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一種縱向高壓功率雙極結(jié)型晶體管及其制造方法與流程

文檔序號:11587006閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種縱向高壓功率雙極結(jié)型晶體管及其制造方法;在一種常規(guī)的縱向功率雙極結(jié)型集體管的基礎(chǔ)上,在所有基區(qū)邊緣加上第一層金屬,使基極第一層金屬邊緣全覆蓋基區(qū)之上,尺寸超出基區(qū)結(jié)深的一到五倍,而發(fā)射極金屬通過通孔以及第二層金屬引出。理論分析在器件處于反向耐壓工作狀態(tài)下,所有基區(qū)CB結(jié)邊緣由于金屬場板的覆蓋,使得耗盡區(qū)擴散時邊緣曲面結(jié)的曲率效應大大降低,BVcbo耐壓急劇變大,從而使得相應的BVceo變大,而對于正向增益無任何損失,本發(fā)明很好的解決了縱向NPN管中增益和BVceo耐壓的折中實現(xiàn)問題。本發(fā)明的橫向高壓功率雙極結(jié)型晶體管在其余參數(shù)影響不大,且增益基本維持不變的情況下,BVcbo提高40%以上、BVceo提高20%以上。

技術(shù)研發(fā)人員:劉建;劉青;稅國華;張劍喬;陳文鎖;張培健;易前寧
受保護的技術(shù)使用者:重慶中科渝芯電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.20
技術(shù)公布日:2017.08.11
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