氰根(secn)等。

優(yōu)選地,溶劑選自dmf、dmso、異氟爾酮、乙二醇單甲醚和γ-丁內(nèi)酯中的一種或幾種。這樣溶劑的沸點較高,可以進(jìn)一步有利于控制鈣鈦礦材料的晶化過程。

優(yōu)選地,前驅(qū)體溶液的濃度為0.1mol/l~0.3mol/l。這樣前驅(qū)體溶液的濃度較低,可以更進(jìn)一步提高形成的鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量。

在本發(fā)明中,前驅(qū)體溶液的配制,可以采用鈣鈦礦材料加入溶劑中溶解的配制方式,也可以是反應(yīng)物在溶劑中反應(yīng)得到鈣鈦礦材料的配制方法。

優(yōu)選地,在噴涂過程中,加熱基板,使基板的溫度為80℃~100℃。這樣可以進(jìn)一步促進(jìn)溶劑的揮發(fā),提高效率,同時又可以確保液膜中沒有晶體析出。當(dāng)然,可以理解的是,在噴涂過程中亦可以不加熱基板。

優(yōu)選地,前驅(qū)體溶液分多次噴涂,即將前驅(qū)體溶液分先后多次噴涂,這樣可以容易控制液膜的厚度以及均一性。當(dāng)然,可以理解的是,本發(fā)明的噴涂并不局限于分多次,還可以采用一次噴涂。

s2、加熱基板,以使液膜形成半干膜。

在此過程中,大部分溶劑在該階段被揮發(fā)出去,從而液膜轉(zhuǎn)變成半干膜。

優(yōu)選地,在形成半干膜的過程中,基板的溫度為80℃~100℃。

s3、在半干膜上噴涂反溶劑以使半干膜晶化。

其中,反溶劑,又稱負(fù)溶劑或逆溶劑,其作用是,促進(jìn)鈣鈦礦材料從溶劑中析出而晶化。

優(yōu)選地,反溶劑選自甲苯、氯苯、四氫呋喃、乙腈和乙醚中的一種或幾種。這樣可以跟進(jìn)一步提高鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量。

優(yōu)選地,在半干膜晶化時,也即噴涂反溶劑時,加熱基板。更優(yōu)選地,基板的溫度為80℃~100℃。加熱更有利于剩余的溶劑快速揮發(fā),更有利于晶化。

優(yōu)選地,在半干膜晶化時氣壓為負(fù)壓。也就是說,在半干膜晶化時對操作腔進(jìn)行抽真空操作。負(fù)壓更有利于剩余的溶劑快速揮發(fā),更有利于晶化。更優(yōu)選地,負(fù)壓為100pa~10000pa。

可以理解的是,在本發(fā)明中,上述加熱與上述負(fù)壓可以同時進(jìn)行,亦可以只進(jìn)行其中一個,亦可以兩個均不進(jìn)行。

在半干膜時噴涂反溶劑,這樣可以鈣鈦礦材料的晶化得到控制。若在未形成半干膜時噴涂反溶劑,則由于此時液膜的流動性較高,噴涂反溶劑后會導(dǎo)致晶體聚集,整個鈣鈦礦薄膜的平整度降低。若在形成半干膜之后很久噴涂反溶劑,則此時溶劑揮發(fā)過多,部分區(qū)域已經(jīng)開始晶化,從而使晶化不均勻,晶化得不到有效控制,不利于鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量提高。

更優(yōu)選地,噴涂反溶劑的時機為表面已經(jīng)干了,但是顏色還未變成深棕色。這樣可以更進(jìn)一步提高鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量。

在本發(fā)明中,優(yōu)選地,采用另外一個噴頭噴涂反溶劑,也就是說,噴涂前驅(qū)體溶液與噴涂反溶劑采用不同的噴頭,這樣避免采用同一個噴涂所造成污染問題,以及噴頭易堵塞的問題。當(dāng)然,本發(fā)明并不局限于此,也可以采用一個噴頭,在噴涂反溶劑之前,對該噴涂進(jìn)行清洗。

為了進(jìn)一步優(yōu)化鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量,還包括如下步驟:

s4、在半干膜晶化之后進(jìn)行退火操作。

經(jīng)過退火操作,可以使鈣鈦礦晶化更加完全,晶粒更大,從而有利于提高鈣鈦礦薄膜的質(zhì)量。

優(yōu)選地,退火操作的溫度為110℃~120℃,時間為10min~60min。更優(yōu)選地,時間為10min~30min。

本發(fā)明的鈣鈦礦薄膜的制備方法,采用噴涂的方式,薄膜的面積取決于噴涂時噴頭的行程范圍,故而可以制備出大面積的鈣鈦礦薄膜,一般可達(dá)200cm2。另外,由于采用噴涂的方式,還可以避免因旋涂所帶來的邊緣波浪形起伏的問題。本發(fā)明的鈣鈦礦薄膜的制備方法,鈣鈦礦材料幾乎全部用于形成鈣鈦礦薄膜,對原材料利用率高。在制備過程中,僅對基板進(jìn)行加熱,不需要大能耗支出,整體能耗較小。

本發(fā)明還提供了一種鈣鈦礦薄膜。

一種鈣鈦礦薄膜,所述鈣鈦礦薄膜通過本發(fā)明所提供的制備方法獲得。

上述鈣鈦礦薄膜的面積較大,有利于產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

以下結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

實施例1

將濃度為0.2m的前驅(qū)體溶液(mapbi3的dmf溶液)采用一噴頭噴涂在基板(fto/tio2)上。分6次噴涂,以使液膜的厚度為6μm。在噴涂過程中,加熱基板并基板的溫度保持在80℃。

噴涂結(jié)束后,繼續(xù)加熱基板,保持基板溫度100℃。

在液膜表面已干,但是還未變成深棕色時,采用另一噴頭噴涂反溶劑(甲苯);同時保持基板溫度100℃,操作腔內(nèi)的壓強為1000pa。

噴涂反溶劑結(jié)束后,升高基板溫度至110℃,并保持10min。得到鈣鈦礦薄膜。

以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進(jìn)行任意的組合,為使描述簡潔,未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進(jìn)行描述,然而,只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾,都應(yīng)當(dāng)認(rèn)為是本說明書記載的范圍。

以上所述實施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細(xì),但并不能因此而理解為對發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此,本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。

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