本發(fā)明涉及一種電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，特別涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工的裝置，屬于大功率電子束加工領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)的電子束偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)是在同一個環(huán)形鐵芯上繞制x方向和y方向偏轉(zhuǎn)線圈，通過在偏轉(zhuǎn)線圈上加上直流電壓信號使電子束產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，直流電壓信號的幅值決定電子束偏轉(zhuǎn)的角度大??；再在偏轉(zhuǎn)線圈上疊加一個交流信號，交流信號的幅值決定電子束掃描的幅度；交流信號的頻率決定了電子束掃描的快慢。這樣的偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)對于常規(guī)的30kw以內(nèi)的小功率、2khz的低頻、100mm以內(nèi)的窄幅電子束掃描系統(tǒng)是合適的。

對比文件1，申請?zhí)枮?01310346506.3的中國專利文獻(xiàn)中公開了一種用于電子束加工的電磁偏轉(zhuǎn)掃描線圈結(jié)構(gòu)和繞制方法，提供一種磁場分布均勻、渦流損耗低的用于電子束加工的電磁偏轉(zhuǎn)掃描線圈，減小了線圈的尺寸和重量，節(jié)約了制造成本。適用于電子束焊接設(shè)備等小功率電子束加工場合，該掃描線圈是在同一鐵芯上繞制偏轉(zhuǎn)線圈，同時實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)和掃描功能。

對比文件2，申請?zhí)枮?01510814394.9的中國專利文獻(xiàn)中公開了一種能夠?qū)崿F(xiàn)電子束寬幅掃描的控制裝置、方法以及能夠?qū)崿F(xiàn)電子束寬幅掃描的增材制造設(shè)備，使用了一種像散線圈，用以產(chǎn)生消像散磁，通過產(chǎn)生的消像散磁場來控制像散程度；不僅可以通過改變聚焦線圈電流來使電子束良好聚焦，還可以通過改變消像散線圈電流來消除電子束的像散，使得束斑仍然保持較高質(zhì)量。該發(fā)明也是在同一鐵芯上繞制偏轉(zhuǎn)線圈，同時實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)和掃描功能。適合功率不大于3kw的電子束加工設(shè)備。

隨著電子束加工技術(shù)的不斷發(fā)展，電子束加工功率要求增大到30-300kw，掃描頻率也要增加到3-30khz以上，掃描寬度增加到100mm-300mm。這樣的工況條件，常規(guī)的偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)已不能滿足電子束加工裝備的需求。具體表現(xiàn)在以下方面：首先，功率的增加使得電子束流增加和加速電壓增加，其中電子束流增加意味著電子束束斑面積增加，要求偏轉(zhuǎn)線圈直徑增加，而偏轉(zhuǎn)線圈直徑增加勢必導(dǎo)致偏轉(zhuǎn)磁場不均勻，這樣容易導(dǎo)致部分電子發(fā)散而打到電子槍體下部，甚至?xí)虻狡D(zhuǎn)線圈上，造成偏轉(zhuǎn)線圈損壞；加速電壓的提高會導(dǎo)致電子束速度增加，要達(dá)到同樣的偏轉(zhuǎn)角度就要求提供更大的偏轉(zhuǎn)功率，而偏轉(zhuǎn)功率的加大，會使偏轉(zhuǎn)線圈工作溫度增加，對偏轉(zhuǎn)線圈絕緣不利。其次，掃描頻率增加，意味著線圈電抗增加，產(chǎn)生同樣的偏轉(zhuǎn)角度需要的電源電壓幅值要求更高，某些場合高電壓會達(dá)到數(shù)千伏，如此高的電壓幅值會損壞線圈絕緣。同時鐵芯也必須使用高頻軟磁鐵芯，而高頻軟磁鐵芯其導(dǎo)磁率往往很低，這會降低偏轉(zhuǎn)線圈的磁場強(qiáng)度。寬幅掃描需要將電子束偏轉(zhuǎn)的角度增大，也就是偏轉(zhuǎn)掃描的直流分量要求增大，過大的直流分量加在鐵芯上會造成鐵芯偏磁，使得線圈電感降低，不但會降低偏轉(zhuǎn)磁場強(qiáng)度，還會由于電感非線性而使得電子束掃描能量分布不均勻，影響電子束加工質(zhì)量。為了解決傳統(tǒng)偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)不適用于大功率高頻寬幅電子束加工需求，本發(fā)明的發(fā)明人經(jīng)過不斷的實(shí)驗(yàn)研究，終于研發(fā)出本發(fā)明。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提出一種能夠?qū)崿F(xiàn)大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工的裝置，利用獨(dú)立的偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈分開的結(jié)構(gòu)及其cnc控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工，可用于大功率電子束焊機(jī)、電子束熔煉爐、電子束三維打印及其電子束表面處理等大功率電子束加工設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

一種大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，該裝置采用兩個獨(dú)立的線圈，一個用以產(chǎn)生電子束偏轉(zhuǎn)磁場的偏轉(zhuǎn)線圈1，另一個用于產(chǎn)生高頻掃描磁場、分別實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)功能和掃描功能的掃描線圈2；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1由偏轉(zhuǎn)電源3提供電源，所述的掃描線圈2由掃描電源4提供電源。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，該裝置包括：用于編制數(shù)控程序的上位控制計(jì)算機(jī)5、下位可編程控制器（plc）6；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1包含偏轉(zhuǎn)線圈鐵芯1-1、x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2以及y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3，所述的掃描線圈2包含掃描線圈鐵芯2-1、x方向掃描線圈2-2以及y方向掃描線圈2-3；所述的偏轉(zhuǎn)電源3給x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2和y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3供電，所述的掃描電源4給x方向掃描線圈2-2和y方向掃描線圈2-3供電；所述的上位控制計(jì)算機(jī)5通過通訊總線連接所述的下位可編程控制器（plc）6，所述的下位可編程控制器（plc）6將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號并將控制信號輸出到所述的偏轉(zhuǎn)電源3和所述的掃描電源4，所述的偏轉(zhuǎn)電源3將偏轉(zhuǎn)電流接入到所述的偏轉(zhuǎn)線圈1，實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)；所述的掃描電源4將掃描電流接入到所述的掃描線圈2，實(shí)現(xiàn)電子束掃描；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1和所述的掃描線圈2裝在電子槍聚焦線圈7下面，所述的偏轉(zhuǎn)線圈1安裝在所述的掃描線圈2上面。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述的偏轉(zhuǎn)線圈1與所述的掃描線圈2之間的匝數(shù)比為5:1至10:1之間。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述的x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2與所述的y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3之間的匝數(shù)比為1：1，所述的x方向掃描線圈2-2與所述的y方向掃描線圈2-3之間的匝數(shù)比為1：1。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，當(dāng)電子束進(jìn)入所述的偏轉(zhuǎn)線圈1之后，電子在偏轉(zhuǎn)磁場的作用下，偏離中心線一個±15°的角度；電子束進(jìn)入所述的掃描線圈2之后，在掃描交流磁場的作用下，按照程序設(shè)定的掃描圖形及頻率實(shí)現(xiàn)重復(fù)掃描，從而實(shí)現(xiàn)電子束掃描加工。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述的偏轉(zhuǎn)線圈1的偏轉(zhuǎn)線圈鐵芯1-1選用導(dǎo)磁率高、機(jī)械強(qiáng)度好的玻莫合金鐵芯材料；所述的掃描線圈2的掃描線圈鐵芯2-1選用高頻軟磁鐵芯。

所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述的偏轉(zhuǎn)線圈1的x方向偏轉(zhuǎn)線圈（1-2）和y方向偏轉(zhuǎn)線圈（1-3）分別繞制在鐵芯1-1上，偏轉(zhuǎn)線圈1的安匝數(shù)在800-1000安匝的范圍內(nèi)，匝數(shù)范圍采用1600-2000匝，這樣可以減小勵磁電流，使得勵磁電流不超過0.5安培，減小線圈發(fā)熱量。所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，所述的掃描線圈（2）x方向掃描線圈（2-2）和y方向掃描線圈（2-3）分別繞制在鐵芯上，掃描線圈（2）的安匝數(shù)在500-800安匝范圍內(nèi)，匝數(shù)范圍采用在200—400之間，可以降低高頻電抗，減小線圈體積，多出來的空間可以增加線圈的絕緣層厚度，從而提高掃描線圈（2）承受高電壓的能力，線圈耐壓等級可以達(dá)到10kv。

使用本發(fā)明的有益效果在于：利用獨(dú)立的偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈分開的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)單線圈結(jié)構(gòu)難以實(shí)現(xiàn)大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工的難題，并可通過cnc系統(tǒng)編程設(shè)定合成掃描軌跡及復(fù)雜工件加工，可用于大功率電子束焊機(jī)、電子束熔煉爐、電子束三維打印及其電子束表面處理等大功率電子束加工設(shè)備。由于采用雙線圈結(jié)構(gòu)，可以很方便根據(jù)各種不同應(yīng)用場合的需要設(shè)定各種不同的掃描波形、掃描寬度以及掃描頻率。因?yàn)槠D(zhuǎn)線圈分別有x方向偏轉(zhuǎn)線圈和y方向偏轉(zhuǎn)線圈兩組互相垂直的線圈，可以實(shí)現(xiàn)x方向和與之垂直的y方向的電子束偏轉(zhuǎn)；掃描線圈也有x方向掃描線圈和y方向掃描線圈兩組線圈，可以實(shí)現(xiàn)x方向和與之垂直的y方向的電子束掃描。每組線圈提供獨(dú)立的供電電源，可以通過計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)定每個電源的輸入，從而調(diào)節(jié)電子束位置及移動速度，可以通過標(biāo)準(zhǔn)cnc數(shù)控語言編程來實(shí)現(xiàn)電子束掃描加工軌跡及過程控制，并通過四個方向不同的組合實(shí)現(xiàn)復(fù)雜工件的電子束掃描加工。

附圖說明

圖1是本發(fā)明所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置的示意圖；

圖2示出了運(yùn)用了本發(fā)明的電子束掃描加工的一個實(shí)施例；

圖3電子槍下部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的結(jié)構(gòu)和工作過程進(jìn)行詳細(xì)描述。

如圖1、圖3所示，為本發(fā)明所述的大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置、電子槍下部的結(jié)構(gòu)示意圖；一種大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置，該裝置采用兩個獨(dú)立的線圈，一個用以產(chǎn)生電子束偏轉(zhuǎn)磁場的偏轉(zhuǎn)線圈1，另一個用于產(chǎn)生高頻掃描磁場、分別實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)功能和掃描功能的掃描線圈2；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1由偏轉(zhuǎn)電源3提供電源，所述的掃描線圈2由掃描電源4提供電源；該裝置包括：用于編制數(shù)控程序的上位控制計(jì)算機(jī)5、下位可編程控制器（plc）6；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1包含偏轉(zhuǎn)線圈鐵芯1-1、x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2以及y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3，所述的掃描線圈2包含掃描線圈鐵芯2-1、x方向掃描線圈2-2以及y方向掃描線圈2-3；所述的偏轉(zhuǎn)電源3給x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2和y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3供電，所述的掃描電源4給x方向掃描線圈2-2和y方向掃描線圈2-3供電；所述的上位控制計(jì)算機(jī)5通過通訊總線連接所述的下位可編程控制器（plc）6，所述的下位可編程控制器（plc）6將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號并將控制信號輸出到所述的偏轉(zhuǎn)電源3和所述的掃描電源4，所述的偏轉(zhuǎn)電源3將偏轉(zhuǎn)電流接入到所述的偏轉(zhuǎn)線圈1，實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)；所述的掃描電源4將掃描電流接入到所述的掃描線圈2，實(shí)現(xiàn)電子束掃描；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1和所述的掃描線圈2裝在電子槍聚焦線圈7下面，所述的偏轉(zhuǎn)線圈1安裝在所述的掃描線圈2上面；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1與所述的掃描線圈2之間的匝數(shù)比為5:1至10:1之間；所述的x方向偏轉(zhuǎn)線圈1-2與所述的y方向偏轉(zhuǎn)線圈1-3之間的匝數(shù)比為1：1，所述的x方向掃描線圈2-2與所述的y方向掃描線圈2-3之間的匝數(shù)比為1：1；當(dāng)電子束進(jìn)入所述的偏轉(zhuǎn)線圈1之后，電子在偏轉(zhuǎn)磁場的作用下，偏離中心線一個±15°的角度；電子束進(jìn)入所述的掃描線圈2之后，在掃描交流磁場的作用下，按照程序設(shè)定的掃描圖形及頻率實(shí)現(xiàn)重復(fù)掃描，從而實(shí)現(xiàn)電子束掃描加工；所述的偏轉(zhuǎn)線圈1的偏轉(zhuǎn)線圈鐵芯1-1選用導(dǎo)磁率高、機(jī)械強(qiáng)度好的玻莫合金鐵芯材料；所述的掃描線圈2的掃描線圈鐵芯2-1選用高頻軟磁鐵芯。

在圖1中，上位控制計(jì)算機(jī)5實(shí)現(xiàn)數(shù)控加工語言編程，可以根據(jù)設(shè)備加工需要，將加工工序和數(shù)控程序預(yù)先輸入計(jì)算機(jī)，電子束加工設(shè)備將按照數(shù)控程序規(guī)定的工藝進(jìn)行加工。上位控制計(jì)算機(jī)5通過通訊總線連接下位可編程控制器（plc）6，下位可編程控制器（plc）6將數(shù)字信號轉(zhuǎn)換成模擬信號并將控制信號輸出到偏轉(zhuǎn)電源3和掃描電源4。偏轉(zhuǎn)電源3將偏轉(zhuǎn)電流接入到偏轉(zhuǎn)線圈1，實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)。掃描電源4將掃描電流接入到掃描線圈2，實(shí)現(xiàn)電子束掃描。偏轉(zhuǎn)線圈1和掃描線圈2裝在電子槍聚焦線圈下面。偏轉(zhuǎn)線圈1裝在掃描線圈2上面，當(dāng)電子束進(jìn)入偏轉(zhuǎn)線圈1之后，電子在偏轉(zhuǎn)磁場的作用下，偏離中心線一個角度，本發(fā)明的偏轉(zhuǎn)掃描裝置偏轉(zhuǎn)角度可以達(dá)到±15°，能夠?qū)崿F(xiàn)寬幅電子束加工。電子束進(jìn)入掃描線圈2之后，在掃描交流磁場的作用下，按照程序設(shè)定的掃描圖形及頻率實(shí)現(xiàn)重復(fù)掃描，從而實(shí)現(xiàn)電子束掃描加工。

偏轉(zhuǎn)線圈主要實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)功能，由于偏轉(zhuǎn)磁場主要用于電子束斑定位，提供的電流主要是直流分量，電子束移動的頻率不需要太高頻率，可以選用導(dǎo)磁率高、機(jī)械強(qiáng)度好的玻莫合金鐵芯材料。x方向偏轉(zhuǎn)線圈和y方向偏轉(zhuǎn)線圈分別繞制在鐵芯上，偏轉(zhuǎn)線圈在一定安匝數(shù)的情況下，可以使用較高匝數(shù)，而減小勵磁電流。這樣偏轉(zhuǎn)功率可以減小，從而降低線圈發(fā)熱量。

掃描線圈主要實(shí)現(xiàn)電子束掃描功能，由于掃描磁場主要用于電子束做周期性運(yùn)動，提供的主要是交流分量，電子束移動頻率往往很高，有的場合要求頻率達(dá)到30khz，所以可以選用高頻軟磁鐵芯。x方向掃描線圈和y方向掃描線圈分別繞制在鐵芯上，掃描線圈在一定安匝數(shù)的情況下，可以使用較低匝數(shù)，以降低高頻電抗，同時減小線圈體積，增大勵磁電流，這樣掃描功率雖然增加，但由于體積減少，有足夠的空間來增加線圈絕緣強(qiáng)度，從而提高掃描線圈承受高電壓的能力，線圈耐壓等級可以達(dá)到10kv，從而滿足大功率寬幅高頻電子束掃描加工的需要。

本發(fā)明利用獨(dú)立的偏轉(zhuǎn)線圈和掃描線圈及其cnc控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大功率寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描加工，可用于大功率電子束焊機(jī)、電子束熔煉爐、電子束三維打印及其電子束表面處理等大功率電子束加工設(shè)備。

本發(fā)明采用雙線圈結(jié)構(gòu)分別實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)和掃描功能，偏轉(zhuǎn)線圈產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)磁場，實(shí)現(xiàn)電子束偏轉(zhuǎn)功能，偏轉(zhuǎn)磁場主要用于電子束斑定位，控制電子位于加工點(diǎn)，掃描線圈產(chǎn)生掃描磁場，實(shí)現(xiàn)電子束掃描功能，掃描磁場主要用于控制電子束做周期性運(yùn)動，讓電子束能按預(yù)定程序設(shè)定在工件上運(yùn)動并加工工件。雙線圈結(jié)構(gòu)能有效解決傳統(tǒng)單線圈偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)在大功率高頻寬幅掃描加工場合存在的技術(shù)缺陷，首先，功率的增加使得電子束流增加和加速電壓增加，其中電子束流增加意味著電子束束斑面積增加，要求偏轉(zhuǎn)線圈直徑增加，而值要求更高，某些場合高電壓會達(dá)到數(shù)千伏，如此高的電壓幅值會損壞線圈絕偏轉(zhuǎn)線圈直徑增加勢必導(dǎo)致偏轉(zhuǎn)磁場不均勻，這樣容易導(dǎo)致部分電子發(fā)散而打到電子槍體下部，甚至?xí)虻狡D(zhuǎn)線圈上，造成偏轉(zhuǎn)線圈損壞；加速電壓的提高會導(dǎo)致電子束速度增加，要達(dá)到同樣的偏轉(zhuǎn)角度就要求提供更大的偏轉(zhuǎn)功率，而偏轉(zhuǎn)功率的加大，會使偏轉(zhuǎn)線圈工作溫度增加，對偏轉(zhuǎn)線圈絕緣不利。雙線圈結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)結(jié)構(gòu)由于其偏轉(zhuǎn)線圈采用導(dǎo)磁率高的鐵芯材料，在不增加鐵芯體積的條件下，可以通過增加線圈匝數(shù)的方式來增加偏轉(zhuǎn)磁場強(qiáng)度，且空間磁場的均勻性也可以提高，不用靠增加勵磁功率的方式來增大磁場強(qiáng)度，因而也不會導(dǎo)致線圈過熱。其次，掃描頻率增加，意味著線圈電抗增加，產(chǎn)生同樣的偏轉(zhuǎn)角度需要的電源電壓幅緣。同時鐵芯也必須使用高頻軟磁鐵芯，而高頻軟磁鐵芯其導(dǎo)磁率往往很低，這會降低偏轉(zhuǎn)線圈的磁場強(qiáng)度。采用雙線圈結(jié)構(gòu)，偏轉(zhuǎn)線圈只提供低頻的偏轉(zhuǎn)磁場，可以實(shí)現(xiàn)電子束大角度寬幅偏轉(zhuǎn)，掃描線圈采用軟磁材料鐵芯，能適合掃描頻率30khz-50khz的掃描頻率。且掃描線圈匝數(shù)可以相對減少，有足夠的空間繞制高強(qiáng)度絕緣材料，以提高高頻線圈耐壓等級，線圈耐壓強(qiáng)度可以達(dá)到10kv。將偏轉(zhuǎn)線圈與掃描線圈分開，能有效解決單線圈高低頻特性不能兼顧的矛盾。第三、在傳統(tǒng)單線圈結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)中，寬幅掃描需要將電子束偏轉(zhuǎn)的角度增大，也就是偏轉(zhuǎn)掃描的直流分量要求增大，過大的直流分量加在鐵芯上會造成鐵芯偏磁，使得線圈電感降低，不但會降低偏轉(zhuǎn)磁場強(qiáng)度，還會由于電感非線性而使得電子束掃描能量分布不均勻，影響電子束加工質(zhì)量。采用雙線圈結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)掃描系統(tǒng)，偏轉(zhuǎn)線圈用于電子束大角度寬幅偏轉(zhuǎn)，線圈匝數(shù)提高可以增大線圈電感，由于偏轉(zhuǎn)磁場不需要快速改變方向，所以存在直流偏磁不會影響線圈的感抗。而掃描線圈只需要控制電子束做高頻掃描，不需要控制電子束做大幅度偏轉(zhuǎn)，不存在直流分量，所以掃描線圈工作點(diǎn)能始終工作在磁化曲線的線性區(qū)。這樣能保證電子束掃描能量分布均勻，從而保證電子束加工質(zhì)量。

在圖2所示實(shí)施例中，發(fā)明的雙線圈大功率電子束寬幅偏轉(zhuǎn)掃描裝置應(yīng)用于電子束表面改性加工設(shè)備中。電子束表面改性技術(shù)作為一種新興的技術(shù)，有著傳統(tǒng)表面處理技術(shù)所沒有的優(yōu)點(diǎn)。對于模具的表面改性來說，電子束可以精確的控制表面改性位置及能量。具有清潔、高效、低能耗的優(yōu)點(diǎn)。且電子束表面改性過程中材料表面瞬間升溫、冷卻，改性效果要明顯優(yōu)于常規(guī)熱處理。目前，將電子束表面改性技術(shù)應(yīng)用于模具工業(yè)在我國仍處于研究階段，距離工業(yè)化水平仍有很大的距離。圖2所示為某軍工沖壓模具的外形圖，在截面積為800mmx600mm的區(qū)域內(nèi)，分布著各種不同直徑的圓形沖壓頭，為了提高模具強(qiáng)度，需要在每個沖壓頭表面涂覆一層難熔金屬合金層，工藝要求對每個沖壓頭進(jìn)行電子束表面改性，由于沖壓頭分布廣、數(shù)量多、且大小規(guī)格不一，決定采用雙線圈寬幅電子束偏轉(zhuǎn)掃描裝置進(jìn)行編程加工，先將電子束偏轉(zhuǎn)到?jīng)_壓頭所在的中心位置，再利用電子束圓形掃描波形對沖壓頭進(jìn)行快速掃描加熱，掃描半徑、時間及頻率等參數(shù)可以通過cnc數(shù)控程序編程設(shè)定。電子束加工區(qū)域可以覆蓋整個工件，要求電子束偏轉(zhuǎn)角度達(dá)到±15°，電子束加工功率達(dá)到80kw，本發(fā)明提供的大功率寬幅偏轉(zhuǎn)掃描裝置能滿足該應(yīng)用場合的需要。

以上說明對本發(fā)明而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可做出許多修改、變化或等效，但都將落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。