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一種基于石墨烯電極的層狀二硫化鉬鐵電存儲(chǔ)器的制作方法

文檔序號(hào):12594004閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于石墨烯電極的層狀二硫化鉬鐵電存儲(chǔ)器,其特征在于,包括柵電極(1)、鐵電絕緣層(2)、二硫化鉬溝道層(3)、石墨烯源電極(4)和石墨烯漏電極(5),所述柵電極(1)上設(shè)置有鐵電絕緣層(2),所述鐵電絕緣層(2)上設(shè)置有二硫化鉬溝道層(3),所述二硫化鉬溝道層(3)上設(shè)置有石墨烯源電極(4)和石墨烯漏電極(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯電極的層狀二硫化鉬鐵電存儲(chǔ)器,其特征在于,所述柵電極(1)的材料為n型重?fù)诫s硅片。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于石墨烯電極的層狀二硫化鉬鐵電存儲(chǔ)器,其特征在于,所述鐵電絕緣層(2)的材料為鐵酸鉍。

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