本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種觸摸傳感器及其制作方法、觸摸顯示面板。

背景技術(shù)：

目前，采用有機(jī)發(fā)光二極管的柔性顯示面板為實(shí)現(xiàn)觸控功能，通常需在顯示面板的基礎(chǔ)上貼合一層觸控模組，導(dǎo)致柔性顯示面板不能薄化。為了實(shí)現(xiàn)觸控式柔性顯示面板的輕薄化，使用集成技術(shù)替代了傳統(tǒng)的模組貼合技術(shù)，目前的集成技術(shù)主要有以下兩種：

一是將觸控電極集成在保護(hù)膜層、偏光片或者玻璃蓋板，這種方式雖然在一定程度上減薄了柔性顯示產(chǎn)品，但對(duì)保護(hù)膜層、偏光片以及玻璃蓋板的制作要求較高。

二是將觸控電極集成在薄膜封裝層的表面，觸控電極需要經(jīng)過光刻和濕法刻蝕工藝，但是光刻工藝的黃光效應(yīng)等會(huì)損傷有機(jī)發(fā)光顯示面板的發(fā)光層，同時(shí)濕法工藝過程中的酸性或堿性藥液容易損傷薄膜封裝層中的各膜層。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種觸摸傳感器及其制作方法、觸摸顯示面板，以實(shí)現(xiàn)降低觸摸傳感器的生產(chǎn)工藝難度，增強(qiáng)觸控電極的連接可靠性，同時(shí)有效避免觸控電極制作工藝對(duì)薄膜封裝層各膜層材料以及有機(jī)發(fā)光顯示面板中發(fā)光元件膜層材料的損傷，提高有機(jī)發(fā)光顯示面板工作的可靠性。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種觸摸傳感器，包括：基底，基底包括相對(duì)的第一表面和第二表面，在基底的第一表面設(shè)置有多個(gè)凹槽，凹槽為條狀，多個(gè)凹槽相互交叉構(gòu)成網(wǎng)格狀；

凹槽包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域以及交叉區(qū)域之外的延伸區(qū)域，凹槽底部在所述交叉區(qū)域到所述第二表面的垂直距離大于所述凹槽底部在所述延伸區(qū)域到所述第二表面的垂直距離；

凹槽底部不超出第一表面；

觸控電極，填充于凹槽內(nèi)。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種觸摸顯示面板，包括上述觸摸傳感器。

第三方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種觸摸傳感器的制作方法，包括：形成基底，基底相對(duì)的第一表面和第二表面；

在基底的第一表面上形成多個(gè)凹槽，所述凹槽相互交叉構(gòu)成網(wǎng)格狀；

凹槽包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域以及交叉區(qū)域之外的延伸區(qū)域；

凹槽底部在交叉區(qū)域到所述第二表面的垂直距離大于凹槽底部在延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離；凹槽底部不超出第一表面；

形成觸控電極，觸控電極填充于凹槽內(nèi)。

本發(fā)明實(shí)施例通過提供一種觸摸傳感器及其制作方法、觸摸顯示面板，在觸摸傳感器的基底上設(shè)置凹槽，在凹槽的交叉區(qū)域凹槽底部到第二表面的垂直距離大于凹槽底部在延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離，這樣的設(shè)置方式可以在使用噴墨打印方法形成觸控電極時(shí)，增強(qiáng)觸控電極材料的溶液在凹槽內(nèi)部的流動(dòng)性，從而使所形成的觸控電極均勻穩(wěn)定，對(duì)觸控電極的形成能夠?qū)崿F(xiàn)更好的控制，降低了觸控電極的制作難度，增強(qiáng)了觸控電極工藝穩(wěn)定性，并且使得觸控電極在凹槽內(nèi)均勻鋪展，大大降低了觸控電極的斷線可能性，從而提高觸控電極的觸控可靠性。

附圖說明

圖1A為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸傳感器的俯視圖；

圖1B為圖1A中C處凹槽的局部放大圖；

圖1C為圖1B沿AA的截面圖；

圖1D為圖1B沿BB的截面圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凹槽示意圖；

圖3A為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凹槽立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3B為圖3A的俯視圖；

圖3C為圖3B沿AA的截面圖；

圖4A～圖4C為本發(fā)明實(shí)施例提供的三種凹槽截面示意圖；

圖5為圖3B中沿BB的截面圖；

圖6A和圖6B分別為本發(fā)明實(shí)施例提供的兩種四邊形區(qū)域的示意圖；

圖7A為圖6B沿AA的截面示意圖；

圖7B～圖7C是本發(fā)明實(shí)施例給出的兩種凹槽截面形狀示意圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸顯示面板；

圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種觸摸顯示面板；

圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸傳感器的制作方法流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明?？梢岳斫獾氖?，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對(duì)本發(fā)明的限定。另外還需要說明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)。并且為了更加清楚的進(jìn)行說明，不同附圖之間延用了相同的附圖標(biāo)記。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一種觸摸傳感器，包括：基底，基底包括相對(duì)的第一表面和第二表面，在基底的第一表面設(shè)置有多個(gè)凹槽，所述凹槽為條狀，所述多個(gè)凹槽相互交叉構(gòu)成網(wǎng)格狀；凹槽包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域以及交叉區(qū)域之外的延伸區(qū)域，所述凹槽底部在所述交叉區(qū)域到所述第二表面的垂直距離大于所述凹槽底部在所述延伸區(qū)域到所述第二表面的垂直距離；

凹槽底部不超出所述第一表面；

觸控電極，填充于凹槽內(nèi)。

通常，觸摸傳感器的觸控電極直接形成于觸摸傳感器基底的表面，觸控電極的材料包括透明氧化銦錫，而在柔性顯示面板中，為了增加觸控電極的耐彎折性能會(huì)采用具有良好可撓性和較低阻抗的金屬網(wǎng)格電極，對(duì)于金屬網(wǎng)格的制作工藝可以采用直接以金屬油墨加以網(wǎng)印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金屬，再透過黃光微影制程，洗去多余成分而產(chǎn)生網(wǎng)格。無論哪一種方式，如果將金屬網(wǎng)格電極直接形成在有機(jī)發(fā)光顯示面板內(nèi)部，上述制程都會(huì)對(duì)發(fā)光元件造成不良影響。

本發(fā)明實(shí)施例采用噴墨打印的方式將觸控電極形成在基底上的凹槽內(nèi)，觸控電極的電極材料可以為金屬，將觸控電極的電極材料溶解在有機(jī)溶劑內(nèi)形成觸控電極的電極材料溶液，然后將電極材料溶液噴印至基底的凹槽內(nèi)，進(jìn)入凹槽內(nèi)的液體沿著凹槽的內(nèi)壁快速流動(dòng)，形成均勻的電極形狀，而后固化，有機(jī)溶劑揮發(fā)，從而形成觸控電極。本發(fā)明的實(shí)施例中，凹槽底部在交叉區(qū)域到第二表面的垂直距離大于凹槽底部在延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離，電極材料溶液在交叉區(qū)域的位置滴下，能夠使得滴在交叉區(qū)域的電極材料溶液向延伸區(qū)域進(jìn)行流動(dòng)，從而促使電極材料溶液在凹槽內(nèi)均勻鋪展，從而調(diào)控電極材料溶液在凹槽內(nèi)的流速和鋪展均勻性，保證形成的觸控電極的均一性，降低了觸控電極斷線的可能，并且使得各個(gè)的觸控電極具有均勻的阻抗，提升觸摸傳感器的觸摸性能。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中交叉區(qū)域是兩個(gè)或兩個(gè)以上條狀凹槽交叉形成的區(qū)域，而延伸區(qū)域是凹槽在交叉區(qū)域之外的區(qū)域。

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的說明，圖1A為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸傳感器的俯視圖，圖1B為圖1A中C處凹槽的局部放大圖，圖1C為圖1B沿AA的截面圖,圖1D為圖1B沿BB的截面圖。需要說明的是，為了更清楚的示出本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，圖1B省略了觸控電極。結(jié)合圖1A～1D所示，觸摸傳感器包括基底100，基底100具有相對(duì)的第一表面100a和第二表面100b，在基底100的第一表面100a設(shè)置有多個(gè)凹槽101，凹槽101為條狀，并且多個(gè)凹槽101交叉形成網(wǎng)格狀，觸控電極102填充于凹槽101，由于觸控電極102形成在凹槽101內(nèi)，所以多個(gè)交叉的凹槽內(nèi)填充的觸控電極相互之間電連接，形成一個(gè)用于檢測(cè)觸摸位置的觸控電極，凹槽101的交叉方式與需要的觸控電極的形狀相關(guān)，如圖1A示出了五條沿著第一方向X延伸的凹槽和五條沿著第二方向Y延伸的凹槽相互交叉，組成一個(gè)用于位置檢測(cè)的觸摸電極的形狀，但是本發(fā)明并不限定凹槽交叉形成的形狀，也不限定交叉的凹槽的數(shù)目。觸控電極102可以為自容式觸控電極，也可以為互容式觸控電極，當(dāng)觸控電極102為互容式觸控電極，觸控電極102包括觸控驅(qū)動(dòng)電極和觸控檢測(cè)電極，以實(shí)現(xiàn)觸摸位置的檢測(cè)，本發(fā)明對(duì)此不作限定。

凹槽101包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域S和交叉區(qū)域S之外的延伸區(qū)域E，凹槽101底部在交叉區(qū)域到第二表面的距離d1大于凹槽101底部在延伸區(qū)域到第二表面的距離d2，本發(fā)明實(shí)施例中，參考圖1C，凹槽101底部不超出第一表面100a，以保證所形成觸控電極的平整性和電連接性。

本發(fā)明實(shí)施例提供的觸摸傳感器的結(jié)構(gòu)在通過噴墨打印方式形成觸控電極的工藝中具有顯著的優(yōu)勢(shì)，在形成觸控電極102之前，在基底100的第一表面上形成多個(gè)凹槽101，多個(gè)凹槽101交叉構(gòu)成的網(wǎng)格形狀限定了觸控電極102的形狀，觸控電極102形成在凹槽101內(nèi)能夠有利于觸摸傳感器的減薄從而降低具有該觸摸傳感器的觸摸顯示面板的整體的厚度，使用戶具有更好的用戶體驗(yàn)，另一方面，在凹槽內(nèi)形成觸控電極之前，觸控電極的電極材料溶解在有機(jī)溶劑中，形成電極材料溶液，將電極材料溶液在凹槽的交叉區(qū)域進(jìn)行噴印，凹槽底部在交叉區(qū)域到第二表面的垂直距離大于凹槽底部在延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離有利于電極材料溶液從交叉區(qū)域向凹槽的延伸區(qū)域的流動(dòng)，從而加快電極材料溶液在凹槽內(nèi)部的流動(dòng)速率，一方面提升了工藝量產(chǎn)可行性，另一方面加強(qiáng)了觸控電極的鋪展均勻性，防止形成的觸控電極產(chǎn)生斷線，影響觸摸傳感器的觸摸穩(wěn)定性。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凹槽示意圖，如圖2所示，凹槽101包括沿第一方向X延伸的第一凹槽101a和沿第二方向Y延伸的第二凹槽101b，多條第一凹槽101a和多條第二凹槽101b相互交叉限定出四邊形區(qū)域103，四邊形區(qū)域103具有沿第一方向X的第一寬度a1和沿第二方向Y的第二寬度a2，相鄰所述四邊形區(qū)域103之間在所述第一表面第一方向X上具有第一距離L1，相鄰所述四邊形區(qū)域之間在第一表面第二方向Y上具有第二距離L2。

本發(fā)明實(shí)施例中凹槽101分為第一凹槽101a和第二凹槽101b，第一凹槽101a沿第一方向X延伸，第二凹槽101b沿第二方向Y延伸，橫縱交叉的第一凹槽和第二凹槽限定出四邊形區(qū)域，這樣的排布方式有利于第一凹槽和第二凹槽的工藝制作，可選的，第一寬度a1和第二寬度a2可以相等，均為a，即四邊形區(qū)域的形狀為正方形，第一距離L1和第二距離L2可以相等，均為L(zhǎng)，這里所述的第一距離和第二距離實(shí)際就分別為第二凹槽101b和第一凹槽101a在第一表面上的寬度，由于觸控電極形成在凹槽內(nèi)，當(dāng)?shù)谝痪嚯xL1和第二距離L2相等，有利于觸控電極的等阻抗設(shè)計(jì)，從而提高觸摸傳感器的觸摸性能。

圖3A為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種凹槽立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖3B為圖3A的俯視圖，圖3C為圖3B沿AA的截面圖，結(jié)合圖3A～圖3C，在交叉區(qū)域S，凹槽101底部向第一表面100a凸起，凸起具有向延伸區(qū)域E延伸的傾斜部1011，從交叉區(qū)域S向延伸區(qū)域E，傾斜部1011的高度逐漸減小。如圖3B，在交叉區(qū)域S，凹槽101底部向第一表面100a凸起，形成傾斜部1011，從而和延伸區(qū)域E的凹槽底部形成高度差，并且從凹槽區(qū)域S向延伸區(qū)域E，傾斜部1011的高度逐漸減小，如圖D1>D2，傾斜部從交叉區(qū)域S延伸至延伸區(qū)域E，逐漸減小的高度能夠使從交叉區(qū)域滴下的電極材料溶液利用自身重力向延伸區(qū)域流動(dòng)，從而使在交叉區(qū)域滴下的電極材料溶液均勻的鋪展形成觸控電極102，減小了觸控電極制作的工藝復(fù)雜度。

繼續(xù)參考圖3A，傾斜部1011的個(gè)數(shù)為四個(gè)，四個(gè)傾斜部1011分別向交叉區(qū)域S兩端的第一凹槽101a延伸，以及向交叉區(qū)域S兩端的第二凹槽101b延伸。需要說明的是，這里所說的傾斜部的個(gè)數(shù)為四個(gè)是指從一個(gè)交叉區(qū)域向外延伸的傾斜部的個(gè)數(shù)為四個(gè)，四個(gè)傾斜部1011分別向構(gòu)成交叉區(qū)域S的第一凹槽101a和第二凹槽101b的兩端延伸。傾斜部1011能夠引導(dǎo)電極材料溶液快速向延伸區(qū)域鋪展，需要說明的是，圖3A示出的傾斜部的形狀只是示例性的，只要從交叉區(qū)域S向延伸區(qū)域E傾斜部的高度逐漸減小就在本發(fā)明實(shí)施例保護(hù)的范圍之內(nèi)。

圖4A～圖4C為本發(fā)明實(shí)施例提供的三種凹槽截面示意圖，圖4A～4C的傾斜部截面為沿著圖3A中第一方向X或者第二方向Y垂直于第一表面的截面圖，第一表面即圖3A中X-Y平面，參考圖4A～圖4C，在第一方向或者第二方向上，傾斜部1011垂直于第一表面的截面形狀為三角形、梯形或者弧形，圖4A示出了傾斜部1011的截面形狀為三角形，圖4B示出了傾斜部1011的截面形狀為梯形，圖4C示出了傾斜部1011的截面形狀為弧形。三角形、梯形以及弧形的截面形狀使得電極材料溶液的液滴受到的流動(dòng)的力具有較大的重力方向的分量，有利于觸控電極溶液的液滴從交叉區(qū)域S向延伸區(qū)域E的流動(dòng)。

繼續(xù)參考圖3A，傾斜部1011從交叉區(qū)域向延伸區(qū)域延伸，向第一凹槽101a延伸的兩個(gè)傾斜部在第一方向X上的最大長(zhǎng)度之和d3小于等于第一寬度a1和第一距離L1之和；向第二凹槽101b延伸的兩個(gè)傾斜部在第二方向Y上的最大長(zhǎng)度之和d4小于等于第二寬度a2和第二距離L2之和；本發(fā)明實(shí)施例中一個(gè)傾斜部1011的長(zhǎng)度可以定義為從交叉區(qū)域的中心開始，向延伸區(qū)域延伸的傾斜部高度不再減小的位置止，兩點(diǎn)之間的長(zhǎng)度距離為傾斜部1011的長(zhǎng)度。可以理解的是，相鄰兩個(gè)交叉區(qū)域在第一方向上的最大距離即為第一寬度和第一距離之和，相鄰兩個(gè)交叉區(qū)域在第二方向上的最大距離即為第二寬度和第二距離之和。當(dāng)向第一凹槽101a延伸的兩個(gè)傾斜部在第一方向X上的最大長(zhǎng)度之和d3等于第一寬度a1和第一距離L1之和，在第一方向延伸的第一凹槽101a的底部將不存在平坦區(qū)域；當(dāng)向第二凹槽101b延伸的兩個(gè)傾斜部在第二方向Y上的最大長(zhǎng)度之和d4小于等于第二寬度a2和第二距離L2之和，在第二方向延伸的第二凹槽101b的底部將不存在平坦區(qū)域，電極材料溶液的液滴能夠利用自身重力從而具有最好的流動(dòng)性。

圖5為圖3B中沿著BB的截面圖，如圖5所示，傾斜部1011具有距離所述第一表面100a最近的第一頂點(diǎn)P和距離所述第一表面100a最遠(yuǎn)的第一低點(diǎn)Q，所述第一頂點(diǎn)P與所述第一低點(diǎn)Q的連線與所述第一表面100a之間的夾角為β，第一頂點(diǎn)P到所述第一表面的垂直距離為h；第一表面100a到凹槽底部的最大垂直距離為H，其中，當(dāng)0≤h≤H/2，β滿足：β≤arctan(2(H-h)/(a+L))。

可以理解的是，凹槽底部不超出第一表面100a，凹槽底部向第一表面100a凸起形成向延伸區(qū)域延伸的傾斜部1011，由于傾斜部1011從交叉區(qū)域向延伸區(qū)域的高度逐漸減小，傾斜部1011在交叉區(qū)域具有距離第一表面最近的第一頂點(diǎn)P，當(dāng)?shù)谝豁旤c(diǎn)到凹槽底部的垂直距離h滿足：0≤h≤H/2第一頂點(diǎn)P與第一低點(diǎn)Q的連線與所述第一表面100a之間的夾角β不能大于arctan(2(H-h)/(a+L))，當(dāng)夾角β小于arctan(2(H-h)/(a+L))，傾斜部能夠最大限度的向延伸區(qū)域延展，既能夠使從交叉區(qū)域滴下的電極材料溶液在凹槽內(nèi)具有良好的流動(dòng)性，又能夠防止傾斜部角度過大導(dǎo)致的觸控電極斷線。

可選的，圖6A和圖6B分別為本發(fā)明實(shí)施例提供的兩種四邊形區(qū)域的示意圖，如圖6A所示，四邊形區(qū)域103具有倒角103a，倒角103a可以為45°倒角。本發(fā)明實(shí)施例中，形成觸控電極時(shí)，電極材料溶液在交叉區(qū)域的位置滴下，進(jìn)入凹槽中，滴下的觸控電極溶液從交叉區(qū)域向凹槽的延伸區(qū)域進(jìn)行流動(dòng)，四邊形區(qū)域103的倒角103a，減小了觸控電極液滴從凹槽的交叉區(qū)域向延伸區(qū)域流動(dòng)的阻力，有利于觸控電極溶液的液滴從交叉區(qū)域向延伸區(qū)域的快速流動(dòng)，特別的，45°倒角的設(shè)計(jì)能夠使向第一方向和第二方向流動(dòng)的電極材料溶液具有相同的流體阻力分量，從而使向第一方向和第二方向流動(dòng)的電極材料溶液具有相同的流速，從而有利于觸控電極的制作工藝。

如圖6B所示，四邊形區(qū)域103具有圓角103b，圓角103b的半徑R滿足：0<R<a/2。圓角的設(shè)計(jì)可以減小流體在溝槽交叉位置的渦流現(xiàn)象，降低液體流動(dòng)的阻力。

圖7A為圖6B沿著AA的截面示意圖，參考圖7A，在凹槽的延伸區(qū)域，垂直于凹槽的延伸方向的截面上，凹槽具有多個(gè)凹槽寬度w1、w2……wn，從第一表面100a垂直指向凹槽底部的方向，多個(gè)凹槽寬度逐漸減小，即：w1<w2<……<wn。這樣設(shè)置的方式使得從凹槽頂部到凹槽底部具有一個(gè)傾斜角度，使凹槽側(cè)壁對(duì)電極材料溶液的壓力產(chǎn)生了分量，減小了流體對(duì)凹槽的直接沖擊，從而降低了壓差阻力，進(jìn)而可以有效的減小流體的阻力，加快了電極材料溶液的流動(dòng)，更有利于電極材料溶液在凹槽內(nèi)鋪展開來。

圖7B～圖7C是本發(fā)明實(shí)施例給出的兩種凹槽截面形狀示意圖，參考圖7B，在凹槽的延伸區(qū)域，垂直于凹槽延伸方向的截面上，凹槽的截面形狀為三角形，參考圖7C，在在凹槽的延伸區(qū)域，垂直于凹槽延伸方向的截面上，凹槽的截面形狀為弧形。在圖7B和圖7C的實(shí)施方式中，多個(gè)凹槽的寬度逐漸減小為0，即凹槽底部不為平面。此時(shí)凹槽的側(cè)壁對(duì)流動(dòng)在凹槽內(nèi)部的液體的壓差阻力最小。

繼續(xù)參考圖7C，第一表面100a到凹槽底部的最大垂直距離為H，凹槽在垂直于凹槽延伸方向的截面上與第一表面100a具有第一交點(diǎn)O，第一交點(diǎn)O與凹槽底部的連線OO’與經(jīng)過第一交點(diǎn)O垂直于第一表面100a的直線OM之間的夾角為α，其中，0<L/H<1，30°<α<60°。

α的角度表征凹槽側(cè)壁向凹槽底部的傾斜程度，L/H的比值代表凹槽側(cè)壁在特定傾斜程度下，凹槽向底部的延伸程度。發(fā)明人經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，隨著溝槽深度的增加，流淌在溝槽里的流體的速度梯度逐漸減小，因而當(dāng)溝槽深度大于溝槽頂面開口的寬度，30°<α<60°的條件下，能夠有效減小液體與溝槽壁接觸面的粘性阻力。

圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸顯示面板，包括上述任一一種觸摸傳感器，觸摸顯示面板可以為有機(jī)發(fā)光顯示面板，包括有機(jī)發(fā)光器件110，覆蓋有機(jī)發(fā)光器件110的薄膜封裝層111，觸摸傳感器TS直接形成于薄膜封裝層111的表面。

本實(shí)施例提供的觸摸顯示面板可以為有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板，觸摸顯示面板包括基底120，基底120可以為柔性基底。柔性基底可以由具有柔性的任意合適的絕緣材料形成。例如，柔性基底可以由諸如聚酰亞胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、多芳基化合物(PAR)或玻璃纖維增強(qiáng)塑料(FRP)等聚合物材料形成。柔性基底可以是透明的、半透明的或不透明的。柔性基底使得觸摸顯示面板能夠?qū)崿F(xiàn)彎曲、卷曲和可折疊等柔性顯示。

緩沖層121位于柔性基底上，緩沖層121可以覆蓋柔性基底的整個(gè)上表面。在一個(gè)實(shí)施例中，緩沖層包括無機(jī)層或有機(jī)層。例如，緩沖層可以由從諸如氧化硅(SiOx)、氮化硅(SiNx)、氮氧化硅(SiOxNy)、氧化鋁(AlOx)或氮化鋁(AlNx)等的無機(jī)材料或者諸如壓克力(acryl)、聚酰亞胺(PI)或聚酯等的有機(jī)材料中選擇的材料形成。緩沖層121可以包括單層或多個(gè)層。緩沖層阻擋氧和濕氣，防止?jié)駳饣螂s質(zhì)通過柔性基底擴(kuò)散，并且在柔性基底的上表面上提供平坦的表面。

薄膜晶體管TFT(Thin Film Transistor)位于緩沖層121上。本發(fā)明實(shí)施例以頂柵型的薄膜晶體管TFT為例進(jìn)行的結(jié)構(gòu)說明。

薄膜晶體管TFT包括位于緩沖層121上的半導(dǎo)體有源層122，半導(dǎo)體有源層122包括通過摻雜N型雜質(zhì)離子或P型雜質(zhì)離子而形成的源極區(qū)域122a和漏極區(qū)域122b。在源極區(qū)域122a和漏極區(qū)域122b之間的區(qū)域是其中不摻雜雜質(zhì)的溝道區(qū)域122c。

半導(dǎo)體有源層122可以通過非晶硅的結(jié)晶使非晶硅改變?yōu)槎嗑Ч瓒纬伞?/p>

為了使非晶硅結(jié)晶，可以利用諸如快速熱退火(RTA)法、固相結(jié)晶(SPC)法、準(zhǔn)分子激光退火(ELA)法、金屬誘導(dǎo)結(jié)晶(MIC)法、金屬誘導(dǎo)橫向結(jié)晶(MILC)法或連續(xù)橫向固化(SLS)法等各種方法。

柵絕緣層123包括諸如氧化硅、氮化硅或金屬氧化物的無機(jī)層，并且可以包括單層或多個(gè)層。

柵電極124位于柵絕緣層123上的特定區(qū)域中。柵電極124可以包括金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、鎳(Ni)、鉑(Pt)、鈀(Pd)、鋁(Al)、鉬(Mo)或鉻(Cr)的單層或多層，或者諸如鋁(Al):釹(Nd)合金、鉬(Mo):鎢(W)合金的合金。

層間絕緣層125位于柵電極124上。層間絕緣層125可以由氧化硅或氮化硅等的絕緣無機(jī)層形成?？蛇x擇地，層間絕緣層可以由絕緣有機(jī)層形成。

源電極126和漏電極127位于層間絕緣層125上。源電極126和漏電極127分別通過接觸孔電連接(或結(jié)合)到源極區(qū)域和漏極區(qū)域，接觸孔是通過選擇性地去除柵絕緣層和層間絕緣層而形成的。

鈍化層128位于源電極和漏電極上。鈍化層128可以由氧化硅或氮化硅等的無機(jī)層形成或者由有機(jī)層形成。

平坦化層129位于鈍化層128上。平坦化層129包括壓克力、聚酰亞胺(PI)或苯并環(huán)丁烯(BCB)等的有機(jī)層，平坦化層129具有平坦化作用。

有機(jī)發(fā)光器件形成在薄膜晶體管TFT上。

薄膜封裝層位于有機(jī)發(fā)光器件上。在一個(gè)實(shí)施例中，薄膜封裝層保護(hù)發(fā)光層和其它薄層免受外部濕氣和氧等的影響。

通常，直接形成于觸摸顯示面板內(nèi)部的觸摸傳感器通過蒸鍍、刻蝕的工藝形成，上述工藝中包括清洗等濕法制程，需要薄膜封裝層具有優(yōu)良的阻隔水汽和氧氣的能力，才能夠保證濕法制程不會(huì)對(duì)薄膜封裝層內(nèi)部的有機(jī)發(fā)光器件造成影響，這無疑具有很高的工藝難度。本發(fā)明所提供的觸摸傳感器TS的結(jié)構(gòu)可以通過噴墨打印的方式形成，因而當(dāng)觸摸傳感器TS直接形成于薄膜封裝層的表面，對(duì)發(fā)光元件層不會(huì)造成影響，降低了對(duì)薄膜封裝層封裝性能的要求。觸摸傳感器TS具有包括多個(gè)凹槽的基底，基底包括相對(duì)的第一表面和第二表面，凹槽為條狀，多個(gè)凹槽交叉構(gòu)成網(wǎng)格狀，凹槽包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域以及交叉區(qū)域之外的延伸區(qū)域，凹槽底部在交叉區(qū)域到第二表面的垂直距離大于凹槽底部在延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離，凹槽底部不超出第一表面。觸控電極通過噴墨打印的方式形成于凹槽的內(nèi)部，觸控電極的電極材料在噴印到凹槽內(nèi)之前先溶解在溶劑中形成電極材料溶液，電極材料溶液在交叉區(qū)域滴下，由于交叉區(qū)域到第二表面的垂直距離大于延伸區(qū)域到第二表面的垂直距離，電極材料溶液在重力作用下像延伸區(qū)域流動(dòng)，增強(qiáng)了電極材料溶液在凹槽內(nèi)部的流動(dòng)性和鋪展性，所形成的觸控電極具有良好的工藝穩(wěn)定性。由于觸控電極形成于凹槽內(nèi)，觸摸傳感器TS的表面具有良好的平整性，為觸摸顯示面板的后續(xù)膜層制備工藝提供了有利條件。并且基材由于具有多個(gè)凹槽，增強(qiáng)了觸摸傳感器的耐彎折性能，有利于觸摸顯示面板的柔性應(yīng)用。

通常觸控電極選用金屬材料，本發(fā)明實(shí)施例通過將具有上述結(jié)構(gòu)的觸摸傳感器TS直接形成于薄膜封裝層的表面，能夠降低觸摸顯示面板的整體厚度，實(shí)現(xiàn)顯示面板與觸摸傳感器的集成，并且形成于薄膜封裝層之上的觸摸傳感器TS位于觸摸顯示面板的圓偏光片和發(fā)光元件層之間，能夠降低外部環(huán)境光對(duì)金屬觸控電極的反射，減小圖形可見的現(xiàn)象。

圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種觸摸顯示面板，與圖8示出的實(shí)施方式不同的是，薄膜封裝層111包括至少一層有機(jī)層111a和至少兩層無機(jī)層111b，有機(jī)層111a位于兩層無機(jī)層111b之間，觸摸傳感器TS的基材為有機(jī)層111a。本發(fā)明的實(shí)施例將觸控電極設(shè)置在薄膜封裝層內(nèi)，有機(jī)層復(fù)用為觸摸傳感器的基材，一方面可以避免外界水汽以及氧氣等對(duì)觸控電極的腐蝕，另一方面最大程度的降低了觸摸顯示面板的厚度，符合輕薄化的發(fā)展趨勢(shì)。并且觸控電極設(shè)置在薄膜封裝層的一有機(jī)層的第一凹槽結(jié)構(gòu)內(nèi)，因此可以顯著降低觸控電極在彎折過程中斷裂的風(fēng)險(xiǎn)。

本發(fā)明還提供了一種觸摸傳感器的制作方法，圖10是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觸摸傳感器的制作方法流程示意圖；如圖10所示，所述制作方法包括：

S01：形成基底；所述基底包括相對(duì)的第一表面和第二表面；

S02：在所述基底的第一表面上形成多個(gè)凹槽，所述凹槽相互交叉構(gòu)成網(wǎng)格狀；

所述凹槽包括多個(gè)凹槽交叉形成的交叉區(qū)域以及交叉區(qū)域之外的延伸區(qū)域；所述凹槽底部在所述交叉區(qū)域到所述第二表面的垂直距離大于所述凹槽底部在所述延伸區(qū)域到所述第二表面的垂直距離；

所述凹槽底部不超出所述第一表面；

S03：形成觸控電極，填充于凹槽內(nèi)。

在步驟S01和S02中，形成基底以及基底表面的凹槽可以采用噴墨打印的方式同時(shí)形成，將基底的材料溶解于溶劑中形成基底的墨滴溶液，將墨滴溶液進(jìn)行噴射，對(duì)噴射出的墨滴溶液進(jìn)行固化，從而形成基底和凹槽，可以通過控制噴射出的墨滴溶液的墨滴大小以及控制墨滴溶液的固化時(shí)間來控制形成的凹槽的形狀和深度。采用噴墨打印的方式能夠自由靈活的控制所形成的基材的厚度、凹槽的形狀、凹槽的間距等，且一次工藝形成，不需要經(jīng)過蒸鍍、刻蝕的多道工藝，可選的，在交叉區(qū)域形成傾斜部的過程中，傾斜部可以與凹槽同時(shí)形成，也可以在形成凹槽之后進(jìn)一步通過噴墨打印的工藝形成傾斜部。

在步驟S03中，形成所述觸控電極的步驟包括：將所述觸控電極的材料溶解在所述有機(jī)溶劑中形成觸控電極的電極材料溶液，使用噴墨打印的方式將所述觸控電極材料溶液噴射到所述凹槽內(nèi)。

通常，觸摸傳感器的觸控電極直接形成于觸摸傳感器基底的表面，觸控電極的材料包括透明氧化銦錫，而在柔性顯示面板中，為了增加觸控電極的耐彎折性能會(huì)采用具有良好可撓性和較低阻抗的金屬網(wǎng)格電極，對(duì)于金屬網(wǎng)格的制作工藝可以采用直接以金屬油墨加以網(wǎng)印的方式。也可以在基底薄膜上涂布整面金屬，再透過黃光微影制程，洗去多余成分而產(chǎn)生網(wǎng)格。無論哪一種方式，如果將金屬網(wǎng)格電極直接形成在有機(jī)發(fā)光顯示面板內(nèi)部，上述制程都會(huì)對(duì)發(fā)光元件造成不良影響。

本發(fā)明實(shí)施例采用噴墨打印的方式將觸控電極形成在基材上的凹槽內(nèi)，凹槽可以為條狀凹槽，并且多個(gè)條狀凹槽相互交叉形成網(wǎng)格狀，相互交叉的凹槽的數(shù)目和交叉所形成的網(wǎng)格的形狀取決于希望能成的一個(gè)用于觸摸位置檢測(cè)的觸控電極的形狀。觸控電極的電極材料可以為金屬，可選的，可以為金、銀或者銅等金屬材料。有機(jī)溶劑為：乙基纖維素、硝酸纖維素、聚醋酸乙烯、酮樹脂、聚酞胺樹脂中的一種。將觸控電極的電極材料溶解在有機(jī)溶劑內(nèi)形成觸控電極的電極材料溶液，然后將電極材料溶液噴印至基材的凹槽內(nèi)，可以將電極材料溶液在凹槽交叉的區(qū)域進(jìn)行噴印，進(jìn)入凹槽內(nèi)的液體沿著凹槽的內(nèi)壁快速流動(dòng)，形成均勻的電極形狀，而后固化，有機(jī)溶劑揮發(fā)，從而形成觸控電極。本發(fā)明實(shí)施例所形成的凹槽，在交叉區(qū)域凹槽底部到第二表面的距離大于在延伸區(qū)域凹槽底部到第二表面的距離，這樣的設(shè)置方式可以在使用噴墨打印方法形成觸控電極時(shí)，增強(qiáng)觸控電極材料的溶液在凹槽內(nèi)部的流動(dòng)性，從而使所形成的觸控電極均勻穩(wěn)定，對(duì)觸控電極的形成能夠?qū)崿F(xiàn)更好的控制，降低了觸控電極的制作難度，增強(qiáng)了觸控電極工藝穩(wěn)定性，并且使得觸控電極在凹槽內(nèi)均勻鋪展，大大降低了觸控電極的斷線可能性，從而提高觸控電極的觸控可靠性。

注意，上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本發(fā)明不限于這里所述的特定實(shí)施例，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，雖然通過以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說明，但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。