本公開(kāi)涉及準(zhǔn)分子激光腔室裝置。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，在半導(dǎo)體曝光裝置(以下，稱為“曝光裝置”)中，隨著半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)化和高度集成化，要求提高分辨能力。因此，正在推進(jìn)從曝光用光源發(fā)射的光的短波長(zhǎng)化。一般而言，曝光用光源使用氣體激光器裝置來(lái)代替現(xiàn)有的汞燈。例如，作為曝光用的氣體激光器裝置，使用輸出波長(zhǎng)為248nm的紫外線激光的krf準(zhǔn)分子激光器裝置以及輸出波長(zhǎng)為193nm的紫外線激光的arf準(zhǔn)分子激光器裝置。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平6-029592號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：美國(guó)專利第7856044號(hào)說(shuō)明書

專利文獻(xiàn)3：日本特開(kāi)昭63-229789號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)4：國(guó)際公開(kāi)第2014/046186號(hào)

專利文獻(xiàn)5：日本特開(kāi)2006-229136號(hào)

專利文獻(xiàn)6：日本特開(kāi)2001-298229號(hào)

發(fā)明概要

本公開(kāi)的一個(gè)觀點(diǎn)的準(zhǔn)分子激光腔室裝置中，準(zhǔn)分子激光腔室裝置可以具備：激光腔室；第一電極，其配置在激光腔室內(nèi)；第二電極，其在激光腔室內(nèi)與第一電極相對(duì)配置；電極保持架，其配置在激光腔室內(nèi)，與高電壓連接；至少一個(gè)連接端子，其將第一電極與電極保持架電連接，包含針對(duì)第一電極的第一固定部分和針對(duì)電極保持架的第二固定部分；引導(dǎo)部件，其被電極保持架保持，在與第一電極和第二電極之間的放電方向以及第一電極的長(zhǎng)度方向這兩者大致垂直的方向上對(duì)第一電極進(jìn)行定位；以及電極間隙可變裝置，其使第一電極與放電方向大致平行地移動(dòng)。

附圖說(shuō)明

下面，參照附圖對(duì)本公開(kāi)的幾個(gè)實(shí)施方式僅作為示例進(jìn)行說(shuō)明。

圖1示出第一實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置的示意性結(jié)構(gòu)。

圖2示出比較例的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分結(jié)構(gòu)。

圖3示出第一實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分結(jié)構(gòu)。

圖4示出圖1所示的電極間隙可變裝置31和絕緣部33的具體結(jié)構(gòu)。

圖5示出變形例的電極間隙可變裝置35和絕緣部33的具體結(jié)構(gòu)。

圖6a是示出第二實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖6b是示出第二實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖7a是將第二實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體和電極11a整體抽出而進(jìn)行示出的圖。

圖7b是將第二實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體和電極11a整體抽出而進(jìn)行示出的圖。

圖8a是將第二實(shí)施方式中的電絕緣部件71a和71b整體、多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體以及電極11a整體抽出并從靠下方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖8b是將第二實(shí)施方式中的電絕緣部件71a和71b整體、多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體以及電極11a整體抽出并從靠下方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖9是將第二實(shí)施方式中的多個(gè)連接端子51a和51b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖10是將第二實(shí)施方式的第一變形例中的多個(gè)連接端子52a和52b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖11a是將第二實(shí)施方式的第二變形例中的多個(gè)連接端子53a和53b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖11b是將圖11a中示出的用線xib圈起來(lái)的部分放大示出的立體圖。

圖12a是將第三實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件62a和62b整體以及電極11a整體抽出而進(jìn)行示出的圖。

圖12b是將第三實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件62a和62b整體以及電極11a整體抽出而進(jìn)行示出的圖。

圖13是示出第四實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖14是示出第五實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖15a是示出第六實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖15b是示出第六實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖15c是將第六實(shí)施方式中的多個(gè)連接端子51h和51i整體、多個(gè)引導(dǎo)部件61h和61i整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。

圖15d是將圖15c中示出的用線xvd圈起來(lái)的部分放大示出的立體圖。

圖16是示出第七實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖17是示出上述脈沖功率模塊的結(jié)構(gòu)的電路圖。

實(shí)施方式

<內(nèi)容>

1.概要

2.準(zhǔn)分子激光器裝置的概略結(jié)構(gòu)

2.1激光腔室

2.2光諧振器

2.3激光器控制部

2.4各種傳感器

2.5電極的消耗

3.準(zhǔn)分子激光器裝置的電極保持結(jié)構(gòu)

3.1比較例

3.2課題

3.3具有連接端子和引導(dǎo)部件的電極保持結(jié)構(gòu)

3.4電極間隙可變裝置(第一例)

3.5電極間隙可變裝置(第二例)

4.具有電場(chǎng)馳豫(electricfieldrelaxing)功能的電極保持結(jié)構(gòu)

4.1引導(dǎo)部件

4.2電絕緣部件

4.3連接端子

4.4連接端子(第一變形例)

4.5連接端子(第二變形例)

5.省略了電場(chǎng)馳豫功能的電極保持結(jié)構(gòu)

6.增長(zhǎng)了連接端子的長(zhǎng)度的電極保持結(jié)構(gòu)

7.在電極的上表面配置了連接端子的電極保持結(jié)構(gòu)

8.具有電場(chǎng)馳豫功能的電極

9.將連接端子一體化得到的電極保持結(jié)構(gòu)

10.其他(脈沖功率模塊的結(jié)構(gòu))

下面參照附圖對(duì)本公開(kāi)的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。以下說(shuō)明的實(shí)施方式示出了本公開(kāi)的數(shù)個(gè)示例，但并不對(duì)本公開(kāi)的內(nèi)容進(jìn)行限定。另外，各實(shí)施方式中說(shuō)明的全部結(jié)構(gòu)和動(dòng)作作為本公開(kāi)的結(jié)構(gòu)和動(dòng)作而言并非是必須的。需要說(shuō)明的是，對(duì)于相同結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同的參照標(biāo)號(hào)，省略重復(fù)的說(shuō)明。

1.概要

在曝光裝置用的準(zhǔn)分子激光器裝置中，在激光腔室的內(nèi)部可以配置一對(duì)電極。在激光腔室的內(nèi)部可以封入激光氣體。該準(zhǔn)分子激光器裝置可以通過(guò)向一對(duì)電極之間施加高電壓使其放電，而激發(fā)激光氣體，進(jìn)行激光振蕩。

若在準(zhǔn)分子激光器裝置中反復(fù)進(jìn)行放電，則一對(duì)電極的表面被消耗，一對(duì)電極的間隔可能變大。若一對(duì)電極的間隔變大，則放電狀態(tài)發(fā)生變化，激光的穩(wěn)定生成可能受損。

在國(guó)際公開(kāi)第2014/046186號(hào)中公開(kāi)了一種激光器裝置，其在一對(duì)電極由于放電而被損耗的情況下，能夠使第一電極向第二電極側(cè)移動(dòng)規(guī)定量。在該激光器裝置中，第一電極借助于板簧被嵌入到具有分支結(jié)構(gòu)的叉型連接器中。利用該板簧與第一電極之間的摩擦力，第一電極被支承并且叉型連接器與第一電極被電連接。第一電極能夠利用另外的電極間隙可變裝置克服與板簧之間的摩擦力而滑動(dòng)移動(dòng)，向第二電極側(cè)移動(dòng)規(guī)定量。

但是，第一電極和板簧可能與激光腔室內(nèi)部的鹵素氣體發(fā)生反應(yīng)而使表面狀態(tài)發(fā)生變化。由此，第一電極與板簧之間的接觸電阻增大，可能會(huì)發(fā)生由于焦耳熱而使接觸面溶解的問(wèn)題。

根據(jù)本公開(kāi)的一個(gè)觀點(diǎn)，可以在激光腔室內(nèi)配置與高電壓連接的電極保持架，使第一電極與電極保持架通過(guò)連接端子進(jìn)行連接。進(jìn)一步地，被電極保持架保持的引導(dǎo)部件可以在與放電方向和第一電極的長(zhǎng)度方向這兩者大致垂直的方向上對(duì)第一電極進(jìn)行定位。由此，第一電極相對(duì)于電極保持架定位的功能以及電極保持架與第一電極電連接的功能由不同的部件承擔(dān)，能夠提高各功能的可靠性。

2.準(zhǔn)分子激光器裝置的概略構(gòu)成

圖1示出了第一實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置的概略性結(jié)構(gòu)。圖1所示的準(zhǔn)分子激光器裝置可以包含激光腔室10、一對(duì)電極11a和11b、充電器12以及脈沖功率模塊(ppm)13。圖1中示出了從與一對(duì)電極11a和11b之間的放電方向和脈沖激光的行進(jìn)方向這兩者大致垂直的方向進(jìn)行觀察而得到的激光腔室10的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。一對(duì)電極11a和11b之間的放電方向可以與重力方向大致一致。脈沖激光的行進(jìn)方向可以與電極11a和電極11b的長(zhǎng)度方向大致一致。

準(zhǔn)分子激光器裝置可以進(jìn)一步包含橫流風(fēng)扇21和電機(jī)22。準(zhǔn)分子激光器裝置可以進(jìn)一步包含窄帶化模塊14、輸出耦合鏡15、脈沖能量計(jì)測(cè)部17、光閘(shutter)18以及激光器控制部29。圖1所示的準(zhǔn)分子激光器裝置可以與曝光裝置100連接，該曝光裝置100使用由準(zhǔn)分子激光器裝置輸出的激光進(jìn)行曝光。

2.1激光腔室

激光腔室10可以為封入作為激光介質(zhì)的激光氣體的腔室，該作為激光介質(zhì)的激光氣體包括例如作為惰性氣體的氬氣或氪氣或氙氣、作為鹵素氣體的氟氣或氯氣、作為緩沖氣體的氖氣或氦氣。一對(duì)電極11a和11b可作為用于通過(guò)放電激發(fā)激光介質(zhì)的電極被配置在激光腔室10內(nèi)。一對(duì)電極11a和11b可以由銅構(gòu)成。優(yōu)選的是，一對(duì)電極11a和11b可以為不易與氟氣發(fā)生反應(yīng)且導(dǎo)電性高的無(wú)氧銅。

在激光腔室10形成有開(kāi)口，電絕緣部20可以堵塞該開(kāi)口。電極11a可以被電絕緣部20支承，電極11b可以被激光腔室10的復(fù)位片10c支承?？梢栽陔娊^緣部20中埋入多個(gè)導(dǎo)電部20a。多個(gè)導(dǎo)電部20a可以將由脈沖功率模塊13供給的高電壓施加給電極11a。

橫流風(fēng)扇21的旋轉(zhuǎn)軸可以與配置在激光腔室10外部的電機(jī)22連接。電機(jī)22可以通過(guò)使橫流風(fēng)扇21旋轉(zhuǎn)而使激光氣體在激光腔室10的內(nèi)部循環(huán)。

電源裝置可以包含充電器12和脈沖功率模塊13。脈沖功率模塊13可以包含后文參照?qǐng)D17描述的充電電容器和開(kāi)關(guān)13a。充電器12的輸出與充電電容器連接，該充電電容器能夠保持用于向一對(duì)電極11a和11b間施加高電壓的電能。開(kāi)關(guān)13a由激光器控制部29控制，開(kāi)關(guān)13a由斷開(kāi)(off)變成接通(on)時(shí)，脈沖功率模塊13由保持在充電器12中的電能生成脈沖狀的高電壓，該高電壓可被施加給一對(duì)電極11a和11b間。

當(dāng)向一對(duì)電極11a和11b間施加高電壓時(shí)，可在一對(duì)電極11a和11b間產(chǎn)生放電。激光腔室10內(nèi)的激光介質(zhì)通過(guò)該放電的能量被激發(fā)而能夠躍遷到高能級(jí)。被激發(fā)的激光介質(zhì)在之后躍遷到低能級(jí)時(shí)，能夠發(fā)射出與該能級(jí)差對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光。

在激光腔室10的兩端可以設(shè)置窗10a和10b。在激光腔室10內(nèi)產(chǎn)生的光能夠經(jīng)窗10a和10b射出到激光腔室10的外部。

2.2光諧振器

窄帶化模塊14可以包含棱鏡14a和光柵14b。棱鏡14a能夠使由激光腔室10的窗10a射出的光的光束寬度增大，同時(shí)能夠使該射出的光朝向光柵14b透過(guò)。另外，棱鏡14a能夠使來(lái)自光柵14b的反射光的光束寬度縮小，同時(shí)能夠使該反射光朝向激光腔室10透過(guò)。

光柵14b可由高反射率的材料構(gòu)成，其表面可以以規(guī)定間隔形成多個(gè)槽。各槽例如可以為三角槽。由棱鏡14a向光柵14b入射的光可以在光柵14b的表面被反射，并且可以以與光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的衍射角度進(jìn)行衍射。由此，可以成為特定波長(zhǎng)附近的光經(jīng)棱鏡14a返回到激光腔室10中的結(jié)構(gòu)。即，光柵14b可以按照光相對(duì)于光柵14b的入射角度與上述特定波長(zhǎng)附近的光發(fā)生衍射的衍射角度相等的方式進(jìn)行利特羅配置(retro-disposed)。

由此，利用棱鏡14a和光柵14b可以構(gòu)成使激光的光譜寬度變窄的窄帶化模塊14。需要說(shuō)明的是，也可以構(gòu)成為不使用窄帶化模塊14，而使用未圖示的高反射鏡使得從窗10a射出的光中含有的很多波長(zhǎng)成分返回到激光腔室10中。

在輸出耦合鏡15的表面可以涂布部分反射膜。因此，輸出耦合鏡15可使從激光腔室10的窗10b輸出的光中的一部分透過(guò)而被輸出，使另一部分被反射而返回到激光腔室10內(nèi)。

由此，利用窄帶化模塊14和輸出耦合鏡15可構(gòu)成光諧振器。從激光腔室10射出的光在窄帶化模塊14與輸出耦合鏡15之間往復(fù)，每次通過(guò)電極11a與電極11b之間的激光增益空間時(shí)可被放大。放大后的光的一部分可以借助于輸出耦合鏡15作為脈沖激光被輸出。

2.3激光器控制部

激光器控制部29可以在其與設(shè)置在曝光裝置100中的曝光裝置控制部110之間發(fā)送和接收各種信號(hào)。例如，激光器控制部29可以接收來(lái)自曝光裝置控制部110的目標(biāo)脈沖能量的數(shù)據(jù)和脈沖激光的輸出開(kāi)始信號(hào)。另外，激光器控制部29可以對(duì)充電器12發(fā)送充電電壓的設(shè)定信號(hào)、對(duì)脈沖功率模塊13發(fā)送開(kāi)關(guān)接通或斷開(kāi)的指令信號(hào)。

2.4各種傳感器

脈沖能量計(jì)測(cè)部17可以包含分束鏡17a、會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)17b以及光傳感器17c。分束鏡17a可以使透過(guò)輸出耦合鏡15后的激光以較高的透過(guò)率朝向曝光裝置100透過(guò)，并且使激光的一部分朝向會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)17b反射。會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)17b可以使被分束鏡17a反射的光在光傳感器17c的感光面會(huì)聚。光傳感器17c可以檢測(cè)在感光面會(huì)聚的激光的脈沖能量，將檢測(cè)出的脈沖能量的數(shù)據(jù)輸出給激光器控制部29。

激光器控制部29可以從脈沖能量計(jì)測(cè)部17接收脈沖能量的數(shù)據(jù)，也可以參照該脈沖能量的數(shù)據(jù)控制充電器12的充電電壓。通過(guò)控制充電器12的充電電壓，可以控制激光的脈沖能量。另外，激光器控制部29可以對(duì)從脈沖能量計(jì)測(cè)部17接收到脈沖能量數(shù)據(jù)的次數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，并將其作為一對(duì)電極11a和11b間的放電次數(shù)存儲(chǔ)在未圖示的存儲(chǔ)器中。

光閘18可以配置在透過(guò)脈沖能量計(jì)測(cè)部17的分束鏡17a后的脈沖激光的光路上。

激光器控制部29可以進(jìn)行控制以使得在激光振蕩開(kāi)始后直到從脈沖能量計(jì)測(cè)部17接收的脈沖能量與目標(biāo)脈沖能量之差成為容許范圍內(nèi)為止的期間中關(guān)閉光閘18。激光器控制部29可以進(jìn)行控制以使得在從脈沖能量計(jì)測(cè)部17接收的脈沖能量與目標(biāo)脈沖能量之差成為容許范圍內(nèi)時(shí)打開(kāi)光閘18。

2.5電極的消耗

當(dāng)向一對(duì)電極11a和11b之間施加高電壓時(shí)，在一對(duì)電極11a和11b之間能夠產(chǎn)生放電。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行放電，存在一對(duì)電極11a和11b被消耗而使得電極間隙g(參照?qǐng)D1)變大的情況。若電極間隙g變大，則放電狀態(tài)發(fā)生變化，激光的穩(wěn)定生成可能受損。例如光束尺寸或光束發(fā)散度可能發(fā)生變化。此外，所輸出的脈沖激光的脈沖能量穩(wěn)定性、激光的振蕩效率可能會(huì)變差。

因此，激光器控制部29可以根據(jù)一對(duì)電極11a和11b間的放電次數(shù)來(lái)估計(jì)電極的消耗量。在電極的消耗量達(dá)到規(guī)定值的情況下，后述的電極間隙可變裝置31和32可以使得電極11a移動(dòng)以靠近電極11b。由此，可延長(zhǎng)電極壽命，使激光器性能穩(wěn)定。

3.準(zhǔn)分子激光器裝置的電極保持結(jié)構(gòu)

3.1比較例

圖2示出了比較例的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分的結(jié)構(gòu)。在圖2中，示出了從與脈沖激光的行進(jìn)方向大致平行的方向觀察到的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分的結(jié)構(gòu)。關(guān)于從與一對(duì)電極11a和11b之間的放電方向和脈沖激光的行進(jìn)方向這兩者大致垂直的方向觀察到的結(jié)構(gòu)，可以與參照?qǐng)D1進(jìn)行說(shuō)明的第一實(shí)施方式大致相同。因此，在比較例的準(zhǔn)分子激光器裝置的說(shuō)明中有時(shí)也參照?qǐng)D1。

在比較例中，在激光腔室10的內(nèi)部除了容納一對(duì)電極11a和11b和復(fù)位片10c以外，還可以容納布線10e和10f、叉型連接器41以及多個(gè)板簧41a。

在激光腔室10的外部可以配置電容器c3以及連接部件s1和s2。連接部件s1可以與由脈沖功率模塊13供給的高電壓連接。連接部件s2可以與接地電位連接。電容器c3可以連接在連接部件s1與連接部件s2之間。電容器c3可以構(gòu)成脈沖功率模塊13的一部分。關(guān)于包含電容器c3的脈沖功率模塊13的詳細(xì)內(nèi)容在下文敘述。

構(gòu)成激光腔室10的壁面的一部分的導(dǎo)電性部件10d可以與連接部件s2連接。電極11b可以經(jīng)復(fù)位片10c、布線10e和10f以及導(dǎo)電性部件10d與接地電位連接。

導(dǎo)電部20a可以與連接部件s1連接。電極11a可以經(jīng)板簧41a、叉型連接器41以及導(dǎo)電部20a與由脈沖功率模塊13供給的高電壓連接。

叉型連接器41具有二分支形狀部，該二分支形狀部的基端側(cè)可以與導(dǎo)電部20a連接。在叉型連接器41的二分支形狀部之間可以插入電極11a的一部分。電極11a可以在與二分支形狀部的基端側(cè)相反的一側(cè)從二分支形狀部突出。在與二分支形狀部的基端側(cè)相反的一側(cè)可以配置與電極11a對(duì)置的電極11b。

在叉型連接器41的二分支形狀部與電極11a的兩側(cè)面之間可以分別具有間隙。需要說(shuō)明的是，在本說(shuō)明書中，電極的側(cè)面可以指與一對(duì)電極11a和11b之間的放電方向和脈沖激光的行進(jìn)方向這兩者大致垂直的方向上的兩端側(cè)的面。

板簧41a可以分別以壓縮狀態(tài)配置在叉型連接器41的二分支形狀部與電極11a的兩側(cè)面之間的各個(gè)間隙中。利用該結(jié)構(gòu)，電極11a在叉型連接器41的二分支形狀部的內(nèi)側(cè)被板簧41a按壓，可以限制其在與一對(duì)電極11a、11b間的放電方向和電極11a的長(zhǎng)度方向這兩者垂直的方向上的移動(dòng)。另外，利用該結(jié)構(gòu)，電極11a可以經(jīng)板簧41a與叉型連接器41電連接。

電極11a與板簧41a之間也可以不被固定，電極11a可以一邊相對(duì)于板簧41a滑動(dòng)一邊與一對(duì)電極11a、11b間的放電方向大致平行地移動(dòng)。

再次參照?qǐng)D1，準(zhǔn)分子激光器裝置可以進(jìn)一步具備電極間隙可變裝置31和32、絕緣部33和34、以及驅(qū)動(dòng)器39。電極間隙可變裝置31和32可以被固定在電絕緣部20。電極間隙可變裝置31和32可以使電極11a進(jìn)行移動(dòng)以使得電極11a靠近電極11b。

在利用電極間隙可變裝置31和32使電極11a移動(dòng)時(shí)，電極11a可以在確保與板簧41a接觸的情況下相對(duì)于板簧41a進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)。

3.2課題

電極11a和板簧41a有時(shí)與激光腔室內(nèi)部的鹵素氣體發(fā)生反應(yīng)而使表面狀態(tài)發(fā)生變化。從而，在參照?qǐng)D2進(jìn)行說(shuō)明的比較例中，可能會(huì)發(fā)生電極11a和板簧41a之間的接觸電阻增高，由于焦耳熱而使接觸面溶解的問(wèn)題。

在本公開(kāi)中，通過(guò)以下結(jié)構(gòu)，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)將電極以可移動(dòng)的方式進(jìn)行保持和進(jìn)行電連接這兩者。

3.3具有連接端子和引導(dǎo)部件的電極保持結(jié)構(gòu)

圖3示出了第一實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分結(jié)構(gòu)。在圖3中示出了從與脈沖激光的行進(jìn)方向大致平行的方向上觀察到的準(zhǔn)分子激光器裝置的一部分結(jié)構(gòu)。

如圖3所示，在第一實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中，作為電極保持結(jié)構(gòu)，可以包含電極保持架40、多個(gè)連接端子51a和51b、以及多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b?？梢圆痪哂袇⒄?qǐng)D2進(jìn)行說(shuō)明的比較例中的叉型連接器41和板簧41a。

電極保持架40具有二分支形狀部，該二分支形狀部的基端側(cè)可以與導(dǎo)電部20a連接。電極保持架40可以由銅構(gòu)成。優(yōu)選的是，電極保持架40可以為不易與氟氣發(fā)生反應(yīng)且導(dǎo)電性高的無(wú)氧銅。在電極保持架40的二分支形狀部之間可以插入電極11a的一部分。電極11a可以在與二分支形狀部的基端側(cè)相反的一側(cè)從二分支形狀部突出。在與二分支形狀部的基端側(cè)相反的一側(cè)可以配置與電極11a對(duì)置的電極11b。

在電極11a的兩側(cè)面可以分別固定連接端子51a和51b。各個(gè)連接端子51a和51b可以為具有彈性的板簧。各個(gè)連接端子51a和51b可以為銅或鎳的薄板。在鹵素氣體為氟氣的情況下，優(yōu)選的是，各個(gè)連接端子51a和51b可以為不易與氟氣發(fā)生反應(yīng)且導(dǎo)電性高的無(wú)氧銅。各個(gè)連接端子51a和51b的厚度可以為0.03mm以上且在0.08mm以下，優(yōu)選可以為0.05mm左右。另外，在鹵素氣體為氯氣的情況下，優(yōu)選的是，各個(gè)連接端子51a和51b可以為在不易與氯氣發(fā)生反應(yīng)的鎳金屬或銅金屬上鍍鎳而成的端子。

各個(gè)連接端子51a和51b可以包含第一固定部分511和第二固定部分512，各個(gè)連接端子51a和51b可以在第一固定部分511與第二固定部分512之間彎折。第一固定部分511可以與電極11a的側(cè)面進(jìn)行面接觸而被固定。第二固定部分512可以與電極保持架40的下表面進(jìn)行面接觸而被固定。連接端子51a和51b相對(duì)于電極11a的固定以及連接端子51a和51b相對(duì)于電極保持架40的固定均可以利用螺栓51c來(lái)進(jìn)行。

多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b可以具有導(dǎo)電性。多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b可以由銅或鎳構(gòu)成。在鹵素氣體為氟氣的情況下，優(yōu)選的是，多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b可以為不易與氟氣發(fā)生反應(yīng)且導(dǎo)電性高的無(wú)氧銅。另外，鹵素氣體為氯氣的情況下，優(yōu)選的是，多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b可以為在鎳金屬或銅金屬上鍍鎳而成的引導(dǎo)部件。多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b可以按照具有與電極11a的厚度大致相同寬度的間隙的方式來(lái)進(jìn)行配置。電極11a可以?shī)A在多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b之間，并能夠在與多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b相接的同時(shí)使該電極11a在多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b之間移動(dòng)。電極11a可以在與二分支形狀部的基端側(cè)相反的一側(cè)從多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b之間突出。

關(guān)于其他方面，可以與參照?qǐng)D2進(jìn)行說(shuō)明的比較例相同。

根據(jù)第一實(shí)施方式，連接端子51a和51b的第一固定部分511可以被固定于電極11a，連接端子51a和51b的第二固定部分512可以被固定于電極保持架40。在使電極11a與電極11a和11b之間的放電方向大致平行地移動(dòng)的情況下，連接端子51a和51b可以在維持相對(duì)于電極11a的固定和相對(duì)于電極保持架40的固定的條件下發(fā)生變形。由此，能夠可靠地進(jìn)行從電極11a到電極保持架40的電連接。關(guān)于連接端子51a和51b的變形在第二實(shí)施方式中詳細(xì)敘述。

另外，根據(jù)第一實(shí)施方式，利用多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b將電極11a夾在其間的結(jié)構(gòu)，能夠抑制電極11a在與一對(duì)電極11a、11b間的放電方向和電極11a的長(zhǎng)度方向這兩者垂直的方向上的移動(dòng)。由此，能夠提高電極11a的位置精度。

3.4電極間隙可變裝置(第一例)

圖4示出了圖1所示的電極間隙可變裝置31和絕緣部33的具體結(jié)構(gòu)。圖1所示的電極間隙可變裝置32和絕緣部34在圖4中未被示出，但它們可以分別與電極間隙可變裝置31和絕緣部33相同。電極間隙可變裝置31可以包含缸體31b、活塞31d、彈簧31f、軸31g以及蓋31j。

缸體31b可以被固定于電絕緣部20。蓋31j可以覆蓋在缸體31b上。在缸體31b與蓋31j之間的接觸面可以配置o形墊圈31h，將缸體31b與蓋31j之間的接觸面保持在氣密狀態(tài)。

活塞31d可以以可移動(dòng)的方式設(shè)置在缸體31b的內(nèi)部。軸31g的第一端部可以利用螺栓31m而被固定于缸體31b內(nèi)部的活塞31d上。軸31g可以貫穿缸體31b的開(kāi)口31i和電絕緣部20的貫通孔并可沿著電絕緣部20的貫通孔移動(dòng)。軸31g的第二端部可以位于從電絕緣部20觀察時(shí)與缸體31b相反的一側(cè)，且可被固定于絕緣部33。在絕緣部33可以形成長(zhǎng)孔36。支桿37的一端可固定于電極11a、且支桿37的另一端可以以在長(zhǎng)孔36的長(zhǎng)度方向上可移動(dòng)的狀態(tài)位于長(zhǎng)孔36中。長(zhǎng)孔36的長(zhǎng)度方向可以與電極11a的長(zhǎng)度方向大致一致。由此，電極間隙可變裝置31和絕緣部33可以支承電極11a。此外，即使在例如電極11a由于熱膨脹而在電極11a的長(zhǎng)度方向伸長(zhǎng)的情況下，由于支桿37能夠在長(zhǎng)孔36的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，因而也能夠抑制電極間隙可變裝置31和絕緣部33發(fā)生破損。電絕緣部20例如可以由氧化鋁陶瓷構(gòu)成。

在位于缸體31b內(nèi)部的軸31g的周圍可以配置多個(gè)墊片31k。

彈簧31f可以在缸體31b的內(nèi)部被配置在活塞31d與蓋31j之間?；钊?1d在接近電絕緣部20的方向可以受到彈簧31f的回彈力。

通過(guò)卸下多個(gè)墊片31k中的一個(gè)以上，活塞31d的位置可以向圖4的下方移動(dòng)。具體地說(shuō)，通過(guò)打開(kāi)蓋31j、取出彈簧31f、卸下螺栓31m，可以將活塞31d從軸31g上卸下、將多個(gè)墊片31k中的一個(gè)以上卸下。

如上述那樣，電極間隙可變裝置31可以使電極11a向圖4的下方、即在與放電方向大致平行的方向上移動(dòng)。

3.5電極間隙可變裝置(第二例)

圖5示出了變形例的電極間隙可變裝置35和絕緣部33的具體結(jié)構(gòu)?？梢允褂脠D5所示的電極間隙可變裝置35來(lái)代替上述的電極間隙可變裝置31或電極間隙可變裝置32。

電極間隙可變裝置35可以包含測(cè)微頭31a、缸體31b、主軸31c、活塞31d、柔性管31e、彈簧31f以及軸31g。

缸體31b可以被固定于電絕緣部20?？梢栽诟左w31b與電絕緣部20之間的接觸面配置o形墊圈31h，將缸體31b與電絕緣部20之間的接觸面保持氣密狀態(tài)。

活塞31d可以以可移動(dòng)的方式設(shè)置在缸體31b的內(nèi)部。軸31g的第一端部可以被固定于缸體31b內(nèi)部的活塞31d上。軸31g可以貫穿缸體31b的開(kāi)口31i和電絕緣部20的貫通孔并可沿著電絕緣部20的貫通孔移動(dòng)。軸31g的第二端部可以位于從電絕緣部20觀察時(shí)與缸體31b相反的一側(cè)且可被固定于絕緣部33。在絕緣部33可以形成長(zhǎng)孔36。支桿37的一端被固定于電極11a且支桿37的另一端可以以在長(zhǎng)孔36的長(zhǎng)度方向上可移動(dòng)的狀態(tài)位于長(zhǎng)孔36中。

軸31g可以貫穿被配置在缸體31b內(nèi)部的柔性管31e。柔性管31e的第一端部可以密封于活塞31d、柔性管31e的第二端部可以密封于缸體31b的開(kāi)口31i的周圍。由此，電絕緣部20的貫通孔可以被柔性管31e和活塞31d氣密密封。

彈簧31f可以按照圍著柔性管31e的方式被配置在缸體31b的內(nèi)部?；钊?1d可以在離開(kāi)電絕緣部20的方向受到彈簧31f的回彈力。

測(cè)微頭31a可以被固定于缸體31b。測(cè)微頭31a可以利用圖1所示的激光器控制部29借助于驅(qū)動(dòng)器39進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。由此，測(cè)微頭31a可以被構(gòu)成為使位于缸體31b內(nèi)部的主軸31c向著接近電絕緣部20的方向移動(dòng)。軸31c可以克服彈簧31f的回彈力來(lái)按壓活塞31d。

如上述那樣，電極間隙可變裝置35可以使電極11a向圖5的下方、即在與放電方向大致平行的方向上移動(dòng)。

4.具有電場(chǎng)馳豫功能的電極保持結(jié)構(gòu)

圖6a和圖6b是示出第二實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。圖6a示出利用電極間隙可變裝置使電極11a移動(dòng)前的狀態(tài)，圖6b示出利用電極間隙可變裝置使電極11a稍微移動(dòng)后的狀態(tài)。如圖6a和圖6b所示，當(dāng)利用電極間隙可變裝置使電極11a移動(dòng)時(shí)，多個(gè)連接端子51a和51b可以發(fā)生變形。需要說(shuō)明的是，在圖6a中，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，連接端子51a和51b按照未發(fā)生變形的方式來(lái)圖示，但連接端子51a和51b的第一固定部分511也可以由于電極11a的重量而被拉向下方而使得連接端子51a和51b發(fā)生變形。即，連接端子51a和51b可以在與重力方向相反的方向上柔性支承電極11a。

第二實(shí)施方式中的電極保持結(jié)構(gòu)除了包含電極保持架40、多個(gè)連接端子51a和51b、以及多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b以外，還可以包含多個(gè)電絕緣部件71a和71b。

電極保持架40和多個(gè)連接端子51a和51b的結(jié)構(gòu)可以與參照?qǐng)D3說(shuō)明的第一實(shí)施方式相同。

4.1引導(dǎo)部件

在第二實(shí)施方式中，多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b可以分別具有凸部61c。在圖6a和圖6b中，關(guān)于多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b，分別在截面上描繪陰影線來(lái)示出。關(guān)于凸部61c，由于其是在比截面更靠近圖的進(jìn)深側(cè)所觀察到的構(gòu)成部分，因而不描繪陰影線來(lái)示出。

圖7a和圖7b是將第二實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體和電極11a整體抽出來(lái)示出的圖。圖7a是從與一對(duì)電極間產(chǎn)生的放電的放電方向大致平行的方向觀察得到的圖，圖7b是從靠向引導(dǎo)部件61a和61b的下方的視點(diǎn)觀察得到的立體圖。

引導(dǎo)部件61a可以具有3個(gè)凸部61c，引導(dǎo)部件61b可以具有另外的3個(gè)凸部61c。設(shè)于引導(dǎo)部件61a的3個(gè)凸部61c與設(shè)于引導(dǎo)部件61b的另外3個(gè)凸部61c按照分別相互對(duì)置的方式進(jìn)行配置。由此，電極11a在電極11a的長(zhǎng)度方向上的多個(gè)位置處被夾在凸部61c之間、且電極11a的側(cè)面可與各凸部61c相接。電極11a可以在與多個(gè)凸部61c相接的情況下與放電方向大致平行地移動(dòng)。

對(duì)于多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b來(lái)說(shuō)，它們的下表面?zhèn)瓤梢詾槠骄彽那鏍?。在像參照?qǐng)D3進(jìn)行說(shuō)明的第一實(shí)施方式那樣，多個(gè)引導(dǎo)部件63a和63b的截面形狀為大致長(zhǎng)方形的情況下，電場(chǎng)可能容易集中在引導(dǎo)部件63a和63b的拐角部分。因此，不僅在電極11a與電極11b之間會(huì)產(chǎn)生放電，而且在意圖之外的位置也會(huì)產(chǎn)生放電。因此，在第二實(shí)施方式中，通過(guò)使多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b的下表面?zhèn)葹槠骄彽那鏍睿删徍碗姌O11a與電極11b之間的區(qū)域以外的區(qū)域處的電場(chǎng)集中、抑制意圖之外的位置處的放電。

4.2電絕緣部件

圖8a和圖8b是將第二實(shí)施方式中的電絕緣部件71a和71b整體、多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b整體以及電極11a整體抽出并從靠下方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。圖8a是空出電絕緣部件71a和71b之間的間隔使得可以觀察到多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b以及電極11a的圖。圖8b是示出與圖6a和圖6b所示的使用方式同樣地，按照電絕緣部件71a和71b覆蓋多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b的下表面的方式進(jìn)行配置的狀態(tài)的圖。

電極11a可以從電絕緣部件71a和71b之間的間隙向電絕緣部件71a和71b的下方突出。在第二實(shí)施方式中，是按照電絕緣部件71覆蓋多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b的下表面的方式來(lái)構(gòu)成的，因而能夠進(jìn)一步抑制在意圖之外的位置處的放電。

4.3連接端子

圖9是將第二實(shí)施方式中的多個(gè)連接端子51a和51b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。如圖9所示，在電極11a的一個(gè)側(cè)面，兩個(gè)連接端子51a可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。在電極11a的另一側(cè)面，兩個(gè)連接端子51b可以在電極11a的長(zhǎng)度方向排列配置。

為了將第一固定部分511固定于電極11a，可以使用未圖示的多個(gè)螺栓。該多個(gè)螺栓可以沿電極11a的長(zhǎng)度方向配置。為了將第二固定部分512固定于電極保持架40，可以使用未圖示的多個(gè)螺栓。該多個(gè)螺栓可以沿電極11a的長(zhǎng)度方向配置。

如上所述，連接端子51a和51b可以在與重力方向相反的方向上柔性地支承電極11a。由于連接端子51a在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置、連接端子51b在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置，因而可抑制在與重力方向相反的方向上支承電極11a的結(jié)構(gòu)偏向電極11a的長(zhǎng)度方向上的一部分。從而，能夠抑制電極11a的一部分在重力的作用下發(fā)生撓曲而變形。

4.4連接端子(第一變形例)

圖10是將第二實(shí)施方式的第一變形例中的多個(gè)連接端子52a和52b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。如圖10所示，在第一變形例中，多個(gè)連接端子52a和52b可以分別具有多個(gè)第二固定部分522。多個(gè)第二固定部分522可以沿電極11a的長(zhǎng)度方向配置成梳齒狀。

根據(jù)第一變形例，由于將第二固定部分522構(gòu)成為梳齒狀，因而能夠降低利用電極間隙可變裝置移動(dòng)電極而使連接端子52a和52b發(fā)生變形時(shí)的反作用力。

關(guān)于其他方面，可以與參照?qǐng)D9進(jìn)行說(shuō)明的第二實(shí)施方式相同。

4.5連接端子(第二變形例)

圖11a是將第二實(shí)施方式的第二變形例中的多個(gè)連接端子53a和53b整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。在第二變形例中，如圖11a所示，在電極11a的一個(gè)側(cè)面，多個(gè)連接端子53a可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。在電極11a的另一側(cè)面，多個(gè)連接端子53b可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。

圖11b是將圖11a中示出的用線xib圈起來(lái)的部分放大示出的立體圖。如圖11b所示，多個(gè)連接端子53a和53b可以分別在固定于電極11a的第一固定部分531與固定于電極保持架40的第二固定部分532之間包含含有網(wǎng)狀金屬線的導(dǎo)電性部件533。

根據(jù)第二變形例，由于多個(gè)連接端子53a和53b分別包含含有網(wǎng)狀金屬線的導(dǎo)電性部件533，因而即使在電極11a由于電極11a的熱膨脹等而在長(zhǎng)度方向上伸長(zhǎng)的情況下，能夠吸收相對(duì)于電極保持架40的尺寸偏差。從而，能夠抑制電極11a的彎折或連接端子53a和53b的破損。

關(guān)于其他方面，可以與參照?qǐng)D10進(jìn)行說(shuō)明的第一變形例相同。

5.省略了電場(chǎng)馳豫功能的電極保持結(jié)構(gòu)

圖12a和圖12b是將第三實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件62a和62b整體以及電極11a整體抽出而進(jìn)行示出的圖。圖12a是從與一對(duì)電極間產(chǎn)生的放電的放電方向大致平行的方向觀察得到的圖，圖12b是從靠向引導(dǎo)部件62a和62b的下方的視點(diǎn)觀察得到的立體圖。在電極11a的一個(gè)側(cè)面，3個(gè)引導(dǎo)部件62a可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。在電極11a的另一側(cè)面，3個(gè)引導(dǎo)部件62b可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。

第三實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件62a和62b可以相當(dāng)于在參照?qǐng)D7a和圖7b進(jìn)行說(shuō)明的第二實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件61a和61b中留下多個(gè)凸部61c而去掉其他部分的結(jié)構(gòu)。從而，對(duì)于第三實(shí)施方式中的多個(gè)引導(dǎo)部件62a和62b來(lái)說(shuō)，與第二實(shí)施方式相比降低了緩和電場(chǎng)的功能，但能夠發(fā)揮在電極11a與放電方向大致平行地移動(dòng)時(shí)的引導(dǎo)功能。

關(guān)于其他方面，可以與第二實(shí)施方式相同。

6.增長(zhǎng)連接端子的長(zhǎng)度的電極保持結(jié)構(gòu)

圖13是示出第四實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。在第四實(shí)施方式中，電極保持架40a的寬度可以大于第二實(shí)施方式中的電極保持架40的寬度。由此，連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l可以比第二實(shí)施方式中的連接端子51a和51b的長(zhǎng)度更長(zhǎng)。連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l可以為在與電極11a的側(cè)面垂直的方向上，針對(duì)從螺栓51d對(duì)連接端子的固定位置到螺栓51e對(duì)連接端子的固定位置進(jìn)行測(cè)定而得到的長(zhǎng)度。在第四實(shí)施方式中，連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l可以相當(dāng)于從電極11a的側(cè)面到螺栓51e的軸中心的距離。

如參照?qǐng)D6b所說(shuō)明的那樣，利用電極間隙可變裝置31和32使電極11a向下方移動(dòng)時(shí)，多個(gè)連接端子51a和51b可能發(fā)生變形。多個(gè)連接端子51a和51b利用蓄積在多個(gè)連接端子51a和51b中的反作用力可以向上方支承電極11a。在該反作用力過(guò)強(qiáng)的情況下，電極11a可能會(huì)發(fā)生撓曲。

在為了使說(shuō)明簡(jiǎn)單化而將多個(gè)連接端子51a和51b視為懸臂梁的情況下，上述的反作用力可以與連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l的三次方的倒數(shù)成比例。根據(jù)第四實(shí)施方式，通過(guò)增長(zhǎng)連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l，可以使反作用力不會(huì)過(guò)強(qiáng)、可抑制電極11a的撓曲。連接端子51a和51b的長(zhǎng)度l例如可以為14mm以上且20mm以下。連接端子51a和51b的材料例如可以為黃銅、銅、鈹與銅的合金、磷青銅。

關(guān)于其他方面，可以與上述第二實(shí)施方式相同。

7.在電極的上表面配置了連接端子的電極保持結(jié)構(gòu)

圖14是示出第五實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。在第五實(shí)施方式中，連接端子51i的第一固定部分511可以與電極11a的上表面進(jìn)行面接觸而被固定。連接端子51h的第一固定部分511可以與連接端子51i的第一固定部分511的上表面進(jìn)行面接觸而被固定。這些固定部分511可以利用螺栓51f進(jìn)行固定。

連接端子51h和51i的第二固定部分512可以與電極保持架40a的下表面進(jìn)行面接觸并利用螺栓51e進(jìn)行固定。連接端子51h和51i也可以不與電極11a的側(cè)面進(jìn)行面接觸。

在各個(gè)連接端子51h和51i中，第一固定部分511可以位于比第二固定部分512更高的位置。第一固定部分511與第二固定部分512的階差h可以與利用電極間隙可變裝置31和32使得電極11a所能夠移動(dòng)的最大量相同或?yàn)樵撟畲罅恳韵隆Ｔ诘谝还潭ú糠?11與第二固定部分512之間可以具有傾斜部分513。

在第五實(shí)施方式中，連接端子51h和51i的長(zhǎng)度l相當(dāng)于從電極11a的兩側(cè)面的中心到螺栓51e的軸中心的距離。

關(guān)于其他方面，可以與上述第四實(shí)施方式相同。根據(jù)第五實(shí)施方式，即使在連接端子的長(zhǎng)度l與第四實(shí)施方式相同的情況下，也能夠使電極保持架40a的寬度縮短電極11a的寬度。

8.具有電場(chǎng)馳豫功能的電極

圖15a和圖15b是示出第六實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。圖15a示出利用電極間隙可變裝置使電極11a發(fā)生移動(dòng)之前的狀態(tài)，圖15b示出利用電極間隙可變裝置使電極11a移動(dòng)最大量之后的狀態(tài)?？梢匀鐖D15a和圖15b所示，在利用電極間隙可變裝置使電極11a發(fā)生移動(dòng)時(shí)，多個(gè)連接端子51h和51i發(fā)生變形。

在第六實(shí)施方式中，在電極11a的上端附近可以具有寬幅部分11c。由此，能夠緩和在電極11a與電極11b之間的放電區(qū)域以外的區(qū)域的電場(chǎng)集中、抑制在意圖之外的位置處的放電。

多個(gè)引導(dǎo)部件61h和61i可以位于電極11a的寬幅部分11c的側(cè)面。

圖15c是將第六實(shí)施方式中的多個(gè)連接端子51h和51i整體、多個(gè)引導(dǎo)部件61h和61i整體以及電極11a整體抽出并從靠上方的視點(diǎn)對(duì)這些結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行觀察得到的立體圖。在第六實(shí)施方式中，在寬幅部分11c的一個(gè)側(cè)面，3個(gè)引導(dǎo)部件61h可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。在寬幅部分11c的另一側(cè)面，3個(gè)引導(dǎo)部件61i可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。多個(gè)引導(dǎo)部件61h和61i能夠發(fā)揮出在電極11a與放電方向大致平行地移動(dòng)時(shí)的引導(dǎo)功能。

在電極11a的上表面，兩個(gè)連接端子51h可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。在電極11a的上表面，兩個(gè)連接端子51i可以在電極11a的長(zhǎng)度方向上排列配置。

圖15d是將圖15c中示出的用線xvd圈起的部分放大示出的立體圖。為了將第一固定部分511固定在電極11a的上表面，可以將多個(gè)螺栓51f沿電極11a的長(zhǎng)度方向配置。

在各個(gè)連接端子51h和51i中，可以沿電極11a的長(zhǎng)度方向形成多個(gè)開(kāi)口部514。由此，能夠進(jìn)一步降低使連接端子51h和51i變形時(shí)的反作用力。例如，在利用多個(gè)開(kāi)口部514將沿著電極11a的長(zhǎng)度方向的、連接端子51h的長(zhǎng)度中的相當(dāng)于一半的長(zhǎng)度進(jìn)行穿孔時(shí)，連接端子51h的反作用力變?yōu)橐话搿?/p>

關(guān)于其他方面，可以與上述的第五實(shí)施方式相同。

9.將連接端子一體化的電極保持結(jié)構(gòu)

圖16是示出第七實(shí)施方式的準(zhǔn)分子激光器裝置中的電極保持結(jié)構(gòu)的截面圖。在第七實(shí)施方式中，可以配置連接端子51g。連接端子51g的中央部分515可以與電極11a的上表面進(jìn)行面接觸而被固定。連接端子51g的兩端部分516可以與電極保持架40a的下表面進(jìn)行面接觸而被固定。連接端子51g相當(dāng)于將第六實(shí)施方式中的連接端子51h和51i一體化而成的連接端子。

關(guān)于其他方面，可以與第六實(shí)施方式相同。

10.其他(脈沖功率模塊的構(gòu)成)

圖17是示出上述的脈沖功率模塊的結(jié)構(gòu)的電路圖。脈沖功率模塊13可以構(gòu)成為包含充電電容器c0、開(kāi)關(guān)13a、作為磁壓縮電路的升壓變壓器tc1、多個(gè)磁開(kāi)關(guān)sr1～sr3以及多個(gè)電容器c1、c2、c3。在電容器c3的兩端可以連接圖2和圖3中示出的連接部件s1和連接部件s2。

磁開(kāi)關(guān)sr1～sr3均可以包含可飽和電抗器。對(duì)于各個(gè)磁開(kāi)關(guān)sr1～sr3，可以是當(dāng)施加在其兩端的電壓的時(shí)間積分值成為由各磁開(kāi)關(guān)的特性決定的規(guī)定值時(shí)，上述各個(gè)磁開(kāi)關(guān)成為低阻抗。

可利用激光器控制部29對(duì)充電器12設(shè)定充電電壓v(n)。充電器12可以基于所設(shè)定的充電電壓v(n)對(duì)充電電容器c0進(jìn)行充電。

可利用激光器控制部29對(duì)脈沖功率模塊13的開(kāi)關(guān)13a輸入開(kāi)關(guān)信號(hào)?？梢栽陂_(kāi)關(guān)信號(hào)被輸入到開(kāi)關(guān)13a時(shí)，開(kāi)關(guān)13a成為接通。在開(kāi)關(guān)13a成為接通時(shí)，電流可以由充電電容器c0流向升壓變壓器tc1的1次側(cè)。

在電流流向升壓變壓器tc1的1次側(cè)時(shí)，反方向的電流可以由于電磁感應(yīng)而流向升壓變壓器tc1的2次側(cè)。在電流流向升壓變壓器tc1的2次側(cè)時(shí)，施加至磁開(kāi)關(guān)sr1的電壓的時(shí)間積分值可以立即達(dá)到閾值。

在施加給磁開(kāi)關(guān)sr1的電壓的時(shí)間積分值達(dá)到閾值時(shí)，磁開(kāi)關(guān)sr1呈磁飽和狀態(tài)，磁開(kāi)關(guān)sr1可以關(guān)閉。

在磁開(kāi)關(guān)sr1關(guān)閉時(shí)，電流由升壓變壓器tc1的2次側(cè)流向電容器c1，電容器c1可以被充電。

通過(guò)使電容器c1被充電，磁開(kāi)關(guān)sr2立即成為磁飽和狀態(tài)，磁開(kāi)關(guān)sr2可以關(guān)閉。

在磁開(kāi)關(guān)sr2關(guān)閉時(shí)，電流由電容器c1流向電容器c2，電容器c2可以被充電。此時(shí)，可以利用比對(duì)電容器c1進(jìn)行充電時(shí)的電流的脈沖寬度短的脈沖寬度對(duì)電容器c2進(jìn)行充電。

通過(guò)對(duì)電容器c2進(jìn)行充電，磁開(kāi)關(guān)sr3立即成為磁飽和狀態(tài)，磁開(kāi)關(guān)sr3可以關(guān)閉。

在磁開(kāi)關(guān)sr3關(guān)閉時(shí)，電流由電容器c2流向電容器c3，電容器c3可以被充電。此時(shí)，可以利用比對(duì)電容器c2進(jìn)行充電時(shí)的電流的脈沖寬度短的脈沖寬度對(duì)電容器c3進(jìn)行充電。

由此，通過(guò)使電流依次從電容器c1流向電容器c2、從電容器c2流向電容器c3，該電流的脈沖寬度被壓縮，可以進(jìn)行高電壓化。

在電容器c3的電壓達(dá)到激光氣體的擊穿電壓時(shí)，在一對(duì)電極11a和11b間的激光氣體中可以產(chǎn)生絕緣破壞。由此，激光氣體被激發(fā)、發(fā)生激光振蕩，脈沖激光可以被輸出。通過(guò)利用開(kāi)關(guān)13a的開(kāi)關(guān)動(dòng)作反復(fù)進(jìn)行這樣的放電動(dòng)作，能夠以規(guī)定的振蕩頻率輸出脈沖激光。

上述的說(shuō)明僅意在對(duì)本公開(kāi)進(jìn)行例示而并非進(jìn)行限定。因此，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，顯然能夠在不脫離所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)對(duì)本公開(kāi)的實(shí)施方式進(jìn)行變更。

本說(shuō)明書和所附的權(quán)利要求書整體中使用的用語(yǔ)應(yīng)該解釋為“非限定性的”用語(yǔ)。例如，“包含(含有)”或“所包含的”這樣的用語(yǔ)應(yīng)該解釋為“不限于作為包含的內(nèi)容而記載的內(nèi)容”?！熬哂小边@樣的用語(yǔ)應(yīng)該解釋為“不限于作為具有的內(nèi)容而記載的內(nèi)容”。另外，本說(shuō)明書和所附的權(quán)利要求書中記載的修飾詞“1個(gè)”應(yīng)該解釋為“至少1個(gè)”或者“1個(gè)或1個(gè)以上”的意思。