技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基于光致發(fā)光評估多晶硅錠的晶體質(zhì)量的方法,涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域,包括以下步驟:建立光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng);以光致發(fā)光硅片檢測系統(tǒng)檢測多晶硅片;獲取多晶硅片的少子壽命、位錯、晶界信息和雜質(zhì)含量的影響因子;將多晶硅片制備成電池片,測試電池片的電性能參數(shù);根據(jù)各個影響因子對電池片的電性能影響程度,獲取Q值;根據(jù)Q值評估多晶硅片的質(zhì)量。通過采用以上的方案,能夠構(gòu)建表征多晶硅片和硅錠晶體質(zhì)量的特征值,通過在線應(yīng)用檢測,評估多晶硅片的晶體質(zhì)量,同時以此評估整個硅錠的晶體質(zhì)量,提供熱場結(jié)構(gòu)改進和鑄錠工藝優(yōu)化的方向。
技術(shù)研發(fā)人員:李易成;梁學(xué)勤;陳發(fā)勤;李旭敏;李宏;張軍
受保護的技術(shù)使用者:宜昌南玻硅材料有限公司;中國南玻集團股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.26
技術(shù)公布日:2017.08.15