本發(fā)明涉及一種具備激光介質(zhì)循環(huán)管的激光振蕩裝置。

背景技術(shù)：

已知一種為了使向生成激光的諧振器部供給的激光介質(zhì)循環(huán)而具備激光介質(zhì)循環(huán)管和鼓風(fēng)機(jī)的激光振蕩裝置(例如日本特開平7-231129號公報(bào))。

從正進(jìn)行放電的諧振器部排出的激光介質(zhì)變?yōu)楦邷亍Ｍㄟ^像這樣變?yōu)楦邷氐募す饨橘|(zhì)，而激光介質(zhì)循環(huán)管被加熱，由此激光介質(zhì)循環(huán)管可能發(fā)生熱膨脹。存在這樣的激光介質(zhì)循環(huán)管的膨脹使諧振器部的結(jié)構(gòu)部件移位的風(fēng)險(xiǎn)，因此期望抑制該膨脹。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

在本發(fā)明的一個(gè)方式中，激光振蕩裝置具備：諧振器部，其具有用于導(dǎo)入激光介質(zhì)的導(dǎo)入口和用于排出激光介質(zhì)的排出口，該諧振器部生成激光；以及激光介質(zhì)循環(huán)管，其一端與導(dǎo)入口連接，另一端與排出口連接。

另外，激光振蕩裝置具備：鼓風(fēng)機(jī)，其設(shè)置于所述激光介質(zhì)循環(huán)管，該鼓風(fēng)機(jī)以將激光介質(zhì)從導(dǎo)入口導(dǎo)入到諧振器部、將被導(dǎo)入到諧振器部的激光介質(zhì)從排出口排出的方式使該激光介質(zhì)流動；以及絕熱機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)部，該絕熱機(jī)構(gòu)將在該激光介質(zhì)循環(huán)管中流動的激光介質(zhì)與激光介質(zhì)循環(huán)管之間的熱傳導(dǎo)切斷。

也可以是，絕熱機(jī)構(gòu)以遍及另一端與激光介質(zhì)循環(huán)管中的比該另一端靠下游側(cè)的位置之間的區(qū)間的方式設(shè)置。絕熱機(jī)構(gòu)也可以具有安裝于激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)表面的絕熱件。

也可以是，絕熱機(jī)構(gòu)具有絕熱管，該絕熱管與激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)表面相離地配置于該激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)側(cè)，并沿著激光介質(zhì)循環(huán)管延伸。在該情況下，從排出口排出的激光介質(zhì)流入到絕熱管，但不流入到激光介質(zhì)循環(huán)管與絕熱管之間的間隙。

絕熱管也可以在其上游側(cè)的端部或下游側(cè)的端部處被激光介質(zhì)循環(huán)管支承。也可以是，絕熱機(jī)構(gòu)具有整流機(jī)構(gòu)，該整流機(jī)構(gòu)對在激光介質(zhì)循環(huán)管中流動的激光介質(zhì)的流動進(jìn)行整流。

也可以是，整流機(jī)構(gòu)具有分隔壁，該分隔壁將激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)部的、沿著與激光介質(zhì)循環(huán)管的長度方向交叉的平面的截面區(qū)域分隔為多個(gè)區(qū)域。也可以是，整流機(jī)構(gòu)具有凸部，該凸部形成為從激光介質(zhì)循環(huán)管的內(nèi)表面突出。

也可以是，激光介質(zhì)循環(huán)管具有彎曲部，該彎曲部無接合處且光滑地彎曲延伸。也可以是，激光介質(zhì)循環(huán)管具有直管部，該直管部從另一端向下游側(cè)筆直地延伸。直管部也可以具有該直管部的當(dāng)量直徑的3倍以上的長度。

也可以是，激光介質(zhì)循環(huán)管具有波紋部，該波紋部與另一端相鄰地設(shè)置。也可以是，激光振蕩裝置還具備熱交換器，該熱交換器配置在鼓風(fēng)機(jī)與排出口之間，來從在激光介質(zhì)循環(huán)管中流動的激光介質(zhì)去除熱。也可以是，絕熱機(jī)構(gòu)以遍及另一端與熱交換器之間的區(qū)間的方式設(shè)置。

附圖說明

通過參照附圖來說明以下的優(yōu)選的實(shí)施方式，本發(fā)明的上述或其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)會變得更加明確。

圖1是一個(gè)實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。

圖2是表示圖1所示的絕熱機(jī)構(gòu)的一例的圖，以截面示出激光介質(zhì)循環(huán)管的第一管。

圖3是表示圖1所示的絕熱機(jī)構(gòu)的其它例的圖，以截面示出激光介質(zhì)循環(huán)管的第一管。

圖4是表示圖1所示的絕熱機(jī)構(gòu)的另一其它例的圖，以截面示出激光介質(zhì)循環(huán)管的第一管。

圖5是其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。

圖6是從圖5的箭頭a的方向(即激光介質(zhì)的流動方向)觀察圖5所示的整流機(jī)構(gòu)得到的圖，是將該整流機(jī)構(gòu)的一部分放大了的放大圖。

圖7是另一其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。

圖8是沿著圖7中的b-b切斷圖7所示的激光介質(zhì)循環(huán)管的第一管并將其一部分放大了的放大截面圖。

圖9是另一其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置的圖。

圖10是沿著圖9中的b-b切斷圖9所示的激光介質(zhì)循環(huán)管的第一管并將其一部分放大了的放大截面圖。

圖11是表示圖1所示的第一管的一個(gè)變形例的圖，以截面示出該第一管。

圖12是表示圖1所示的第一管的其它變形例的圖，以截面示出該第一管。

圖13是表示圖1所示的第一管的另一其它變形例的圖，以截面示出該第一管。

具體實(shí)施方式

下面，基于附圖來詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式。此外，在以下說明的各種實(shí)施方式中，對與已述的實(shí)施方式相同的要素標(biāo)注相同的標(biāo)記，省略詳細(xì)的說明。

首先，參照圖1來說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置10。激光振蕩裝置10具備諧振器部12、激光介質(zhì)循環(huán)管14、鼓風(fēng)機(jī)16、熱交換器18及20。

諧振器部12具有輸出鏡22、后鏡24、放電管26、放電管支承部28及30。輸出鏡22與后鏡24彼此相向地配置。輸出鏡22由部分反射鏡(所謂的半透半反鏡)構(gòu)成，另一方面，后鏡24由全反射鏡構(gòu)成。

放電管26配置在輸出鏡22與后鏡24之間。放電管26的一端被放電管支承部28支承，另一端被放電管支承部30支承。

放電管26具有彼此相向地配置的放電電極(未圖示)，從激光電源(未圖示)對這些放電電極施加電壓。向放電管26的內(nèi)部供給二氧化碳、氮?dú)?、氬氣等激光介質(zhì)。

當(dāng)從激光電源對放電電極施加電壓時(shí)，通過在放電電極間產(chǎn)生的放電而激光介質(zhì)被激勵，由此生成激光。在放電管26內(nèi)生成的激光在輸出鏡22與后鏡24之間通過光諧振而被放大，通過輸出鏡22后作為輸出激光l向外部射出。

放電管支承部28為中空構(gòu)件，在其內(nèi)部設(shè)置有后鏡24。放電管支承部28的內(nèi)部與放電管26的內(nèi)部連通。另外，放電管支承部28具有用于導(dǎo)入激光介質(zhì)的導(dǎo)入口34。

放電管支承部30為與放電管支承部28同樣的中空構(gòu)件，在放電管支承部30的內(nèi)部設(shè)置有輸出鏡22。放電管支承部30的內(nèi)部與放電管26的內(nèi)部連通。另外，放電管支承部30具有用于排出激光介質(zhì)的排出口36。

激光介質(zhì)循環(huán)管14劃定出向諧振器部12供給的激光介質(zhì)的流路。在本實(shí)施方式中，激光介質(zhì)循環(huán)管14具有第一管38、第二管40、第三管42以及第四管44。

第一管38的一個(gè)端部38a與形成于放電管支承部30的排出口36連接，另一端部38b與熱交換器18連接。第一管38的內(nèi)部通過排出口36而與放電管支承部30的內(nèi)部連通。

第二管40在熱交換器18與鼓風(fēng)機(jī)16之間延伸，該第二管40的內(nèi)部通過熱交換器18而與第一管38的內(nèi)部連通。

第三管42在鼓風(fēng)機(jī)16與熱交換器20之間延伸，該第三管42的內(nèi)部通過鼓風(fēng)機(jī)16而與第二管40的內(nèi)部連通。

第四管44的一個(gè)端部44a與形成于放電管支承部28的導(dǎo)入口34連接，另一端部44b與熱交換器20連接。第四管44的內(nèi)部通過導(dǎo)入口34而與放電管支承部28的內(nèi)部連通，另一方面，第四管44的內(nèi)部通過熱交換器20而與第三管42的內(nèi)部連通。

鼓風(fēng)機(jī)16設(shè)置在第二管40與第三管42之間，使激光介質(zhì)循環(huán)管14內(nèi)的激光介質(zhì)產(chǎn)生壓力變動，來使該激光介質(zhì)向圖1中的箭頭a所示的方向流動。

由此，激光介質(zhì)從第四管44通過導(dǎo)入口34而流入到放電管支承部28，在放電管26的內(nèi)部流動之后從排出口36向第一管38內(nèi)排出。這樣，通過激光介質(zhì)循環(huán)管14和諧振器部12而劃定出激光介質(zhì)的循環(huán)流路。

熱交換器18配置于鼓風(fēng)機(jī)16的上游側(cè)，從在第一管38內(nèi)流動來的激光介質(zhì)去除熱。另一方面，熱交換器20配置于鼓風(fēng)機(jī)16的下游側(cè)，從在第三管42內(nèi)流動來的激光介質(zhì)去除熱。

在此，激光振蕩裝置10還具備設(shè)置在激光介質(zhì)循環(huán)管14的內(nèi)部的絕熱機(jī)構(gòu)50。下面，參照圖2來說明絕熱機(jī)構(gòu)50的一例。

在圖2所示的例子中，絕熱機(jī)構(gòu)50包括安裝在第一管38的內(nèi)表面38c的絕熱件52。絕熱件52安裝成以遍及第一管38的上游側(cè)的端部38a與下游側(cè)的端部38b之間的區(qū)間地延伸的方式覆蓋第一管38的內(nèi)表面38c的整個(gè)區(qū)域。

絕熱件52將在第一管38內(nèi)流動的激光介質(zhì)與該第一管38之間的熱傳導(dǎo)切斷。根據(jù)本實(shí)施方式，能夠抑制通過在諧振器部12生成激光時(shí)從排出口36排出的高溫的激光介質(zhì)而第一管38被加熱從而該第一管38在其長度方向上發(fā)生熱膨脹。

另外，第一管38在排出口36與熱交換器18之間延伸，是激光介質(zhì)循環(huán)管14中最容易被從排出口36排出的激光介質(zhì)加熱的部分。在本實(shí)施方式中，絕熱件52設(shè)置于該第一管38，因此能夠有效地抑制激光介質(zhì)循環(huán)管14由于熱而膨脹。

接著，參照圖3來說明絕熱機(jī)構(gòu)50的其它例。在圖3所示的例子中，絕熱機(jī)構(gòu)50包括絕熱管54。該絕熱管54與第一管38的內(nèi)表面38c相離地配置于第一管38的內(nèi)表面38c的內(nèi)側(cè)。

絕熱管54以遍及第一管38的上游側(cè)的端部38a與比第一管38的下游側(cè)的端部38b稍靠上游側(cè)的位置之間的區(qū)間的方式沿著該第一管38延伸。在絕熱管54的上游側(cè)的端部54a形成有從該端部54a向外側(cè)突出的凸緣部56。

凸緣部56固定于第一管38。絕熱管54經(jīng)由凸緣部56且以向第一管38的內(nèi)表面38c的內(nèi)側(cè)與第一管38的內(nèi)表面38c相離的方式被第一管38支承。另一方面，絕熱管54的下游側(cè)的端部54b為自由端，與熱交換器18相離地配置在熱交換器18的上游側(cè)。

在第一管38的內(nèi)表面38c與絕熱管54的外表面54d之間形成有間隙58。從排出口36排出的激光介質(zhì)流入到絕熱管54內(nèi)，在絕熱管54的內(nèi)部流動而被導(dǎo)向熱交換器18。

根據(jù)本實(shí)施方式，能夠通過第一管38與絕熱管54之間的間隙58來將在絕熱管54內(nèi)流動的激光介質(zhì)與第一管38之間的熱傳導(dǎo)切斷。因而，能夠抑制通過從排出口36排出的高溫的激光介質(zhì)而第一管38被加熱從而第一管38在其長度方向上發(fā)生熱膨脹。

另外，根據(jù)本實(shí)施方式，在最容易被從排出口36排出的激光介質(zhì)加熱的第一管38中設(shè)置有絕熱管54，因此能夠有效地抑制激光介質(zhì)循環(huán)管14的由于熱而導(dǎo)致的膨脹。

另外，在本實(shí)施方式中，絕熱管54在其上游側(cè)的端部54a處經(jīng)由凸緣部56被第一管38支承，另一方面，絕熱管54的下游側(cè)的端部54b為自由端。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使絕熱管54通過來自激光介質(zhì)的熱傳導(dǎo)而被加熱，絕熱管54也能夠以其端部54b向熱交換器18靠近的方式發(fā)生熱膨脹。因而，能夠防止由于絕熱管54的熱膨脹而使諧振器部12的結(jié)構(gòu)部件移位。

接著，參照圖4來說明絕熱機(jī)構(gòu)50的另一其它例。在圖4所示的例子中，絕熱機(jī)構(gòu)50具有絕熱件52、絕熱管54以及安裝在該絕熱管54的內(nèi)表面54c的第二絕熱件60。

從排出口36排出的激光介質(zhì)流入到絕熱管54內(nèi)。第二絕熱件60將在絕熱管54內(nèi)流動的激光介質(zhì)與該絕熱管54之間的熱傳導(dǎo)切斷。根據(jù)本實(shí)施方式所涉及的絕熱機(jī)構(gòu)50，能夠通過絕熱件52、絕熱管54以及第二絕熱件60將從激光介質(zhì)向第一管38的熱傳導(dǎo)更有效地切斷。因此，能夠更有效地抑制第一管38在其長度方向上發(fā)生熱膨脹。

接著，參照圖5和圖6來說明其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置70。激光振蕩裝置70具備諧振器部12、激光介質(zhì)循環(huán)管14、鼓風(fēng)機(jī)16、熱交換器18、熱交換器20以及絕熱機(jī)構(gòu)50。本實(shí)施方式所涉及的絕熱機(jī)構(gòu)50具有絕熱件52和整流機(jī)構(gòu)72。

整流機(jī)構(gòu)72設(shè)置于激光介質(zhì)循環(huán)管14中的設(shè)置有絕熱件52的區(qū)間、即第一管38的內(nèi)部。如圖6所示，整流機(jī)構(gòu)72具有分隔壁72a。該分隔壁72a將第一管38的內(nèi)部空間的、沿著與該第一管38的延伸方向正交的平面的截面區(qū)域分割為多個(gè)區(qū)域。

本實(shí)施方式所涉及的分隔壁72a具有蜂巢構(gòu)造，將第一管38的內(nèi)部空間的截面區(qū)域分割為多個(gè)六邊形的區(qū)域。在第一管38中流動的激光介質(zhì)經(jīng)過該分隔壁72a地流動而被分流為多個(gè)層流，從而被整流，由此防止激光介質(zhì)產(chǎn)生紊流。

在像這樣對激光介質(zhì)的流動進(jìn)行整流的情況下，在第一管38中流動的激光介質(zhì)的溫度分布在接近第一管38的中心軸線的區(qū)域中為較高溫，而在接近第一管38的內(nèi)表面38c的區(qū)域中為較低溫。

換言之，整流機(jī)構(gòu)72通過對激光介質(zhì)的流動進(jìn)行整流來實(shí)現(xiàn)如下功能：使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38的區(qū)域中相對地下降，由此將從激光介質(zhì)向第一管38的熱傳導(dǎo)切斷。

在本實(shí)施方式中，通過絕熱件52和整流機(jī)構(gòu)72來構(gòu)成絕熱機(jī)構(gòu)50，由此能夠進(jìn)一步有效地抑制第一管38由于來自激光介質(zhì)的熱而發(fā)生熱膨脹。

接著，參照圖7和圖8來說明另一其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置80。激光振蕩裝置80具備諧振器部12、激光介質(zhì)循環(huán)管14、鼓風(fēng)機(jī)16、熱交換器18、熱交換器20以及絕熱機(jī)構(gòu)50。絕熱機(jī)構(gòu)50具有絕熱件52和整流機(jī)構(gòu)82。

整流機(jī)構(gòu)82設(shè)置于激光介質(zhì)循環(huán)管14中的設(shè)置有絕熱件52的區(qū)間、即第一管38的內(nèi)部。如圖8所示，整流機(jī)構(gòu)82具有形成于第一管38的內(nèi)表面的多個(gè)凸部82a。

這些凸部82a設(shè)置為從第一管38的內(nèi)表面38c向內(nèi)側(cè)突出，以沿著該內(nèi)表面38c的周向排列的方式進(jìn)行配置。各個(gè)凸部82a設(shè)置為沿著第一管38的長度方向即激光介質(zhì)的流動方向a延伸。絕熱件52以覆蓋內(nèi)表面38c和凸部82a的方式安裝于第一管38的內(nèi)部。

凸部82a對在第一管38中流動的激光介質(zhì)的流動進(jìn)行整流使之成為層流來防止激光介質(zhì)產(chǎn)生紊流，由此使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38的區(qū)域中相對地下降。這樣一來，整流機(jī)構(gòu)82實(shí)現(xiàn)將從激光介質(zhì)向第一管38的熱傳導(dǎo)切斷的功能。

在本實(shí)施方式中，通過絕熱件52和整流機(jī)構(gòu)82來構(gòu)成絕熱機(jī)構(gòu)50，由此能夠進(jìn)一步有效地抑制第一管38由于來自激光介質(zhì)的熱而發(fā)生熱膨脹。

接著，參照圖9和圖10來說明另一其它實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置90。激光振蕩裝置90具備諧振器部12、激光介質(zhì)循環(huán)管14、鼓風(fēng)機(jī)16、熱交換器18、熱交換器20以及絕熱機(jī)構(gòu)50。絕熱機(jī)構(gòu)50具有絕熱管54、整流機(jī)構(gòu)92以及絕熱件94。

整流機(jī)構(gòu)92具有形成于絕熱管54的內(nèi)表面54c的多個(gè)凸部92a。這些凸部92a設(shè)置為從絕熱管54的內(nèi)表面54c向內(nèi)側(cè)突出，以沿著該內(nèi)表面54c的周向排列的方式進(jìn)行配置。

各個(gè)凸部92a設(shè)置為沿著絕熱管54的長度方向即激光介質(zhì)的流動方向a延伸。絕熱件94以覆蓋絕熱管54的內(nèi)表面54c和凸部92a的方式進(jìn)行安裝。

凸部92a與上述的凸部82a同樣地對在第一管38內(nèi)流動的激光介質(zhì)的流動進(jìn)行整流使之成為層流來防止激光介質(zhì)產(chǎn)生紊流，由此使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38的區(qū)域中相對地下降。這樣一來，整流機(jī)構(gòu)92實(shí)現(xiàn)將從激光介質(zhì)向第一管38的熱傳導(dǎo)切斷的功能。

在本實(shí)施方式中，通過絕熱管54、整流機(jī)構(gòu)92以及絕熱件94來構(gòu)成絕熱機(jī)構(gòu)50，由此能夠進(jìn)一步有效地抑制第一管38由于來自激光介質(zhì)的熱而發(fā)生熱膨脹。

此外，能夠?qū)D1所示的第一管38施以各種變更。下面，參照圖11來說明一個(gè)變形例所涉及的第一管38’。

在該實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置10’中，第一管38’具有無接合處且光滑地彎曲延伸的彎曲部38d’。該第一管38’能夠通過對一根筆直的直管進(jìn)行彎曲加工而制得。通過像這樣制作第一管38’，能夠防止在彎曲部38d’形成通過焊接等使兩個(gè)管接合時(shí)產(chǎn)生的接合處。

通過設(shè)置這樣的彎曲部38d’，當(dāng)在第一管38’內(nèi)流動的激光介質(zhì)經(jīng)過該彎曲部38d’時(shí)，能夠使激光介質(zhì)的流動為層流，從而防止該激光介質(zhì)的流動產(chǎn)生紊流。其結(jié)果是，能夠使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38’的區(qū)域中相對地下降，由此能夠抑制第一管38’被加熱。

此外，作為圖11所示的絕熱機(jī)構(gòu)50，在應(yīng)用圖3所示的絕熱管54的情況下，該絕熱管54在相當(dāng)于第一管38’的彎曲部38d’的位置處具有沿著該彎曲部38d’延伸的彎曲部(未圖示)。在該情況下，第一管38’的彎曲部38d’與絕熱管54的彎曲部可以具有彼此大致相同的曲率。

接著，參照圖12來說明其它變形例所涉及的第一管38”。在該實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置10”中，第一管38”具有從與排出口36連接的端部38a”向下游側(cè)筆直地延伸的直管部38d”。在此，直管部38d”的長度l被設(shè)定為該直管部38d”的內(nèi)周面的當(dāng)量直徑r的3倍以上。

在這樣的直管部38d”中流動的激光介質(zhì)的流動為層流，由此能夠防止激光介質(zhì)的流動產(chǎn)生紊流。因而，使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38”的區(qū)域中相對地下降，由此能夠抑制第一管38”被加熱。

接著，參照圖13來說明另一其它變形例所涉及的第一管38”’。在該實(shí)施方式所涉及的激光振蕩裝置10”’中，第一管38”’具有波紋部38d”’。

波紋部38d”’與第一管38”’的一個(gè)端部38a”’相鄰地設(shè)置。波紋部38d”’即使在第一管38”’由于激光介質(zhì)的熱而在長度方向上發(fā)生了熱膨脹的情況下也能夠吸收該熱膨脹。

作為絕熱機(jī)構(gòu)50，能夠應(yīng)用圖2、圖3或圖4所示的方式。這樣，在本實(shí)施方式中，通過絕熱機(jī)構(gòu)50將從激光介質(zhì)向第一管38”’的熱傳導(dǎo)切斷，并且通過波紋部38d”’來吸收第一管38”’的熱膨脹。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠進(jìn)一步有效地抑制由于第一管38”’的熱膨脹而使諧振器部12的結(jié)構(gòu)要素移位的風(fēng)險(xiǎn)。

此外，絕熱機(jī)構(gòu)50也可以設(shè)置為在比排出口36靠下游側(cè)的激光介質(zhì)循環(huán)管14的第一位置與比該第一位置靠下游側(cè)的激光介質(zhì)循環(huán)管14的第二位置之間的區(qū)間延伸?；蛘?，絕熱機(jī)構(gòu)50也可以設(shè)置為以遍及激光介質(zhì)循環(huán)管14的整個(gè)區(qū)域的方式延伸。

另外，絕熱機(jī)構(gòu)50也可以只具有整流機(jī)構(gòu)72、82或92。在該情況下，絕熱機(jī)構(gòu)50也能夠使激光介質(zhì)的溫度在接近第一管38的區(qū)域中相對地下降，由此能夠?qū)⒌谝还?8與激光介質(zhì)之間的熱傳導(dǎo)切斷。

另外，也可以省略熱交換器18或20。例如，在省略了熱交換器18的情況下，也可以設(shè)置為第一管38在排出口36與鼓風(fēng)機(jī)16之間延伸，絕熱機(jī)構(gòu)50在與排出口36連接的第一管38的端部38a與鼓風(fēng)機(jī)16(或鼓風(fēng)機(jī)16的上游側(cè)的位置)之間的區(qū)間延伸。

另外，激光介質(zhì)循環(huán)管14既可以為圓筒狀，也可以為多邊形的筒狀構(gòu)件。

另外，在圖5所示的實(shí)施方式中，也可以設(shè)置有多個(gè)整流機(jī)構(gòu)72。例如，多個(gè)整流機(jī)構(gòu)72可以設(shè)置于第一管38，或者也可以是，第一整流機(jī)構(gòu)72設(shè)置于第一管38，而第二整流機(jī)構(gòu)72設(shè)置于第二管40、第三管42或第四管44。

另外，整流機(jī)構(gòu)72不限于圖6所示的蜂巢構(gòu)造，例如也可以具有將激光介質(zhì)循環(huán)管14的內(nèi)部空間的截面區(qū)域分割為兩個(gè)或四個(gè)區(qū)域的分隔壁。另外，通過分隔壁所劃定的各區(qū)域不限于圖6所示的六邊形，也可以是多邊形、圓形或橢圓形。另外，整流機(jī)構(gòu)可以構(gòu)成為具有分隔壁72a以及凸部82a或92a。

另外，在圖3所示的絕熱管54中，也可以在該絕熱管54的下游側(cè)的端部54b形成凸緣部56。在該情況下，絕熱管54在其下游側(cè)的端部處經(jīng)由凸緣部56被第一管38支承。

以上，通過發(fā)明的實(shí)施方式對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但上述的實(shí)施方式并不對權(quán)利要求書所涉及的發(fā)明進(jìn)行限定。另外，將本發(fā)明的實(shí)施方式中所說明的特征進(jìn)行組合而得到的方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)，但這些特征的組合未必全部是發(fā)明的技術(shù)方案所必需的。并且，能夠?qū)ι鲜龅膶?shí)施方式施以多種變更或改進(jìn)，這是本領(lǐng)域人員所清楚的。

另外，應(yīng)該注意：關(guān)于權(quán)利要求書、說明書以及附圖中示出的裝置、系統(tǒng)、程序以及方法中的動作、過程、步驟、工序以及階段等各處理的執(zhí)行順序，沒有特別注明“比…之前”、“…之前”等，而且，只要不是將之前的處理的輸出用在之后的處理中，就能夠以任意的順序來實(shí)現(xiàn)。關(guān)于權(quán)利要求書、說明書以及附圖中的動作流程，雖然為了便于說明而使用“首先，”、“接著，”“接下來”等進(jìn)行了說明，但是并不意味著必須以此順序來實(shí)施。