本實用新型涉及片材剝離裝置。

背景技術(shù)：

以往，已知一種片材剝離裝置，使剝離用膠帶變溫并將其粘貼在粘貼于被粘接體的粘接片材上，對該剝離用膠帶施加張力，將粘接片材從附著體剝離(例如，參照專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011－23612號公報

實用新型的內(nèi)容

本實用新型要解決的課題

但是，在如專利文獻1所記載的以往的片材剝離裝置的情況下，考慮到與剝離膠帶5(剝離用膠帶)和保護膠帶4(粘接片材)的兼容性相關(guān)的條件、與剝離用膠帶或粘接片材的特性、特質(zhì)、性質(zhì)、材質(zhì)、組成、素質(zhì)、結(jié)構(gòu)、形狀、個體差、尺寸及重量等分別相關(guān)的條件、與氣氛的溫度、濕度及氣壓等氣氛相關(guān)的條件、與季節(jié)、氣候、天氣及時間段等其它主要因素相關(guān)的條件等(以下，將這些條件稱為“諸條件”)的基礎(chǔ)上，如果沒有將在粘接片材上粘接剝離用膠帶的溫度設(shè)定為適宜的溫度，則就不能以充分的粘接力粘接剝離用膠帶和粘接片材，在從晶圓2(被粘接體)剝離粘接片材時，剝離用膠帶從粘接片材被剝離而發(fā)生該粘接片材的剝離不良。

本實用新型的目的在于，提供一種片材剝離裝置，其能夠考慮諸條件將在粘接片材上粘接該剝離用膠帶的溫度設(shè)定為適宜的溫度，并將該剝離用膠帶和粘接片材粘接。

用于解決課題的手段

本實用新型采用了如下技術(shù)方案所記載的結(jié)構(gòu)。

實用新型的效果

根據(jù)本實用新型，由于輸入單元具有設(shè)定溫度輸入部，所以能夠考慮諸條件，將在粘接片材上粘接該剝離用膠帶的溫度設(shè)定為適宜的溫度，并將該剝離用膠帶和粘接片材粘接。

另外，如果具備溫度檢測單元，則能夠適宜管理按壓部件的溫度。

進而，如果控制單元具備溫度維持部，則能夠?qū)磯翰考臏囟染S持在適當?shù)臏囟取?/p>

另外，如果輸入單元具備設(shè)定溫度范圍輸入部，則能夠?qū)磯翰考臏囟染S持在適當?shù)臏囟确秶鷥?nèi)。

進而，如果輸入單元具備設(shè)定按壓時間輸入部，則能夠?qū)冸x用膠帶可靠地粘接于粘接片材。

另外，如果在按壓部件的按壓剝離用膠帶的按壓面上設(shè)置剝離層，則能夠防止剝離用膠帶的粘接劑粘接于按壓面。

附圖說明

圖1是本實用新型的一實施方式涉及的片材剝離裝置的側(cè)視圖；

圖2A、圖2B是片材剝離裝置的動作說明圖；

圖3A、圖3B、圖3C是片材剝離裝置的動作說明圖。

具體實施方式

以下，基于附圖說明本實用新型的一實施方式。

此外，本實施方式中的X軸、Y軸、Z軸分別為正交的關(guān)系，X軸及Y軸為規(guī)定平面內(nèi)的軸，Z軸為與所述規(guī)定平面正交的軸。進而，在本實施方式中，在以從與Y軸平行的圖1中跟前方向觀察的情況為基準表示方向的情況下，“上”為Z軸的箭頭方向，“下”為其反方向；“左”為X軸的箭頭方向，“右”為其反方向；“前”為與Y軸平行的圖1中跟前方向，“后”為其反方向。

圖1中，片材剝離裝置10是將粘貼于作為被粘接體的半導體晶圓(以下，也簡稱為“晶圓”)WF上的粘接片材AS從該晶圓WF剝離的裝置，具備：

供給單元20，其供給剝離用膠帶PT；

按壓單元30，其利用按壓部件32將剝離用膠帶PT按壓并粘貼于粘接片材AS；

變溫單元40，其使按壓部件32變溫，并利用該按壓部件32使粘貼于粘接片材AS上的剝離用膠帶PT部分進行變溫；

張力施加單元50，其對剝離用膠帶PT施加張力，并從晶圓WF剝離粘接片材AS；

溫度檢測單元60，其檢測按壓部件32的溫度；

控制單元70，其控制構(gòu)成該片材剝離裝置10的各部件的動作；以及

輸入單元80，在使構(gòu)成該片材剝離裝置10的各部件動作時，該輸入單元80輸入各種設(shè)定值。

供給單元20具備：

膠帶支承單元21，其對所卷繞的剝離用膠帶PT可旋轉(zhuǎn)地進行支承；

抽出單元22，其與該膠帶支承單元21之間夾持支承于該膠帶支承單元21的剝離用膠帶PT，并對該剝離用膠帶PT施加抽出力或卷取力；

導引保持單元23，其保持剝離用膠帶PT的導引端部；

保持輔助單元24，其對導引保持單元23保持剝離用膠帶PT進行輔助；

切斷單元25，其切斷剝離用膠帶PT；以及

引導單元26，其以從晶圓WF剝離的粘接片材AS不松弛的程度對該粘接片材AS施加張力。

膠帶支承單元21具備：

支承輥21C，其被支承于能夠繞旋轉(zhuǎn)軸21A轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動臂21B的自由端側(cè)，并支承卷繞的剝離用膠帶PT；以及

作為施力單元的彈簧21D，其將轉(zhuǎn)動臂21B向抽出單元22方向施力。

抽出單元22具備抽出輥22B，其通過作為驅(qū)動設(shè)備的旋轉(zhuǎn)電機22A驅(qū)動。

導引保持單元23具備：

收容單元23C，其被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的直線運動電機23A的輸出軸23B；以及

減壓泵或真空噴射泵等吸引單元23F，其被收容于收容單元23C內(nèi)，經(jīng)由形成于收容單元23C的底面即吸附面23D上的吸引孔23E吸附保持剝離用膠帶PT。

保持輔助單元24具備輔助輥24C，輔助輥24C被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的直線運動電機24A的輸出軸24B，并使剝離用膠帶PT抵接吸附面23D。

切斷單元25具備切割刀25C，切割刀25C被支承于收容單元23C內(nèi)收容的作為驅(qū)動設(shè)備的線性電機25A的滑塊25B，并設(shè)為能夠從收容單元23C的底面伸出沒入。

引導單元26具備導向輥26C，導向輥26C被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的線性電機26A的滑塊26B。

按壓單元30具備按壓部件32，按壓部件32被支承于收容單元23C內(nèi)收容的作為驅(qū)動設(shè)備的線性電機31的滑塊31A，并設(shè)為能夠從收容單元23C的底面伸出沒入。

此外，在按壓部件32的按壓剝離用膠帶PT的按壓面32A上設(shè)有未圖示的剝離層。

這樣的剝離層可以是硅單獨系、硅和其它聚合物的混合物或共聚物等硅系的層，也可以是烯烴系、含有長鏈烷基的聚合物系、氟系等非硅系的層，可以涂布并層疊于按壓面32A上，也可以粘接或者螺栓緊固而層疊于按壓面32A。

變溫單元40具備加熱冷卻單元41，并配置于按壓部件32的下方內(nèi)部，所述加熱冷卻單元41具備線圈加熱器或熱管加熱側(cè)等加熱單元、及珀爾帖元件或熱管冷卻側(cè)等冷卻單元。

張力施加單元50具備：

移動單元51，其使剝離用膠帶PT和晶圓WF相對移動；

壓緊單元52，其將從晶圓WF剝離的粘接片材AS向晶圓WF方向壓緊，限制晶圓WF向粘接片材AS的剝離方向移動；以及

夾持單元53，其與壓緊單元52之間夾持剝離用膠帶PT及粘接片材AS。

移動單元51具備工作臺51D，其被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的線性電機51A的滑塊51B，并具備能夠通過減壓泵或真空噴射泵等未圖示的減壓單元吸附保持晶圓WF的支承面51C。

壓緊單元52具備：

作為驅(qū)動設(shè)備的旋轉(zhuǎn)電機52C，其被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的線性電機52A的滑塊52B；以及

壓緊輥52D，其被支承于旋轉(zhuǎn)電機52C的未圖示的輸出軸。

夾持單元53具備夾送輥53C，其被支承于作為驅(qū)動設(shè)備的直線運動電機53A的輸出軸53B。

溫度檢測單元60具備支承于收容單元23C內(nèi)的溫度傳感器或紅外線照相機等，能夠以與按壓部件32接觸或不接觸的方式檢測該按壓部件32的溫度。

控制單元70具備定序器或個人計算機等，并具備溫度維持部71，溫度維持部71基于溫度檢測單元60的檢測結(jié)果控制變溫單元40，并將按壓部件32的溫度維持在規(guī)定的溫度。

輸入單元80具備：

設(shè)定溫度輸入部81，其具備操作面板或鍵盤等，將按壓部件32的變溫后的溫度輸入作為設(shè)定溫度；

設(shè)定溫度范圍輸入部82，其對由溫度維持部71維持的溫度設(shè)定下限溫度及上限溫度，并將該溫度范圍輸入作為設(shè)定溫度范圍；以及

設(shè)定按壓時間輸入部83，其將利用按壓部件32將剝離用膠帶PT按壓于粘接片材AS的時間輸入作為設(shè)定按壓時間。

說明在以上的片材剝離裝置10中剝離粘貼于晶圓WF上的粘接片材AS的順序。

首先，對于部件在初始位置待機的圖1中實線所示的片材剝離裝置10，該片材剝離裝置10的使用者(以下，簡稱為“使用者”)如圖1中實線所示那樣設(shè)置剝離用膠帶PT。

之后，使用者考慮諸條件，確定將剝離用膠帶PT粘貼于粘接片材AS的設(shè)定溫度、設(shè)定溫度范圍及設(shè)定按壓時間。

在本實施方式的情況下，剝離用膠帶PT采用熱敏粘接性的膠帶，這種膠帶通過變溫為145℃～155℃之間的溫度1秒以上期間，即使牽拉該剝離用膠帶PT從晶圓WF剝離粘接片材AS，該剝離用膠帶PT也不會從粘接片材AS剝離。

基于上述信息，使用者將設(shè)定溫度設(shè)為150℃并輸入設(shè)定溫度輸入部81。

另外，使用者將設(shè)定溫度范圍設(shè)為設(shè)定溫度的正負2℃的范圍、即、將下限溫度設(shè)為148℃、將上限溫度設(shè)為152℃，并將其輸入設(shè)定溫度范圍輸入部82。

進而，使用者將設(shè)定按壓時間設(shè)為2秒并將其輸入設(shè)定按壓時間輸入部82。

此外，使用者可以考慮諸條件來任意決定設(shè)定溫度、設(shè)定溫度范圍及設(shè)定按壓時間。

例如，在因季節(jié)而氣溫變得潮濕或干燥的情況下，可以將設(shè)定溫度如設(shè)定為153℃而設(shè)定得較高，或?qū)⒃O(shè)定溫度如設(shè)定為149℃而設(shè)定得較低，

例如，在氣氛的溫度升高或降低的情況下，也可以將設(shè)定溫度范圍如設(shè)定為設(shè)定溫度的正負1℃的范圍而設(shè)定得較窄、或者將設(shè)定溫度范圍如設(shè)定為正負2.5℃的范圍而設(shè)定得較寬，

例如，根據(jù)剝離用膠帶或粘接片材的個體差，可以將設(shè)定按壓時間如設(shè)定為1.5秒而設(shè)定得較短，也可以將設(shè)定按壓時間如設(shè)定為3秒而設(shè)定得較長。

即，根據(jù)使用者的見解或經(jīng)驗值、剝離用膠帶PT及粘接片材AS的規(guī)格等，使用者可以考慮諸條件來任意決定設(shè)定溫度、設(shè)定溫度范圍及設(shè)定按壓時間。

以上的輸入結(jié)束后，使用者經(jīng)由操作面板或計算機等輸入自動運轉(zhuǎn)開始的信號。

然后，供給單元20驅(qū)動吸引單元23F，開始利用吸附面23D吸附保持剝離用膠帶PT。

另外，變溫單元40驅(qū)動加熱冷卻單元41，使按壓部件32變溫，以使該按壓部件32成為設(shè)定溫度即150℃。

然后，使用者或多關(guān)節(jié)機器人或帶式輸送機等未圖示的搬運單元以粘接片材AS處于上方的狀態(tài)，將晶圓WF載置于支承面51C上。

接著，張力施加單元50驅(qū)動未圖示的減壓單元，開始晶圓WF的吸附保持。

之后，張力施加單元50驅(qū)動線性電機51A，使工作臺51D向右方向移動，如圖1中雙點劃線所示，使粘接片材AS的左端部位于按壓部件32的正下方。

接著，供給單元20驅(qū)動直線運動電機24A，如圖1中雙點劃線所示，使輔助輥24C從收容單元23C的下方退避。

接著，供給單元20驅(qū)動旋轉(zhuǎn)電機22A及直線運動電機23A，抽出剝離用膠帶PT的同時，使收容單元23C下降至粘接片材AS的正上方規(guī)定位置。

之后，以由溫度檢測單元60檢測的按壓部件32的溫度為設(shè)定溫度范圍即148℃～152℃之間的溫度為條件，按壓單元30驅(qū)動線性電機31，如圖2(A)所示，使按壓部件32下降，將剝離用膠帶PT按壓并粘貼于粘接片材AS的左端部。

然后，當將剝離用膠帶PT按壓于粘接片材AS，并經(jīng)過設(shè)定按壓時間即2秒時，供給單元20停止吸引單元23F的驅(qū)動，并且供給單元20及按壓單元30驅(qū)動直線運動電機23A及線性電機31，使收容單元23C及按壓部件32返回初始位置。

由此，由于剝離用膠帶PT被變溫為145℃～155℃之間的溫度1秒以上的期間，所以滿足即使牽拉該剝離用膠帶PT從晶圓WF剝離粘接片材AS，該剝離用膠帶PT也不會從粘接片材AS剝離的條件。

此外，由于在按壓面32A設(shè)有未圖示的剝離層，所以剝離用膠帶PT的粘接劑不會附著于該按壓面32A，剝離用膠帶PT不會與向初始位置返回的按壓部件32一同提起。

由此，也不會出現(xiàn)以下情況：粘貼于粘接片材AS的剝離用膠帶PT與向初始位置返回的按壓部件32一同移動而從粘接片材AS剝離，或者剝離用膠帶PT、粘接片材AS及晶圓WF與向初始位置返回的按壓部件32連動，與向初始位置返回的按壓部件32一同移動而使該晶圓WF破損。

之后，張力施加單元50驅(qū)動直線運動電機53A，夾送輥53C和壓緊輥52D以規(guī)定的按壓力夾持剝離用膠帶PT。

接著，張力施加單元50驅(qū)動線性電機51A，使粘接片材AS的左端部位于壓緊輥52D的最下部的正下方。

接著，供給單元20驅(qū)動旋轉(zhuǎn)電機22A，將剝離用膠帶PT卷取規(guī)定長度，并且張力施加單元50驅(qū)動線性電機52A，如圖2(B)所示，利用壓緊輥52D的最下部按壓剝離用膠帶PT的彎折部。

接著，張力施加單元50驅(qū)動線性電機51A及旋轉(zhuǎn)電機52C，使工作臺51D向左方向移動，并且使壓緊輥52D向逆時針旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)。

由此，粘接片材AS被壓緊輥52D的最下部按壓其彎折部的同時，從晶圓WF剝離。

此外，在粘接片材AS的剝離過程中，供給單元20驅(qū)動線性電機26A，如圖3(A)所示，使導向輥26C抵接利用壓緊輥52D及夾送輥53C抽出的剝離用膠帶PT或粘接片材AS，以使該剝離用膠帶PT不會松弛的方式對該剝離用膠帶PT進行導向。

然后，如圖3(B)所示，當將粘接片材AS整體從晶圓WF剝離時，供給單元20及張力施加單元50停止線性電機26A及旋轉(zhuǎn)電機52C的驅(qū)動。

接著，供給單元20驅(qū)動直線運動電機24A及吸引單元23F，如圖3(C)所示，使輔助輥24C返回初始位置，開始利用吸附面23D吸附保持剝離用膠帶PT。

之后，供給單元20驅(qū)動線性電機25A，使切割刀25C升降從而將剝離用膠帶PT切斷，使用者或未圖示的移送單元回收粘接片材AS。

此外，當將粘接片材AS整體從晶圓WF剝離時，使用者或未圖示的搬運單元將工作臺51D上的晶圓WF搬運到下一工序后，各單元驅(qū)動各自的驅(qū)動設(shè)備，使各部件返回初始位置，之后重復同樣的動作。

在此，在該片材剝離裝置10的動作過程中，溫度檢測單元60檢測按壓部件32的溫度，并且控制單元70基于溫度檢測單元60的檢測結(jié)果驅(qū)動變溫單元40，以使按壓部件32的溫度不脫離設(shè)定溫度范圍的方式進行控制。

即，當溫度檢測單元60檢測到按壓部件32的溫度接近設(shè)定溫度范圍的下限溫度即148℃、或達到148℃、或低于148℃時，控制單元70驅(qū)動變溫單元40的加熱冷卻單元41，以使按壓部件32成為148℃以上的方式使該按壓部件32變溫。

另外，當溫度檢測單元60檢測到按壓部件32的溫度接近設(shè)定溫度范圍的上限溫度即152℃、或達到152℃、或超過152℃時，控制單元70驅(qū)動變溫單元40的加熱冷卻單元41，以使按壓部件32成為152℃以下的方式使該按壓部件32變溫。

根據(jù)以上這種實施方式，由于輸入單元80具有設(shè)定溫度輸入部81，所以能夠考慮諸條件將使該剝離用膠帶PT與粘接片材AS粘接的溫度設(shè)定為適宜的溫度，并將該剝離用膠帶PT和粘接片材AS粘接。

根據(jù)以上的實施方式，示出了可實施本實用新型的一個例子，但本實用新型中的單元及工序只要能夠?qū)@些單元及工序?qū)崿F(xiàn)所說明的動作、功能或工序，就沒有任何限定，而且，對上述實施方式所示的單純的一實施方式的構(gòu)成物或工序完全沒有限定。例如，供給單元只要能夠供給剝離用膠帶，就符合本申請最初的技術(shù)常識，且只要是該技術(shù)范圍內(nèi)的內(nèi)容，就沒有任何限定(其它單元及工序也相同，省略其說明)。

供給單元20可以為供給單片式剝離用膠帶的結(jié)構(gòu)，也可以不經(jīng)由剝離用膠帶PT而通過驅(qū)動設(shè)備或吸附保持等直接保持粘接片材AS。

供給單元20可以在收容單元23C、輔助輥24C、切割刀25C等與剝離用膠帶PT接觸的部件上設(shè)置與設(shè)于按壓面32A上的未圖示的剝離層相同的剝離層，這樣的剝離層不僅設(shè)于收容單元23C的吸附面23D、輔助輥24C的圓周面、切割刀25C的刀形成面，而且還可以設(shè)于構(gòu)成它們的部件的另一面。

膠帶支承單元21也可以支承剝離用膠帶PT，而不向抽出單元22方向被施力，該情況下，抽出單元22只要采用與抽出輥22B之間夾持剝離用膠帶PT的夾送輥等即可。

導引保持單元23可以取代吸引單元23F或者與吸引單元23F并用，采用通過機械卡盤或卡盤缸等卡盤單元、庫侖力、粘接劑、粘合劑、磁力、伯努利吸附等保持剝離用膠帶PT的結(jié)構(gòu)。

保持輔助單元24可以取代輔助輥24C或者與輔助輥24C并用，采用通過棒狀部件、板狀部件、空氣的吹出使剝離用膠帶PT抵接吸附面23D的結(jié)構(gòu)。

保持輔助單元24可以僅利用導引保持單元23保持粘接片材AS剝離后的剝離用膠帶PT，也可以沒有。

施力單元也可以取代彈簧21D或者與彈簧21D并用，采用橡膠或樹脂等。

切斷單元25也可以取代切割刀25C或者與切割刀25C并用，采用激光切割機、熱切割機、空氣切割機、壓縮水切割機等其它結(jié)構(gòu)的切割機，在利用其它裝置切斷剝離用膠帶PT的情況下，在本申請實用新型中也可以沒有切斷單元25，也可以不切斷剝離用膠帶PT。

引導單元26也可以取代導向輥26C或者與導向輥26C并用，采用棒狀部件或板狀部件等。

按壓單元30可以取代按壓部件32或者與按壓部件32并用，采用基于片材、橡膠、樹脂、海綿、空氣吹出等的按壓部件。

按壓單元30可以在按壓部件32的按壓面32A以外的面上還設(shè)置剝離層，也可以在由上述的板材、橡膠、樹脂等構(gòu)成的按壓部件的按壓面或該按壓面以外的面上設(shè)置剝離層。

按壓單元30及切斷單元25的至少一方也可以不收容于收容單元23C，而通過未圖示的框架支承線性電機31、25A。

變溫單元40可以采用紅外線照射裝置等作為加熱單元，也可以采用送風裝置等作為冷卻單元，可以僅由加熱單元構(gòu)成，也可以僅由冷卻單元構(gòu)成，即使在剝離用膠帶PT為壓敏粘接性的膠帶的情況下，也能夠使該剝離用膠帶PT變溫。

張力施加單元50也可以通過抽出單元22的驅(qū)動、旋轉(zhuǎn)電機52C的驅(qū)動、線性電機51A的驅(qū)動及線性電機26A的驅(qū)動中的至少一種驅(qū)動，剝離粘接片材AS。

張力施加單元50可以預先固定工作臺51D而使供給單元20等移動，也可以使所述各單元和工作臺51D這兩者移動。

移動單元51也可以為通過機械卡盤或卡盤缸等卡盤單元、庫侖力、粘接劑、粘合劑、磁力、伯努利吸附等支承晶圓WF的結(jié)構(gòu)，在利用其它裝置使晶圓WF移動的情況下，也可以不具有移動單元51。

壓緊單元52可以取代壓緊輥52D或者與壓緊輥52D并用，利用板狀部件或空氣吹出等將粘接片材沿晶圓WF方向壓緊，也可以不具有壓緊單元52。

夾持單元53可以取代夾送輥53C或者與夾送輥53C并用，利用板狀部件或空氣吹出等與壓緊輥52D之間夾持剝離用膠帶PT等，也可以不具有夾持單元53。

溫度檢測單元60可以被支承于按壓部件32或吸引單元23F等收容單元23C以外的部件，也可以不具有溫度檢測單元60。在沒有溫度檢測單元60的情況下，例如，只要采用根據(jù)向變溫單元40供給的電流或電壓的大小來決定變溫的溫度的結(jié)構(gòu)即可。

控制單元70可以控制供給單元20或按壓單元30等構(gòu)成片材剝離裝置10的各部件的動作，也可以不具備溫度維持部71。在控制單元70不具備溫度維持部71的情況下，例如，即使采用根據(jù)向變溫單元40供給的電流或電壓的大小來決定按壓部件32變溫的溫度的結(jié)構(gòu)、或是采用變溫單元40脫離設(shè)定溫度的結(jié)構(gòu)，只要縮短或延長按壓剝離用膠帶PT的時間而將該剝離用膠帶PT粘接于粘接片材AS即可。

輸入單元80可以是使用者利用觸摸面板、數(shù)字光標鍵、刻度盤等直接輸入各種設(shè)定值的單元，也可以是能夠從接收RFID等電磁波或電波的接收機、紅外線接收機、條形碼讀碼器等規(guī)定的存儲介質(zhì)讀取各種設(shè)定值的單元，也可以不具備設(shè)定溫度范圍輸入部82及設(shè)定按壓時間輸入部83中的至少一者。在輸入單元80不具備設(shè)定溫度范圍輸入部82的情況下，控制單元70基于溫度檢測單元60的檢測結(jié)果，驅(qū)動變溫單元40的加熱冷卻單元41，并與上述實施方式同樣地，以使按壓部件32的溫度不脫離設(shè)定溫度(例如150℃)的方式維持該按壓部件32的溫度即可。

關(guān)于向輸入單元80輸入的設(shè)定溫度，例如，200℃、10℃、負5℃、負35℃等，使用者可以考慮諸條件而任意決定。

向輸入單元80輸入的設(shè)定溫度范圍，例如，可以為設(shè)定溫度的正負0.1℃的范圍、或是設(shè)定溫度的正負15℃的范圍、或是設(shè)定溫度的正5℃～負0℃的范圍、或是設(shè)定溫度的正0℃～負8℃的范圍，使用者可以考慮諸條件任意決定。

向輸入單元80輸入的設(shè)定按壓時間，例如，可以為0.1秒、或是10秒，使用者可以考慮諸條件任意決定。

另外，本實用新型的粘接片材AS、剝離用膠帶PT及被粘接體的材質(zhì)、類別、形狀等沒有特別限定。例如，粘接片材AS及剝離用膠帶PT也可以是圓形、楕圓形、三角形或四邊形等多邊形、其它形狀。另外，這種粘接片材AS及剝離用膠帶PT例如也可以是僅粘接劑層的單層的結(jié)構(gòu)、在基材片材和粘接劑層之間具有中間層的結(jié)構(gòu)、在基材片材的上表面具有覆蓋層諸如此類的3層以上的結(jié)構(gòu)、進而可以是能夠?qū)⒒钠膹恼辰觿觿冸x的所謂雙面粘接片材的結(jié)構(gòu)，雙面粘接片材也可以是具有單層或多層的中間層的片材、或沒有中間層的單層或多層的片材。另外，作為被粘接體，例如，也可以以食品、樹脂容器、硅半導體晶圓或化合物半導體晶圓等半導體晶圓、電路基板、光盤等信息記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂板等任意形式的部件或物品等為對象。此外，粘接片材AS也換成功能性、用途性的說法，例如，也可以是信息記載用標簽、裝飾用標簽、保護片、切割膠帶、芯片粘接膜、芯片接合膠帶、記錄層形成樹脂片等。

上述實施方式中的驅(qū)動設(shè)備可以采用旋轉(zhuǎn)電機、直線運動電機、線性電機、單軸機器人、多關(guān)節(jié)機器人等電動設(shè)備、氣缸、液壓缸、無桿氣缸及回轉(zhuǎn)缸等致動器等，而且可以采用將它們直接或間接組合而成的結(jié)構(gòu)。

附圖標記的說明

10…片材剝離裝置

20…供給單元

30…按壓單元

32…按壓部件

40…變溫單元

50…張力施加單元

60…溫度檢測單元

70…控制單元

71…溫度維持部

80…輸入單元

81…設(shè)定溫度輸入部

82…設(shè)定溫度范圍輸入部

83…設(shè)定按壓時間輸入部

AS…粘接片材

PT…剝離用膠帶

WF…晶圓(被粘接體)