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柵電極及其制作方法、陣列基板制作方法與流程

文檔序號(hào):11252724閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種柵電極及其制作方法、陣列基板制作方法,該柵電極制作方法包括以下步驟:S1,提供一基板,該基板包括柵電極區(qū)域和非柵電極區(qū)域;S2,在基板上形成柵電極層,該柵電極層包括對(duì)應(yīng)柵電極區(qū)域的導(dǎo)電部分和對(duì)應(yīng)非柵電極區(qū)域的透明部分。本發(fā)明提供的柵電極及其制作方法、陣列基板制作方法的技術(shù)方案,可以消除段差,從而在對(duì)非晶硅層進(jìn)行ELA工藝時(shí),可以避免因段差對(duì)多晶硅的結(jié)晶性能產(chǎn)生的影響,從而可以獲得良好的結(jié)晶效果。

技術(shù)研發(fā)人員:張斌;劉建宏;詹裕程;孫雪菲;周婷婷
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.26
技術(shù)公布日:2017.09.15
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