技術(shù)總結(jié)
一種三維結(jié)構(gòu)金剛石紫外探測器及其制備方法，涉及金剛石探測科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種三維結(jié)構(gòu)金剛石紫外探測器及其制備方法。本發(fā)明為解決現(xiàn)有金剛石紫外探測器，采用平面電極結(jié)構(gòu)，會有紫外穿透深度范圍以內(nèi)金剛石縱向電場太弱不足以將光生載流子導(dǎo)出的問題，而采用石墨柱電極結(jié)構(gòu)，會有晶界阻礙載流子的輸運問題。一種三維結(jié)構(gòu)金剛石紫外探測器，包含光感區(qū)和電極結(jié)構(gòu)，光感區(qū)為蛇形折疊形狀金剛石，電極結(jié)構(gòu)為兩組相互交叉的叉指結(jié)構(gòu)凹槽組成，每組叉指結(jié)構(gòu)含有n個電極。一種三維結(jié)構(gòu)金剛石紫外探測器的制備方法：基底的選擇；預(yù)處理；制備刻蝕掩膜；制備三維電極結(jié)構(gòu)；沉積金屬薄膜和后處理。本發(fā)明應(yīng)用于紫外探測領(lǐng)域。

技術(shù)研發(fā)人員：代兵;朱嘉琦;劉康;楊磊;韓杰才;舒國陽;趙繼文;高鴿;孫明琪;姚凱麗
受保護的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
文檔號碼：201611223173
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.26
技術(shù)公布日：2017.05.31