本實用新型涉及對硅板舟的改進(jìn)。

背景技術(shù)：

在硅片進(jìn)行預(yù)擴(kuò)散和再擴(kuò)散時，需要把硅片與硼磷紙疊于硅板舟上進(jìn)行擴(kuò)散。此時我們需要用氮化硅插棒插于硅板舟上以便固定硅片，使硅片均勻的進(jìn)行雜質(zhì)注入。

目前二極管擴(kuò)散工藝，預(yù)擴(kuò)和再擴(kuò)溫度都在1200多度，由于長時間的高溫和磷硼等化合物的腐蝕，硅板舟上的插孔會因腐蝕而變大，致使氮化硅插棒歪斜，從而固定不了硅片。 在磷、硼雜質(zhì)熔融的狀態(tài)下，疊在一起擴(kuò)散的硅片很容易變形，從而使擴(kuò)散不均勻，嚴(yán)重影響產(chǎn)品電性良率。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型針對以上問題，提供了一種結(jié)構(gòu)簡單，方便加工，提高產(chǎn)品質(zhì)量的新型硅板舟。

本實用新型的技術(shù)方案是：包括設(shè)有插孔的板狀舟體和插棒；所述插棒通過支架設(shè)在插孔內(nèi)，所述支架包括基座和支桿，所述支桿傾斜設(shè)在所述基座上，所述舟體的表面設(shè)有基槽，所述基座設(shè)在基槽內(nèi)，所述插棒上設(shè)有穿槽，所述支桿設(shè)在所述穿槽內(nèi)。

所述基座和支桿一體成型。

所述插棒的底部呈錐形，所述插孔為錐形孔。

本實用新型在工作中，插棒通過支架設(shè)置在插孔內(nèi)，支架起到支撐的作用，避免了插棒發(fā)生傾斜；先將基座、支桿和插棒連接固定，再將基座對應(yīng)放置在基槽內(nèi)，插棒對應(yīng)放置在插孔內(nèi)，使其可靠地用于硅片的定位。本實用新型提高了插棒的使用壽命，降低了成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，

圖2是圖1的俯視圖；

圖中1是舟體，10是基槽，2是插孔，3是插棒，30是穿槽，4是支架，41是基座，42是支桿。

具體實施方式

本實用新型如圖1-2所示，包括設(shè)有插孔2的板狀舟體1和插棒3；所述插棒3通過支架4設(shè)在插孔內(nèi)，所述支架4包括基座41和支桿42，所述支桿42傾斜設(shè)在所述基座41上，所述舟體1的表面設(shè)有基槽10，所述基座41設(shè)在基槽10內(nèi)，所述插棒3上設(shè)有穿槽30，所述支桿4設(shè)在所述穿槽30內(nèi)。支架在工作中，起到對插棒的支撐作用，避免傾斜。本實用新型在不影響插棒自身的機(jī)械強(qiáng)度，同時還可以避免損耗帶來的治具精度問題，進(jìn)一步延長治具的使用壽命，達(dá)到降低成本的目的。

所述基座41和支桿42一體成型，方便加工，便于安裝。

所述插棒3的底部呈錐形，所述插孔2為錐形孔，兩者適配，便于定位可靠；工作中，四個插棒為一組且呈方形布置，用于放置硅片。