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場(chǎng)效應(yīng)管的制作方法

文檔序號(hào):12196633閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,包括場(chǎng)效應(yīng)管本體和母排,所述場(chǎng)效應(yīng)管本體的上表面設(shè)有柵極、第一源極和漏極,所述柵極設(shè)有第一通孔,所述第一源極設(shè)有第二通孔,所述漏極設(shè)有第三通孔,所述母排包括第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體,所述第一導(dǎo)體設(shè)有與所述第一通孔相對(duì)應(yīng)的第五通孔,所述第二導(dǎo)體設(shè)有與所述第二通孔相對(duì)應(yīng)的第六通孔,所述第三導(dǎo)體設(shè)有與所述第三通孔相對(duì)應(yīng)的第七通孔;

所述柵極通過(guò)穿過(guò)所述第一通孔和第五通孔的連接件與所述母排電性連接,所述第一源極通過(guò)穿過(guò)所述第二通孔和第六通孔的連接件與所述母排電性連接,所述漏極通過(guò)穿過(guò)所述第三通孔和第七通孔的連接件與所述母排電性連接;

所述第三導(dǎo)體還設(shè)有與所述第七通孔電性連接的連接結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述母排還包括第一絕緣層以及與所述第一絕緣層蓋合的第二絕緣層;

所述第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體的下表面與所述第一絕緣層的上表面連接,所述第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體的上表面與所述第二絕緣層的下表面連接,所述第五通孔貫穿所述第一絕緣層、第一導(dǎo)體和第二絕緣層,所述第六通孔貫穿所述第一絕緣層、第二導(dǎo)體和第二絕緣層,所述第七通孔貫穿所述第一絕緣層、第三導(dǎo)體和第二絕緣層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述母排還包括隔離所述第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體的第三絕緣層,所述第三絕緣層設(shè)置有相互間存在間隔的三個(gè)鏤空部位,所述第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體分別設(shè)置在所述三個(gè)鏤空部位,所述第三絕緣層的下表面與所述第一絕緣層的上表面連接,所述第三絕緣層的上表面與所述第二絕緣層的下表面連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述場(chǎng)效應(yīng)管本體的上表面還設(shè)有第二源極,所述第二源極上設(shè)有第四通孔,所述第二導(dǎo)體設(shè)有與所述第四通孔相對(duì)應(yīng)的第八通孔,所述第八通孔貫穿所述第一絕緣層、第二導(dǎo)體和第二絕緣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述連接結(jié)構(gòu)包括第九通孔,所述第九通孔貫穿所述第一絕緣層、第三導(dǎo)體和第二絕緣層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述連接結(jié)構(gòu)還包括與所述第九通孔電性連接的第十通孔,所述第十通孔貫穿所述第一絕緣層、第三導(dǎo)體和第二絕緣層。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述第一導(dǎo)體、第二導(dǎo)體和第三導(dǎo)體具有倒角結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述場(chǎng)效應(yīng)管還包括散熱機(jī)構(gòu),所述散熱機(jī)構(gòu)與所述場(chǎng)效應(yīng)管本體的下表面相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述場(chǎng)效應(yīng)管還包括導(dǎo)熱絕緣涂層,所述導(dǎo)熱絕緣涂層設(shè)置在所述場(chǎng)效應(yīng)管本體的下表面和所述散熱機(jī)構(gòu)之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的場(chǎng)效應(yīng)管,其特征在于,所述場(chǎng)效應(yīng)管還包括支撐機(jī)構(gòu),所述支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述散熱機(jī)構(gòu)和母排的之間。

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