本發(fā)明屬于真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、集成電路科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、光電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及顯示技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作，具體涉及到碳納米管陰極的平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作，特別涉及到一種對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的顯示器及其制作工藝。

背景技術(shù)：

場發(fā)射發(fā)光顯示器是一種新型的顯示設(shè)備，主要用于進(jìn)行各種動態(tài)和靜態(tài)圖像顯示。場發(fā)射顯示器具有顯示圖像質(zhì)量高、響應(yīng)時間短、適用溫區(qū)廣等優(yōu)勢，業(yè)已被公認(rèn)為是下一代的優(yōu)秀顯示終端。碳納米管是一種具有優(yōu)異特性的半導(dǎo)體材料，能夠在外加電場強度的作用下發(fā)射出大量電子，而并不需要額外能量供應(yīng)，因此能夠作為一種理想的冷陰極電子源。隨著碳納米管材料的使用和開發(fā)，并被有效加入到場發(fā)射發(fā)光顯示器中，極大促進(jìn)了場發(fā)射發(fā)光顯示器的研究進(jìn)展。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場發(fā)射發(fā)光顯示器，其工作原理與傳統(tǒng)的陰極射線管顯示器的工作原理相類似，但卻可以將發(fā)光顯示器的厚度變得更薄、圖像質(zhì)量變得更高、響應(yīng)速度變得更短，引起了眾多研究人員的極大關(guān)注。

但不可否認(rèn)，在目前的碳納米管陰極場發(fā)射發(fā)光顯示器中，普遍都存在著大量缺陷。其一，發(fā)光顯示器的陽極工作電流太小，這無法進(jìn)一步提升發(fā)光顯示器的顯示圖像亮度，這主要是由于碳納米管發(fā)射電子數(shù)量過低而造成的。若碳納米管陰極的制作面積很小，無法形成大的有效陰極電流也就不足為奇了；但若碳納米管陰極的制作面積很大，又會占有過多的陰極板面積，這就降低了整體發(fā)光顯示器的顯示分辨率，因此需要設(shè)計新的陰極結(jié)構(gòu)來解決這一矛盾。其二，門極對碳納米管層的控制能力很弱，這和門極與碳納米管之間的有效距離有關(guān)；若有效距離過大，門極工作電壓必然升高，這不符合低壓平板顯示器件的要求；若有效距離過小，還容易導(dǎo)致門極-碳納米管層電學(xué)擊穿現(xiàn)象的出現(xiàn)，造成發(fā)光顯示器永久損壞。其三，若在發(fā)光顯示器的制作過程中門極出現(xiàn)損壞，這就直接導(dǎo)致發(fā)光顯示器的制作成品率下降，這也不利于整體發(fā)光顯示器的大規(guī)模生產(chǎn)，等等。這些缺陷都需要進(jìn)一步的加以解決。碳納米管的電子發(fā)射效率低下，將會直接降低發(fā)光顯示器的發(fā)光強度和發(fā)光亮度，并會增大發(fā)光顯示器的功率損耗，這十分不利于節(jié)能環(huán)保。這些問題和缺陷的出現(xiàn)，還需要進(jìn)行大量的研究并加以解決。

此外，在碳納米管陰極場發(fā)射顯示器中，如何確保發(fā)光顯示器的制作成功率、如何降低發(fā)光顯示器的制作工藝難度、如何降低發(fā)光顯示器的制作成本，這些也是不容忽視的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明目的：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷和不足，本發(fā)明提供一種制作結(jié)構(gòu)簡單的、制作成本低廉的、發(fā)光亮度高的、制作工藝穩(wěn)定可靠的帶有對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的顯示器制作及其制作工藝。

技術(shù)方案：為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，包括由上封裝抗壓板、下封裝抗壓板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室；在上封裝抗壓板上有陽極底導(dǎo)電層、與陽極底導(dǎo)電層相連的陽極銀延長線層以及制備在陽極底導(dǎo)電層上面的熒光粉層；在下封裝抗壓板上有對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)；位于真空室內(nèi)的直立支撐墻和消氣劑附屬元件。

具體地，所述的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是下封裝抗壓板；下封裝抗壓板上的印刷的絕緣漿料層形成黑色遮蔽層；黑色遮蔽層上的印刷的銀漿層形成陰極銀延長層；陰極銀延長層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底升一層；陰極底升一層呈現(xiàn)六棱臺錐形狀，即：陰極底升一層的下表面為平面，位于陰極銀延長層上，陰極底升一層的上表面為平面，陰極底升一層上表面中心和下表面中心都位于陰極底升一層中心垂直軸線上，陰極底升一層的上表面面積小于陰極底升一層的下表面面積，陰極底升一層的外側(cè)面為六棱臺錐面，陰極底升一層中六棱臺錐面的平面為傾斜平面；陰極底升一層外側(cè)面上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底升二層；陰極底升二層的下表面為平面，位于陰極底升一層外側(cè)面的傾斜平面上，陰極底升二層下表面不覆蓋陰極底升一層外側(cè)面的棱；陰極底升二層的上表面為向外凸起的倒置瓦槽面形狀；倒置瓦槽面型陰極底升二層上表面的彎弧度與門極底升一層圓形孔的彎弧度相同；陰極底升二層的數(shù)量為六個，分別位于陰極底升一層外側(cè)面的六個傾斜平面上，相鄰陰極底升二層是相互隔離分立的；陰極底升二層上的刻蝕的金屬層形成陰極電極旁層；陰極電極旁層覆蓋陰極底升二層的上表面；陰極電極旁層和陰極銀延長層是相互連通的；陰極底升一層上表面的刻蝕的金屬層形成陰極電極上層；陰極電極上層為閉合六棱環(huán)型，陰極電極上層的外邊緣與陰極底升一層上表面的外邊緣對應(yīng)平齊；陰極電極上層僅與一個陰極電極旁層直接相互連接，與其余五個陰極電極旁層不相互連接；黑色遮蔽層上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升一層；門極底升一層的下表面為平面，位于黑色遮蔽層上；門極底升一層中存在圓形孔，圓形孔中完全暴露出陰極電極旁層、陰極電極上層、陰極底升一層和陰極底升二層；門極底升一層中圓形孔在門極底升一層上、下表面形成的截面為中空圓面，圓形孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于下封裝抗壓板的圓筒面；門極底升一層的上表面為波浪線型表面；門極底升一層上表面的印刷的銀漿層形成下門極波浪線電極層；下門極波浪線電極層為波浪線型形狀，前末端延伸到門極底升一層圓形孔的內(nèi)側(cè)壁，但不向前突出，不呈現(xiàn)懸空態(tài)；下門極波浪線電極層上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升二層；門極底升二層上的印刷的銀漿層形成上門極波浪線電極層；上門極波浪線電極層為與下門極波浪線電極層對稱的波浪線型形狀，前末端延伸到圓形孔內(nèi)側(cè)壁，但不向前突出，不呈現(xiàn)懸空態(tài)；門極底升一層上的印刷的銀漿層形成門極銀延長層；門極銀延長層、下門極波浪線電極層和上門極波浪線電極層是相互連通的；上門極波浪線電極層上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升三層；碳納米管制備在陰極電極旁層和陰極電極上層上。

所述的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下封裝抗壓板；陰極電極旁層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鎳、鉻；陰極電極上層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鎳、鉻。

本發(fā)明同時提供帶有對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，包括以下步驟：

1)下封裝抗壓板的制作：對平面鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，形成下封裝抗壓板；

2)黑色遮蔽層的制作：在下封裝抗壓板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成黑色遮蔽層；

3)陰極銀延長層的制作：在黑色遮蔽層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀延長層；

4)陰極底升一層的制作：在陰極銀延長層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底升一層；

5)陰極底升二層的制作：在陰極底升一層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底升二層；

6)陰極電極旁層的制作：在陰極底升二層上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極電極旁層；

7)陰極電極上層的制作：在陰極底升一層上表面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極電極上層；

8)門極底升一層的制作：在黑色遮蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升一層；

9)下門極波浪線電極層的制作：在門極底升一層上表面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成下門極波浪線電極層；

10)門極底升二層的制作：在下門極波浪線電極層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升二層；

11)上門極波浪線電極層的制作：在門極底升二層上表面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成上門極波浪線電極層；

12)門極銀延長層的制作：在門極底升一層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀延長層；

13)門極底升三層的制作：在上門極波浪線電極層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升三層；

14)對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的清潔：對對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；

15)碳納米管層的制作：將碳納米管印刷在陰極電極旁層和陰極電極上層上，形成碳納米管層；

16)碳納米管層的處理：對碳納米管層進(jìn)行后處理，改善其場發(fā)射特性；

17)上封裝抗壓板的制作：對平面鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，形成上封裝抗壓板；

18)陽極底導(dǎo)電層的制作：對覆蓋于上封裝抗壓板表面的錫銦氧化物膜層進(jìn)行刻蝕，形成陽極底導(dǎo)電層；

19)陽極銀延長層的制作：在上封裝抗壓板上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀延長層；

20)熒光粉層的制作：在陽極底導(dǎo)電層上印刷熒光粉，經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層；

21)顯示器器件裝配：將消氣劑安裝固定在上封裝抗壓板的非顯示區(qū)域；然后，將上封裝抗壓板、下封裝抗壓板、透明玻璃框和直立支撐墻裝配到一起，用夾子固定；

22)顯示器器件封裝：對已經(jīng)裝配的顯示器器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。

所述步驟19具體為：在上封裝抗壓板的非顯示區(qū)域印刷銀漿，經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度：150oC，最高烘烤溫度保持時間：5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度：532 oC，最高燒結(jié)溫度保持時間：10分鐘)。

所述步驟20具體為：在上封裝抗壓板的陽極底導(dǎo)電層上印刷熒光粉，然后放置在烘箱中進(jìn)行烘烤(最高烘烤溫度：135oC，最高烘烤溫度保持時間：8分鐘)。

所述步驟22具體為對已裝配的顯示器器件進(jìn)行如下的封裝工藝：將顯示器器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離；在烤消機上對消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。

有益效果：本發(fā)明具備以下顯著的進(jìn)步：

首先，在所述的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)中，制作了多凸面倒置瓦槽組合陰極。多凸面倒置瓦槽組合陰極由多個陰極電極旁層和一個陰極電極上層組成，并且陰極電極上層僅與一個陰極電極旁層相連接，這就使得多凸面倒置瓦槽組合陰極擁有更多的陰極電極邊緣；眾所周知，鑒于特有的“邊緣電場強度增強”現(xiàn)象，在陰極電極邊緣位置的碳納米管會發(fā)射出更多的電子；而這一特有現(xiàn)象在多凸面倒置瓦槽組合陰極中得到了充分體現(xiàn)和利用。碳納米管能夠更多的發(fā)射電子，這有助于進(jìn)一步改善整體發(fā)光顯示器的圖像質(zhì)量。

其次，在所述的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)中，制作了對稱波浪線尖門極。對稱波浪線尖門極由上門極波浪線電極層和下門極波浪線電極層組成，并且上門極波浪線電極層和下門極波浪線電極層為對稱波浪線型形狀。當(dāng)在對稱波浪線尖門極上施加適當(dāng)工作門極電壓后，就會在碳納米管層表面形成強大的電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子，這體現(xiàn)了對稱波浪線尖門極對碳納米管層的強有力控制性能。由于上門極波浪線電極層和下門極波浪線電極層均與門極銀延長層相連，這樣，即使在發(fā)光顯示器制作過程中或發(fā)光顯示器正常使用過程中某個波浪線電極層失效，也還有另一個波浪線電極層能夠正常工作，從而增加了整體發(fā)光顯示器的制作成功率和使用壽命。同時，鑒于對稱波浪線尖門極的尖形前末端，非常有利于盡可能縮減門極和碳納米管層之間的有效距離，能夠進(jìn)一步降低門極工作電壓。

第三，在所述的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)中，碳納米管被制作在了多個陰極電極旁層和一個陰極電極上層上，無疑增加了碳納米管的制作面積；由于碳納米管數(shù)量的增多，必然導(dǎo)致陽極工作電流的增大，這對于進(jìn)一步提高發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度、調(diào)節(jié)發(fā)光顯示器的灰度以及增大發(fā)光顯示器的視覺效果都是非常有益的。

除了上面所述的本發(fā)明解決的技術(shù)問題、構(gòu)成技術(shù)方案的技術(shù)特征以及由這些技術(shù)方案的技術(shù)特征所帶來的優(yōu)點外，本發(fā)明的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器所能解決的其他技術(shù)問題、技術(shù)方案中包含的其他技術(shù)特征以及這些技術(shù)特征帶來的優(yōu)點，將結(jié)合附圖做出進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例中單個對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例中對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例中對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：下封裝抗壓板1、黑色遮蔽層2、陰極銀延長層3、陰極底升一層4、陰極底升二層5、陰極電極旁層6、陰極電極上層7、門極底升一層8、下門極波浪線電極層9、門極底升二層10、上門極波浪線電極層11、門極銀延長層12、門極底升三層13、碳納米管層14、上封裝抗壓板15、陽極底導(dǎo)電層16、陽極銀延長線層17、熒光粉層18、消氣劑19、透明玻璃框20、直立支撐墻21。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于本實施例。

本實施例的對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器如圖1、圖2和圖3所示，包括由上封裝抗壓板15、下封裝抗壓板1和透明玻璃框20所構(gòu)成的真空室；在上封裝抗壓板15上有陽極底導(dǎo)電層16、與陽極底導(dǎo)電層16相連的陽極銀延長線層17以及制備在陽極底導(dǎo)電層16上面的熒光粉層18；在下封裝抗壓板1上有對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)；位于真空室內(nèi)的直立支撐墻21和消氣劑19附屬元件。

對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)包括下封裝抗壓板1、黑色遮蔽層2、陰極銀延長層3、陰極底升一層4、陰極底升二層5、陰極電極旁層6、陰極電極上層7、門極底升一層8、下門極波浪線電極層9、門極底升二層10、上門極波浪線電極層11、門極銀延長層12、門極底升三層13和碳納米管層14部分。

對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是下封裝抗壓板1；下封裝抗壓板1上的印刷的絕緣漿料層形成黑色遮蔽層2；黑色遮蔽層2上的印刷的銀漿層形成陰極銀延長層3；陰極銀延長層3上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底升一層4；陰極底升一層4呈現(xiàn)六棱臺錐形狀，即：陰極底升一層4的下表面為平面，位于陰極銀延長層3上，陰極底升一層4的上表面為平面，陰極底升一層4上表面中心和下表面中心都位于陰極底升一層4中心垂直軸線上，陰極底升一層4的上表面面積小于陰極底升一層4的下表面面積，陰極底升一層4的外側(cè)面為六棱臺錐面，陰極底升一層4中六棱臺錐面的平面為傾斜平面；陰極底升一層4外側(cè)面上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底升二層5；陰極底升二層5的下表面為平面，位于陰極底升一層4外側(cè)面的傾斜平面上，陰極底升二層5下表面不覆蓋陰極底升一層4外側(cè)面的棱；陰極底升二層5的上表面為向外凸起的倒置瓦槽面形狀；倒置瓦槽面型陰極底升二層5上表面的彎弧度與門極底升一層8圓形孔的彎弧度相同；陰極底升二層5的數(shù)量為六個，分別位于陰極底升一層4外側(cè)面的六個傾斜平面上，相鄰陰極底升二層5是相互隔離分立的；陰極底升二層5上的刻蝕的金屬層形成陰極電極旁層6；陰極電極旁層6覆蓋陰極底升二層5的上表面；陰極電極旁層6和陰極銀延長層3是相互連通的；陰極底升一層4上表面的刻蝕的金屬層形成陰極電極上層7；陰極電極上層7為閉合六棱環(huán)型，陰極電極上層7的外邊緣與陰極底升一層4上表面的外邊緣對應(yīng)平齊；陰極電極上層7僅與一個陰極電極旁層6直接相互連接，與其余五個陰極電極旁層6不相互連接；黑色遮蔽層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升一層8；門極底升一層8的下表面為平面，位于黑色遮蔽層2上；門極底升一層8中存在圓形孔，圓形孔中完全暴露出陰極電極旁層6、陰極電極上層7、陰極底升一層4和陰極底升二層5；門極底升一層8中圓形孔在門極底升一層8上、下表面形成的截面為中空圓面，圓形孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于下封裝抗壓板1的圓筒面；門極底升一層8的上表面為波浪線型表面；門極底升一層8上表面的印刷的銀漿層形成下門極波浪線電極層9；下門極波浪線電極層9為波浪線型形狀，前末端延伸到門極底升一層8圓形孔的內(nèi)側(cè)壁，但不向前突出，不呈現(xiàn)懸空態(tài)；下門極波浪線電極層9上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升二層10；門極底升二層10上的印刷的銀漿層形成上門極波浪線電極層11；上門極波浪線電極層11為與下門極波浪線電極層9對稱的波浪線型形狀，前末端延伸到圓形孔內(nèi)側(cè)壁，但不向前突出，不呈現(xiàn)懸空態(tài)；門極底升一層8上的印刷的銀漿層形成門極銀延長層12；門極銀延長層12、下門極波浪線電極層9和上門極波浪線電極層11是相互連通的；上門極波浪線電極層11上的印刷的絕緣漿料層形成門極底升三層13；碳納米管制備在陰極電極旁層6和陰極電極上層7上。

對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的固定位置為下封裝抗壓板1；陰極電極旁層6可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鎳、鉻；陰極電極上層7可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鎳、鉻。

帶有對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，包括以下步驟：

1)下封裝抗壓板的制作：對平面鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，形成下封裝抗壓板；

2)黑色遮蔽層的制作：在下封裝抗壓板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成黑色遮蔽層；

3)陰極銀延長層的制作：在黑色遮蔽層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀延長層；

4)陰極底升一層的制作：在陰極銀延長層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底升一層；

5)陰極底升二層的制作：在陰極底升一層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底升二層；

6)陰極電極旁層的制作：在陰極底升二層上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極電極旁層；

7)陰極電極上層的制作：在陰極底升一層上表面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極電極上層；

8)門極底升一層的制作：在黑色遮蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升一層；

9)下門極波浪線電極層的制作：在門極底升一層上表面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成下門極波浪線電極層；

10)門極底升二層的制作：在下門極波浪線電極層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升二層；

11)上門極波浪線電極層的制作：在門極底升二層上表面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成上門極波浪線電極層；

12)門極銀延長層的制作：在門極底升一層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀延長層；

13)門極底升三層的制作：在上門極波浪線電極層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極底升三層；

14)對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的清潔：對對稱波浪線尖門控多凸面倒置瓦槽組合陰極結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；

15)碳納米管層的制作：將碳納米管印刷在陰極電極旁層和陰極電極上層上，形成碳納米管層；

16)碳納米管層的處理：對碳納米管層進(jìn)行后處理，改善其場發(fā)射特性；

17)上封裝抗壓板的制作：對平面鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，形成上封裝抗壓板；

18)陽極底導(dǎo)電層的制作：對覆蓋于上封裝抗壓板表面的錫銦氧化物膜層進(jìn)行刻蝕，形成陽極底導(dǎo)電層；

19)陽極銀延長層的制作：在上封裝抗壓板上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀延長層；具體是在上封裝抗壓板的非顯示區(qū)域印刷銀漿，經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度：150oC，最高烘烤溫度保持時間：5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度：532 oC，最高燒結(jié)溫度保持時間：10分鐘)。

20)熒光粉層的制作：在陽極底導(dǎo)電層上印刷熒光粉，經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層；具體是在上封裝抗壓板的陽極底導(dǎo)電層上印刷熒光粉，然后放置在烘箱中進(jìn)行烘烤(最高烘烤溫度：135oC，最高烘烤溫度保持時間：8分鐘)。

21)顯示器器件裝配：將消氣劑安裝固定在上封裝抗壓板的非顯示區(qū)域；然后，將上封裝抗壓板、下封裝抗壓板、透明玻璃框和直立支撐墻裝配到一起，用夾子固定；

22)顯示器器件封裝：對已經(jīng)裝配的顯示器器件進(jìn)行如下的封裝工藝：將顯示器器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離；在烤消機上對消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。