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低柵漏電容的縱向場效應晶體管及其制造方法與流程

文檔序號:12725315閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種低柵漏電容的縱向場效應晶體管,包括:

襯底,作為漏極;

P-體區(qū),形成于所述的襯底頂部的一部分;

N+注入?yún)^(qū),作為源極,形成于所述的P-體區(qū)頂部的一部分;

多晶硅,作為柵極,形成于所述的襯底頂部的另一部分與所述的P-體區(qū)頂部的另一部分之上;

其特征在于,還包括:

厚柵氧區(qū),形成于所述的多晶硅與所述的襯底之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管,其特征在于,所述的厚柵氧區(qū)為熱氧化層或淺槽隔離層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管,其特征在于,還包括:

P+注入?yún)^(qū),作為體區(qū)引出端,形成于所述的P-體區(qū)頂部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管,其特征在于,所述的多晶硅覆蓋于所述的P-體區(qū)頂部未設置N+注入?yún)^(qū)和P+注入?yún)^(qū)的部分以及所述的厚柵氧區(qū)的頂部。

5.一種低柵漏電容的縱向場效應晶體管的制造方法,其特征在于,包括以下步驟:

(A)在作為漏極的襯底的頂部的一部分形成有源區(qū)和厚柵氧區(qū);

(B)在所述厚柵氧區(qū)頂部及所述襯底頂部的一部分之上形成多晶硅作為柵極;

(C)在襯底頂部未被多晶硅覆蓋的部分形成P-體區(qū);

(D)在所述的P-體區(qū)頂部的一部分形成N+注入?yún)^(qū),作為源極。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管的制造方法,其特征在于,所述的步驟(A)具體為:

在所述襯底的頂部表面利用氮化硅作為掩膜層形成作為厚柵氧區(qū)的熱氧化層或淺槽隔離層。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管的制造方法,其特征在于,所述的步驟(B)具體為:

在所述厚柵氧區(qū)頂部以及所述襯底頂部兩者彼此相鄰的位置的之上形成的多晶硅,作為柵極。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管的制造方法,其特征在于,所述的步驟(C)具體包括以下步驟:

(C1)利用自對準工藝,以所述的多晶硅作為參考形成溝道;

(C2)在襯底頂部未被多晶硅覆蓋的部分進行注入,形成P-體區(qū);

(C3)根據(jù)需要進行熱過程退火,使所述的P-體區(qū)形成特定的結(jié)深。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的低柵漏電容的縱向場效應晶體管的制造方法,其特征在于,所述的步驟(D)具體為:

在所述的P-體區(qū)頂部的一部分形成N+注入?yún)^(qū),作為源極;在該P-體區(qū)頂部的另一部分形成P+注入?yún)^(qū)。

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