技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供具備電極的導(dǎo)電性良好且耐絕緣性良好、可靠性高的薄膜壓電元件的壓電驅(qū)動裝置，具備：振動板；第一電極層，設(shè)置于振動板上方；壓電體層，設(shè)置于第一電極層上方；第二電極層，設(shè)置于壓電體層上方；絕緣層，設(shè)置成覆蓋第一電極層、壓電體層及第二電極層的上表面；布線層，設(shè)置于絕緣層上方并與第二電極層導(dǎo)通，在第一電極層、壓電體層及第二電極層重疊的部分形成有源部，有源部在俯視時具有長邊方向和短邊方向，在短邊方向的兩端，第一電極層的端被配置在與布線層的端相同或者比布線層的端靠外側(cè)的位置，第二電極層的端被配置在與布線層的端相同或者比布線層的端靠內(nèi)側(cè)的位置，第一電極層的端被配置在比第二電極層的端靠外側(cè)的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：古林智一;山田大介
受保護(hù)的技術(shù)使用者：精工愛普生株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.24
技術(shù)公布日：2017.08.18