技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種TEM樣品承載裝置，至少包括柵格結(jié)構(gòu)、樣品載網(wǎng)以及碳膜；所述柵格結(jié)構(gòu)包括基底及位于所述基底一側(cè)向外延伸的至少一個附連元件，所述附連元件適于附連樣品；所述樣品載網(wǎng)為金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，所述樣品載網(wǎng)對稱設(shè)于所述基底的兩端并與所述附連元件位于同一側(cè)，且所述樣品載網(wǎng)與所述基底的外輪廓構(gòu)成一大于半圓的結(jié)構(gòu)；所述碳膜覆蓋于所述樣品載網(wǎng)上。本實用新型的TEM樣品承載裝置很容易裝載到TEM樣品桿上，節(jié)約裝載時間；避免樣品在裝載過程中丟失；防止承載裝置從TEM樣品桿的孔中掉落而損傷樣品；實現(xiàn)高分辨率TEM/STEM的圖片；該承載裝置還可以重復(fù)利用，節(jié)約成本。

技術(shù)研發(fā)人員：王妍;賴?yán)铨?br/>受保護的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號碼：201621492933
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.07.14