技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基于二次外延技術(shù)的非選擇氧化垂直腔面發(fā)射激光器，屬于激光器制備技術(shù)領(lǐng)域。該激光器為一種利用具有DBR結(jié)構(gòu)的垂直腔面發(fā)射激光器的外延結(jié)構(gòu)從下向上的順序依次包括襯底、N型摻雜層、N型DBR層、多量子阱層、P型DBR層、光刻膠、Al2O3薄膜層、P型DBR層、P型摻雜GaAs層。本發(fā)明中利用側(cè)向外延技術(shù)將氧化后應(yīng)力變得很脆弱的高Al組分AlGaAs外延層換成Al2O3薄膜層，使得此Al2O3層及其上的外延層中變得堅固，不會隨著很小的震動或者外力就破裂，從而導(dǎo)致器件失效，另外不會產(chǎn)生As及As2O3等劇毒物質(zhì)，有利于環(huán)境保護(hù)。

技術(shù)研發(fā)人員：王智勇;宋院鑫;王青
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201611253764
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.05.31