技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種勻光裝置及其制備方法，該勻光裝置包括：第一電極板、第二電極板、第三電極板、第四電極板、基底和液態(tài)透鏡，基底上設(shè)置有第一電極板、第二電極板、第三電極板和第四電極板，第一電極板和第二電極板組成第一組平行板電容器，第三電極板和第四電極板組成第二組平行板電容器，液態(tài)透鏡的底部被鑲嵌在基底上且液態(tài)透鏡位于第一組平行板電容器和第二組平行板電容器之間。制備方法：基底上光刻膠圖形化；濺射ZnO層；水浴生長(zhǎng)ZnO納米結(jié)構(gòu)；氟表面處理；殘余光刻膠去除；傳感器封裝。本發(fā)明能夠?qū)⒉痪鶆虻墓鈴?qiáng)分布利用液態(tài)透鏡振動(dòng)的方式轉(zhuǎn)化為均勻的光強(qiáng)分布，具有可調(diào)節(jié)性強(qiáng)、可持續(xù)利用等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：尹磊;劉紅忠;陳邦道;史永勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州瑞豐特科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.27
技術(shù)公布日：2017.09.22