本發(fā)明涉及一種選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
目前太陽能電池中使用的硅材料主要有兩類,分別為N型硅材料和P型硅材料。其中,N型硅材料與P型硅材料相比,具有以下的優(yōu)點(diǎn):N型材料中的雜質(zhì)對少子空穴的捕獲能力低于P型材料中的雜質(zhì)對少子電子的捕獲能力。相同電阻率的N型硅片的少子壽命比P型硅片的高,達(dá)到毫秒級。N型硅片對金屬污雜的容忍度要高于P型硅片,F(xiàn)e、Cr、Co、W、Cu、Ni等金屬對P型硅片的影響均比N型硅片大。N型硅電池組件在弱光下表現(xiàn)出比常規(guī)P型硅組件更優(yōu)異的發(fā)電特性。人們越來越關(guān)注少子壽命更高、發(fā)展?jié)摿Ω蟮腘型電池。
但是,在N型雙面電池中制約效率的主要因素是金屬化帶來的復(fù)合,特別是背表面金屬區(qū)域的復(fù)合。
上述問題是在太陽能電池的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)過程中應(yīng)當(dāng)予以考慮并解決的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的是提供一種選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu),在金屬區(qū)域采用通過PSG的激光摻雜工藝來形成高摻雜濃度區(qū)域以降低金屬區(qū)域的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合,解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的背表面金屬區(qū)域復(fù)合嚴(yán)重,制約N型雙面電池效率的問題。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:
選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu),包括基體,基體為N型,基體正面為摻硼的發(fā)射極,發(fā)射極上沉積有第一鈍化減反膜層,第一鈍化減反膜層上設(shè)有正面電極,正面電極穿過第一鈍化減反膜與發(fā)射極形成歐姆接觸;基體背面設(shè)有磷摻雜的背場區(qū)域,磷摻雜的背場區(qū)域包括磷輕摻雜的背場區(qū)域和磷重?fù)诫s的背場區(qū)域,磷重?fù)诫s的背場區(qū)域和磷輕摻雜的背場區(qū)域相鄰并均勻排布于背表面,磷摻雜的背場區(qū)域上沉積第二鈍化減反膜層,第二鈍化減反膜層上設(shè)有局部背面電極,局部背面電極在磷重?fù)诫s背場區(qū)域內(nèi)并穿過第二減反鈍化膜與磷重?fù)诫s的背場區(qū)域形成歐姆接觸。
進(jìn)一步地,基體正面的發(fā)射極采用三溴化硼B(yǎng)Br3高溫?cái)U(kuò)散、絲網(wǎng)印刷含硼漿料高溫退火、常壓化學(xué)氣相沉積APCVD法沉積硼硅玻璃BSG退火或離子注入硼源退火工藝形成。
進(jìn)一步地,第一鈍化減反膜采用SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm;基體背面的第二鈍化減反膜是SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm。
進(jìn)一步地,基體背面的磷輕摻雜的背場區(qū)域采用高溫?cái)U(kuò)散或常壓化學(xué)氣相沉積APCVD法沉積硼硅玻璃BSG退火形成,基體背面的磷輕摻雜區(qū)域背場方阻為90-250ohm/sq。
進(jìn)一步地,基體背面的磷重?fù)诫s背場區(qū)域采用激光摻雜工藝形成,方阻為10-50ohm/sq。
進(jìn)一步地,基體背面的磷重?fù)诫s背場區(qū)域?yàn)橹本€或者線段,寬度為80微米-600微米,磷重?fù)诫s背場區(qū)域占基體背面面積的比例為8%-30%。
進(jìn)一步地,正面電極與局部背面電極分別采用絲網(wǎng)印刷、電鍍、化學(xué)鍍、噴墨打印、物理氣相沉積金屬層形成,其中,金屬采用Ni、Cu、Ag、Ti、Pd、Cr中一種或多種的組合。
進(jìn)一步地,磷重?fù)诫s背場區(qū)域?yàn)橹本€時(shí),形成局部背面電極后,連接主柵將各個(gè)局部背面電極相互連接,連接主柵不與局部背場區(qū)域形成歐姆接觸。
進(jìn)一步地,局部背面電極為直線時(shí)寬度為10-100μm,連接主柵寬度為0.5mm-1.5mm;連接主柵采用絲網(wǎng)印刷燒結(jié)、導(dǎo)電膠粘接或者金屬線焊接而成,連接主柵為Ag或表面包覆有鍍In、Sn、Pb的Cu帶或者含有金屬顆粒的有機(jī)物。
進(jìn)一步地,磷重?fù)诫s背場區(qū)域?yàn)榫€段時(shí),形成局部背面電極后,連接細(xì)柵將各個(gè)局部背面電極相互連接,再匯流到連接主柵線上,連接細(xì)柵與連接主柵線均不與局部背場區(qū)域形成歐姆接觸。
進(jìn)一步地,局部背面電極為線段時(shí)寬度為10-100μm,連接細(xì)柵寬度為20μm-100μm,連接主柵寬度為0.5mm-1.5mm;連接細(xì)柵和連接主柵分別采用絲網(wǎng)印刷燒結(jié)、導(dǎo)電膠粘接或者金屬線焊接而成,連接細(xì)柵和主柵為Ag或表面包覆有鍍In、Sn、Pb的Cu帶或者含有金屬顆粒的有機(jī)物。
本發(fā)明的有益效果是:該種選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu),在金屬區(qū)域采用通過PSG的激光摻雜工藝來形成高摻雜濃度區(qū)域降低金屬區(qū)域的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合。本發(fā)明能夠降低背表面的復(fù)合速率,從而提高電池效率。
附圖說明
圖1是本發(fā)明實(shí)施例選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是實(shí)施例二中基體背面的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖3是實(shí)施例三中基體背面的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4是實(shí)施例二中基體背面的局部背面電極的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5是實(shí)施例三中基體背面的局部背面電極的結(jié)構(gòu)示意圖;
其中:1-基體,2-發(fā)射極,3-第一鈍化減反膜層,4-正面電極,5-磷輕摻雜的背場區(qū)域,6-磷重?fù)诫s的背場區(qū)域,7-第二鈍化減反膜層,8-局部背面電極,9-連接細(xì)柵,10-連接主柵。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
實(shí)施例一
一種選擇性背表面場的N型雙面電池結(jié)構(gòu),如圖1,包括基體1,基體1為N型,基體1正面為摻硼的發(fā)射極2,發(fā)射極2上沉積有第一鈍化減反膜層3,第一鈍化減反膜層3上設(shè)有正面電極4,正面電極4穿過第一鈍化減反膜與發(fā)射極2形成歐姆接觸;基體1背面設(shè)有磷摻雜的背場區(qū)域,磷摻雜的背場區(qū)域包括磷輕摻雜的背場區(qū)域5和磷重?fù)诫s的背場區(qū)域6,磷重?fù)诫s的背場區(qū)域6與磷輕摻雜的背場區(qū)域5相鄰并均勻分布于背場區(qū)域,磷摻雜的背場區(qū)域上沉積第二鈍化減反膜層7,第二鈍化減反膜層7上設(shè)有局部背面電極8,局部背面電極8在磷重?fù)诫s背場區(qū)域內(nèi)并穿過第二減反鈍化膜與磷重?fù)诫s的背場區(qū)域6形成歐姆接觸。
該種背面局部重?fù)诫s的N型雙面電池結(jié)構(gòu),在金屬區(qū)域采用通過PSG的激光摻雜工藝來形成高摻雜濃度區(qū)域降低金屬區(qū)域的復(fù)合,從而降低背表面整體的復(fù)合。本發(fā)明能夠降低背表面的復(fù)合,從而提高電池效率。
第一鈍化減反膜采用SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm;基體1背面的第二鈍化減反膜是SiNx、SiO2、TiO2、Al2O3、SiOxNy薄膜中的一種或者多種,厚度為50-90nm。
基體1背面的磷輕摻雜背場采用高溫?cái)U(kuò)散或APCVD沉積PSG高溫退火形成,基體1背面的磷輕摻雜背場方阻為90-250ohm/sq。
基體1背面的磷重?fù)诫s背場區(qū)域采用激光摻雜工藝形成,方阻為10-50ohm/sq?;w1背面的磷重?fù)诫s背場區(qū)域?yàn)橹本€或者線段,寬度為80微米-600微米,磷重?fù)诫s背場區(qū)域占基體1背面面積的比例為8%-30%。
正面電極4與局部背面電極8分別采用絲網(wǎng)印刷、電鍍、化學(xué)鍍、噴墨打印、物理氣相沉積金屬層形成,其中,金屬采用Ni、Cu、 Ag、Ti、Pd、Cr中一種或多種的組合。
實(shí)施例二
實(shí)施例二與實(shí)施例一基本相同,實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處在于:如圖1、圖2和圖4所示,N型基體1,基體1正面BBr3高溫?cái)U(kuò)散,方阻65ohm/sq,其上高溫氧化生成10nm SiO2薄膜,其上沉積65nmSiNx薄膜,采用絲網(wǎng)印刷印刷AgAl電極。基體1背面采用高溫?cái)U(kuò)散形成磷輕摻雜的背場區(qū)域5,方阻為150ohm/sq,通過PSG的激光摻雜形成局部磷重?fù)诫s背場區(qū)域,方阻為30ohm,為直線,寬度為200μm,占基體1背面面積10%,基體1背面高溫生長10nmSiO2薄膜,并沉積65nmSiNx薄膜,采用燒穿漿料絲網(wǎng)印刷印刷Ag電極,燒結(jié)后形成局部背面電極8,局部背面電極8與磷重?fù)诫s的背場區(qū)域6形成歐姆接觸,使用非燒穿Ag漿料印刷連接主柵10將局部背面電極8連接起來。
實(shí)施例三
實(shí)施例三與實(shí)施例一基本相同,實(shí)施例三與實(shí)施例一的不同之處在于:如圖1、圖3和圖5所示,N型基體1,基體1的正面APCVD沉積BSG高溫退火,方阻75ohm/sq,其上原子層沉積法沉積10nm Al2O3薄膜,其上沉積60nmSiNx薄膜,采用PVD法沉積Ti、Pd、Ag金屬電極,寬度為40μm?;w1的背面采用APCVD沉積BSG退火擴(kuò)散形成磷輕摻雜的背場區(qū)域5,方阻為200ohm/sq,通過激光摻雜形成局部磷重?fù)诫s背場區(qū)域,方阻為40ohm,為線段,寬度為300微米,占背表面面積15%,背面沉積75nmSiNx薄膜,采用PVD法沉積Ti、Pd、Ag金屬電極,寬度為50μm,采用Sn包覆的Cu線,直徑200μm,作為連接細(xì)柵9,包覆In的Cu線,寬度1mm作為連接主柵10將局部背面電極連接起來。