本實用新型涉及一種石英舟,特別涉及一種生產(chǎn)太陽能電池用石英舟。
背景技術(shù):
在現(xiàn)有的太陽能光伏晶體硅電池生產(chǎn)過程中,擴散制備PN結(jié)為非常關(guān)鍵的一道工序。無論是采用鏈式擴散爐還是管式擴散爐進行擴散制備PN結(jié),都需要采用石英舟用來承載硅片,而在擴散爐的溫度通常在850℃以上,同時擴散工序?qū)崈舳鹊囊蠛芨?,由于石英舟兩端(舟頭和舟尾部分)的硅片所處氣流環(huán)境與石英舟中間部位硅片不一致,爐尾部分硅片接觸氣流較多,擴散后方阻較低,爐口部分硅片接觸氣流較為稀薄,再加上尾氣管抽氣口位于爐口附近,使得擴散后該處的方阻較高。通常情況下,正常擴散后爐尾的方阻要比中間區(qū)域的低3-5ohm,而爐口區(qū)域的方阻要比中間區(qū)域的高5-20ohm。這樣在石英舟兩端就會產(chǎn)生許多方阻超標的硅片,不利于工藝的穩(wěn)定。且現(xiàn)有的石英舟舟腳一直使用的是透明石英來進行磨砂處理,但是在實際使用時剛開始還可以在紅外線的照射下準確找出基準點,但是經(jīng)過一段時間后,磨砂表面脫落,就很難找出基準點。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的就在于提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計新穎,便于清洗和維護,且使用壽命長的生產(chǎn)太陽能電池用石英舟。
為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是這樣的:本實用新型的生產(chǎn)太陽能電池用石英舟,包括兩邊架,所述兩邊架頂部分別設(shè)置有兩帶舟叉孔的固定片,兩邊架上部之間設(shè)置有兩上橫梁,兩上橫梁上相對兩側(cè)設(shè)置有上擋片卡槽和上硅片卡槽,上擋片卡槽和上硅片卡槽交錯分布,兩邊架下部之間設(shè)置有兩下橫梁,兩下橫梁之間的距離小于兩上橫梁之間的距離,兩下橫梁上相對兩側(cè)設(shè)置有與上擋片卡槽和上硅片卡槽相對應(yīng)的下?lián)跗ú酆拖鹿杵ú?,兩邊架底部外?cè)設(shè)置有帶固定孔的連接片,兩邊架底部設(shè)置有不透明石英舟腳。
作為優(yōu)選,所述舟叉孔為錐形孔。
作為優(yōu)選,所述上擋片卡槽的寬度大于上硅片卡槽的寬度。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的優(yōu)點在于:本實用新型在邊架上設(shè)置帶舟叉孔的固定片,便于使用,在上橫梁和下橫梁上設(shè)置了專門的擋片卡槽,而且擋片卡槽的寬度大于硅片卡槽的寬度,這樣就可選用厚度較大的材料,如石英玻璃片,來作為擋片使用,避免了選用硅片作為擋片,從而降低了成本,更增大了擋片的強度,同時,方便了擋片的安裝和拆卸,進而方便了擋片的清洗和維護,降低了清洗成本,同時也減少了清洗時對擋片造成的破損;設(shè)置不透明石英材料的舟腳,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測環(huán)節(jié),舟腳能一直保持對紅外線較高的反射率,使得自動檢測設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會出現(xiàn)定位不準撞壞舟腳的問題,顯著提高了石英舟的使用命。
附圖說明
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
參見圖1,本實用新型的生產(chǎn)太陽能電池用石英舟,包括兩邊架1,所述兩邊架1頂部分別設(shè)置有兩帶舟叉孔的固定片8,兩邊架1上部之間設(shè)置有兩上橫梁2,兩上橫梁2上相對兩側(cè)設(shè)置有上擋片卡槽3和上硅片卡槽4,上擋片卡槽3和上硅片卡槽4交錯分布,兩邊架1下部之間設(shè)置有兩下橫梁5,兩下橫梁5之間的距離小于兩上橫梁2之間的距離,兩下橫梁5上相對兩側(cè)設(shè)置有與上擋片卡槽3和上硅片卡槽4相對應(yīng)的下?lián)跗ú?和下硅片卡槽7,兩邊架1底部外側(cè)設(shè)置有帶固定孔的連接片10,兩邊架1底部設(shè)置有不透明石英舟腳9,所述舟叉孔為錐形孔,所述上擋片卡槽3的寬度大于上硅片卡槽4的寬度。
在邊架1上設(shè)置帶舟叉孔的固定片8,便于使用,在上橫梁2和下橫梁5上設(shè)置了專門的擋片卡槽,而且擋片卡槽的寬度大于硅片卡槽的寬度,這樣就可選用厚度較大的材料,如石英玻璃片,來作為擋片使用,避免了選用硅片作為擋片,從而降低了成本,更增大了擋片的強度,同時,方便了擋片的安裝和拆卸,進而方便了擋片的清洗和維護,降低了清洗成本,同時也減少了清洗時對擋片造成的破損;設(shè)置不透明石英材料的舟腳9,材質(zhì)上保證了統(tǒng)一性,在高溫加工中,不會向外釋放雜質(zhì)微粒,確保石英舟所承載的被加工物體的純度和良品率,且在檢測環(huán)節(jié),舟腳9能一直保持對紅外線較高的反射率,使得自動檢測設(shè)備的定位能保持穩(wěn)定,不會出現(xiàn)定位不準撞壞舟腳9的問題,顯著提高了石英舟的使用命。