技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種硅片清潔裝置，包括轉(zhuǎn)盤(pán)、傳送機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、頂板機(jī)構(gòu)以及清潔機(jī)構(gòu)，限位機(jī)構(gòu)包括矩形限位框，限位框設(shè)于上料工位工作臺(tái)上方，限位框上端設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置；頂板機(jī)構(gòu)包括依次連接的彎管接頭和支撐塊，彎管接頭一端與工作臺(tái)底端固定連接，彎管接頭另一端與支撐塊固定連接，支撐塊為外徑與彎管接頭外徑相同的四分之一圓形結(jié)構(gòu)，支撐塊圓心與轉(zhuǎn)盤(pán)底端鉸接，支撐塊上設(shè)有第二驅(qū)動(dòng)裝置；清潔機(jī)構(gòu)包括風(fēng)刀、毛刷以及用于固定風(fēng)刀和毛刷的支架，支架上設(shè)有第三驅(qū)動(dòng)裝置。本發(fā)明提供的一種硅片清潔裝置，采用轉(zhuǎn)盤(pán)、傳送機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、頂板機(jī)構(gòu)以及清潔機(jī)構(gòu)將硅片豎直設(shè)置并清潔硅片表面，提高清潔質(zhì)量，保證印刷質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：孫鐵囤;湯平;姚偉忠
受保護(hù)的技術(shù)使用者：常州億晶光電科技有限公司
文檔號(hào)碼：201710245583
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.14
技術(shù)公布日：2017.06.27