技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種倒裝結(jié)構(gòu)的三族氮化物微納發(fā)光器件，包括發(fā)光器件本體，所述發(fā)光器件本體自上而下依次有第一n型三族氮化物層(1)、圖形化掩膜層(2)、第二n型三族氮化物層(3)、三族氮化物有源層(4)、p型三族氮化物層(5)、反光導(dǎo)電層(6)、p型電極(7)，所述第一n型三族氮化物層(1)上設(shè)有n型電極(8)；所述第二n型三族氮化物層(3)為六角金字塔結(jié)構(gòu)或六角截頂金字塔結(jié)構(gòu)；所述圖形化掩膜層(2)的圖形為周期性多邊形或圓孔，尺寸為1μm～20μm，陣列周期為50μm～200μm；本發(fā)明還公開了一種倒裝結(jié)構(gòu)的三族氮化物微納發(fā)光器件的制備方法，本微納發(fā)光器件具有尺寸可控、晶體質(zhì)量高、性能穩(wěn)定、發(fā)光效率高的特點。

技術(shù)研發(fā)人員：楊億斌;張佰君;招瑜;肖也;羅東向;牟中飛;李京波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：廣東工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201710059899
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.24
技術(shù)公布日：2017.05.31