技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種等離子體刻蝕機的壓環(huán)，用于將被刻蝕樣片固定于下電極，其中，所述壓環(huán)包括壓環(huán)主體、定位爪、和樣片壓足，所述壓環(huán)主體整體形成為冠狀，所述定位爪沿著所述壓環(huán)主體的周向間隔一定角度而設置并沿徑向凸出到壓環(huán)主體外周，所述樣片壓足沿周向設置于所述壓環(huán)主體的內(nèi)側(cè)并沿徑向向所述壓環(huán)主體的中心凸出，在所述定位爪的每個中設置有用于與垂直導向桿相配合的定位孔。

技術(shù)研發(fā)人員：胡冬冬;侯永剛;李娜;程實然;許開東
受保護的技術(shù)使用者：江蘇魯汶儀器有限公司
文檔號碼：201621425397
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.23
技術(shù)公布日：2017.10.13