技術編號:11252724
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及顯示技術領域,具體地,涉及一種柵電極及其制作方法、陣列基板制作方法。背景技術低溫多晶硅技術(LowTemperaturePoly-silicon,簡稱LTPS)以其超薄、超輕、低能耗等優(yōu)勢,在目前市場上成為了中小尺寸顯示行業(yè)的主流。圖1為現有的LTPS技術中陣列基板的結構示意圖,請參閱圖1,陣列基板包括基板1、設置在該基板1上的柵電極層2,設置在該柵電極層2上的柵絕緣層3和設置在該柵絕緣層3上的有源層4(多晶硅層)。其中,上述柵電極層2用作底柵電極,在實際應用中存在以下問題:由于在柵電...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。