本實用新型涉及LED燈技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置。
背景技術(shù):
圖形化藍(lán)寶石襯底也就是在藍(lán)寶石襯底上生長干法刻蝕用掩膜,用標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝將掩膜刻出圖形,利用ICP刻蝕技術(shù)刻蝕藍(lán)寶石,并去掉掩膜,再在其上生長GaN材料,使GaN材料的縱向外延變?yōu)闄M向外延,一方面可以有效減少GaN外延材料的位錯密度,從而減小有源區(qū)的非輻射復(fù)合,減小反向漏電流,提高LED的壽命;另一方面有源區(qū)發(fā)出的光,經(jīng)GaN和藍(lán)寶石襯底界面多次散射,改變了全反射光的出射角,增加了倒裝LED的光從藍(lán)寶石襯底出射的幾率,從而提高了光的提取效率,在加工藍(lán)寶石襯底的程序中需要進(jìn)行鏡面拋光,為此我們提出一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點,而提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用了如下技術(shù)方案。
一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置,包括底座,所述底座安裝有第一氣缸和第一連接柱,第一氣缸位于第一連接柱的一側(cè),第一氣缸遠(yuǎn)離第一連接柱的一側(cè)設(shè)有第一凹槽,第一凹槽內(nèi)滑動連接有夾持固定裝置,第一氣缸的活塞桿焊接有夾持固定裝置裝置,所述夾持固定裝置包括固定塊,固定塊上開有第二凹槽,第二凹槽內(nèi)設(shè)有第一夾持塊和第二夾持塊,第一夾持塊和第二夾持塊的截面均為L形,第一夾持塊的側(cè)壁底端開有第三凹槽,第三凹槽內(nèi)設(shè)有第二氣缸,第二氣缸的輸出軸連接有第二夾持塊,第二夾持塊的底端側(cè)壁與第三凹槽的側(cè)壁滑動連接,第一夾持塊靠近第二夾持塊的一側(cè)設(shè)有活動夾板,活動夾板與第一夾持塊之間連接有彈簧,所述第一連接柱的頂端開有第四凹槽,第四凹槽內(nèi)設(shè)有垂直設(shè)置的第三氣缸,第三氣缸的活塞桿連接有第二連接柱,第二連接柱與第四凹槽的側(cè)壁滑動連接,所述第二連接柱的頂端焊接有橫梁,橫梁的頂端安裝有電動機(jī),電動機(jī)的輸出軸連接有固定架,固定架位于橫梁的下方,固定架上安裝有兩個出液管,固定架的底端安裝有拋光工件。
優(yōu)選的,所述夾持固定裝置的底端設(shè)有兩個滑塊,第一凹槽的底端側(cè)壁上設(shè)有兩個平行設(shè)置的滑軌,滑塊與滑軌相配合。
優(yōu)選的,所述活動夾板與第一夾持塊之間連接有四個彈簧,且四個彈簧分別安裝在活動夾板的四角。
優(yōu)選的,所述底座上開有導(dǎo)液槽,導(dǎo)液槽位于第一凹槽的底端,底座的側(cè)壁上設(shè)有接料箱,導(dǎo)液槽的出液口位于接料箱的頂端。
優(yōu)選的,所述第一夾持塊和第二夾持塊對稱設(shè)置,且第一夾持塊和第二夾持塊的頂端位于同一直線上。
優(yōu)選的,所述出液管的底端連接有噴頭。
本實用新型的有益效果:通過活動夾板、彈簧、第一夾持塊和第二夾持塊的設(shè)置,能夠?qū)λ{(lán)寶石襯底進(jìn)行初步固定;通過第二氣缸、第三凹槽的設(shè)置,能夠?qū)λ{(lán)寶石襯底進(jìn)行二次固定,穩(wěn)固性高,在拋光時不容易晃動;通過第一氣缸和第二氣缸的設(shè)置,能夠方便藍(lán)寶石襯底的加工,通過電動機(jī)和出液管的設(shè)置,使得藍(lán)寶石襯底的拋光效果更好,本裝置結(jié)構(gòu)簡單,穩(wěn)固性高,藍(lán)寶石襯底的拋光效果好。
附圖說明
圖1為本實用新型提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本實用新型提出的一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置的夾持固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中:1底座、2第一凹槽、3第一氣缸、4第三氣缸、5第一連接柱、6第二連接柱、7橫梁、8電動機(jī)、9固定架、10出液管、11拋光工件、12夾持固定裝置、13第二凹槽、14固定塊、15第二氣缸、16第三凹槽、17第一夾持塊、18彈簧、19活動夾板、20第二夾持塊。
具體實施方式
下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。
參照圖1-2,一種圖形化藍(lán)寶石襯底的加工裝置,包括底座1,底座1安裝有第一氣缸3和第一連接柱5,第一氣缸3位于第一連接柱5的一側(cè),第一氣缸3遠(yuǎn)離第一連接柱5的一側(cè)設(shè)有第一凹槽2,第一凹槽2內(nèi)滑動連接有夾持固定裝置12,第一氣缸3的活塞桿焊接有夾持固定裝置12裝置,夾持固定裝置12包括固定塊14,固定塊14上開有第二凹槽13,第二凹槽13內(nèi)設(shè)有第一夾持塊17和第二夾持塊20,第一夾持塊17和第二夾持塊20的截面均為L形,第一夾持塊17的側(cè)壁底端開有第三凹槽16,第三凹槽16內(nèi)設(shè)有第二氣缸15,第二氣缸15的輸出軸連接有第二夾持塊20,第二夾持塊20的底端側(cè)壁與第三凹槽16的側(cè)壁滑動連接,第一夾持塊17靠近第二夾持塊20的一側(cè)設(shè)有活動夾板19,活動夾板19與第一夾持塊17之間連接有彈簧18,第一連接柱5的頂端開有第四凹槽,第四凹槽內(nèi)設(shè)有垂直設(shè)置的第三氣缸4,第三氣缸4的活塞桿連接有第二連接柱6,第二連接柱6與第四凹槽的側(cè)壁滑動連接,第二連接柱6的頂端焊接有橫梁7,橫梁7的頂端安裝有電動機(jī)8,電動機(jī)8的輸出軸連接有固定架9,固定架9位于橫梁7的下方,固定架9上安裝有兩個出液管10,固定架9的底端安裝有拋光工件11,夾持固定裝置12的底端設(shè)有兩個滑塊,第一凹槽2的底端側(cè)壁上設(shè)有兩個平行設(shè)置的滑軌,滑塊與滑軌相配合,活動夾板19與第一夾持塊17之間連接有四個彈簧18,且四個彈簧18分別安裝在活動夾板19的四角,底座1上開有導(dǎo)液槽,導(dǎo)液槽位于第一凹槽2的底端,底座1的側(cè)壁上設(shè)有接料箱,導(dǎo)液槽的出液口位于接料箱的頂端,第一夾持塊17和第二夾持塊20對稱設(shè)置,且第一夾持塊17和第二夾持塊20的頂端位于同一直線上,出液管10的底端連接有噴頭。
工作原理:將藍(lán)寶石襯底通過活動夾板19和彈簧18的作用固定在活動夾板19和第二夾持塊20之間,通過第二氣缸16帶動第二夾持塊20運動,第一夾持塊17和第二夾持塊20對藍(lán)寶石襯底進(jìn)行二次固定,穩(wěn)固性更高,通過第一氣缸3帶動夾持固定裝置12在第一凹槽2內(nèi)運動,調(diào)整藍(lán)寶石襯底與拋光工件11的左右位置,通過第三氣缸4帶動第二連接柱6向下運動,使得拋光工件11靠近藍(lán)寶石襯底,通過電動機(jī)8帶動固定架9和拋光工件11轉(zhuǎn)動,對藍(lán)寶石襯底進(jìn)行拋光11,通過出液管10向藍(lán)寶石襯底噴灑研磨液。
以上所述,僅為本實用新型較佳的具體實施方式,但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),根據(jù)本實用新型的技術(shù)方案及其實用新型構(gòu)思加以等同替換或改變,都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。