本實用新型涉及一種板式PECVD用石墨載板，屬于晶硅太陽能電池制造領(lǐng)域中的平板式鍍膜機中的石墨載板的技術(shù)改進。

背景技術(shù)：

太陽能電池生產(chǎn)過程中一個很重要的環(huán)節(jié)是鍍減反射膜，一般通過平板式PECVD或者管式PECVD(等離子增強化學(xué)氣相沉積)，其中平板式PECVD的載板目前使用的都是橫排5個，豎排9個，邊長為160mm的正方形載板石墨框如圖1所示，用來承載硅片，在做如圖3a所示的邊長為156mm的正方形硅片時，背后反鍍情況可控如圖2所示，載板邊緣與硅片邊緣的間隙D為2mm，但是在做一邊邊長在156mm以下規(guī)格的硅片時，如：做如圖3b所示的一邊邊長為156mm，另一邊邊長為150mm規(guī)格的硅片時，如圖4所示，由于硅片與載板框邊緣空隙太大，會造成邊緣沉積過重發(fā)黃影響外觀，背后的反鍍嚴重，反鍍部分背場鋁漿無法燒透，影響效率，空隙越大反鍍越嚴重。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種板式PECVD用石墨載板，用于生產(chǎn)156mm*156mm規(guī)格以下硅片，使其達到或接近和做156mm*156mm規(guī)格的硅片一樣的鍍膜效果，減少或不影響外觀質(zhì)量和效率損耗。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種板式PECVD用石墨載板，其特征在于，包括石墨載板本體，石墨載板本體上設(shè)有多個石墨框，石墨框中固定有至少一個石墨條。

優(yōu)選地，所述的石墨條通過卡針和墊片固定在石墨框中，石墨框、墊片和石墨條上皆設(shè)有孔，卡針依次穿過石墨框、墊片和石墨條上的孔。

優(yōu)選地，相鄰的石墨條通過卡針和墊片相互固定。

更優(yōu)選地，所述的卡針為U形，石墨條的上、下兩邊中部各設(shè)有至少兩個孔，卡針的兩端能夠同時穿過同一石墨條上、下兩邊中部的兩個孔，石墨條的左右兩端各設(shè)有一個孔，卡針的兩端能夠同時穿過相鄰石墨條的端部的孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型在不改變機器的情況下，在生產(chǎn)一邊邊長小于156mm規(guī)格的硅片時，可達到或接近和做156mm*156mm規(guī)格的硅片一樣的鍍膜效果，減少或不影響外觀質(zhì)量和效率損耗，如：做156mm*150mm規(guī)格的片子時裝上本實用新型后，可達到硅片與載板石墨框邊緣間隙與目前使用的160mm*160mm載板石墨框做156mm*156mm規(guī)格的片子一樣的效果。本實用新型是在原有載板石墨框上裝載，并可拆卸，拆卸后不影響原載板正常使用，裝載后可減少或不影響做一邊邊長小于156mm規(guī)格的硅片時外觀質(zhì)量和效率損耗。

附圖說明：

圖1為160mm*160mm載板石墨框；

圖2為用160mm*160mm載板石墨框做156mm*156mm的硅片；

圖3a為156mm*156mm的硅片示意圖；

圖3b為156mm*150mm的硅片示意圖；

圖4為用160mm*160mm載板框做156mm*150mm的硅片；

圖5a為石墨條示意圖；

圖5b為卡針示意圖；

圖5c為墊片示意圖；

圖6為本實用新型的板式PECVD用石墨載板做156mm*150mm的硅片示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本實用新型。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實用新型作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。

實施例

如圖6所示，一種板式PECVD用石墨載板，包括石墨載板本體1，石墨載板本體1上設(shè)有多個石墨框2，每個石墨框2中固定有6個石墨條3。

所述的石墨條3通過卡針5和墊片6固定在石墨框2中，相鄰的石墨條3通過卡針5和墊片6相互固定，如圖5a-5c所示，石墨框2、墊片6和石墨條3上皆設(shè)有孔4，卡針5依次穿過石墨框2、墊片6和石墨條3上的孔4。

所述的卡針5為U形，石墨條3的上、下兩邊中部各設(shè)有兩個孔4，卡針5的兩端能夠同時穿過同一石墨條3上、下兩邊中部的兩個孔4，石墨條3的左右兩端各設(shè)有一個孔4，卡針5的兩端能夠同時穿過相鄰石墨條3的端部的孔4。

所述的石墨條3的長度為160mm，寬度為10mm，厚度為10mm，石墨條3上的孔4的直徑為1mm，所述的石墨條3兩端的孔4的中心與石墨條3長邊之間的距離為2.5mm，卡針5的底面長度L1＝5mm，高度H＝15mm，頂面單側(cè)長度L2＝0.5mm，墊片6厚度為1mm，長度為10mm，寬度為3mm，墊片6上共有兩個孔4，兩個孔4的中心的間距為5mm。

安裝時，從廢舊的載板上拆下石墨框的石墨條3，把它分割成長160mm、寬10mm，分好后在石墨條3的兩端各打一個直徑1mm的孔4，兩邊各打兩個直徑1mm的孔4，裝載時用卡針5和墊片6把兩端和石墨載板固定，兩個石墨條3拼裝時也用卡針5和墊片6固定。視生產(chǎn)的硅片離載板邊緣有多少間距裝根據(jù)實際情況可調(diào)整安裝的石墨條3的條數(shù)。在不影響載板本身的情況下對載板加裝本實用新型，使其能適用于所有156mm*156mm規(guī)格以下的硅片生產(chǎn)。