技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種頻率可重構(gòu)偶極子天線的Ge基等離子pin二極管的制備工藝，所述Ge基等離子pin二極管用于制造所述頻率可重構(gòu)天線，該Ge基等離子pin二極管的制備方法包括步驟：選取GeOI襯底，在GeOI襯底內(nèi)形成隔離區(qū)；刻蝕GeOI襯底形成P型溝槽和N型溝槽；在P型溝槽和N型溝槽內(nèi)采用離子注入形成P型有源區(qū)和N型有源區(qū)；在GeOI襯底上形成引線，完成Ge基等離子pin二極管的制備。本發(fā)明提供的可重構(gòu)天線具有重量輕、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、頻率可快速跳變的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：尹曉雪;張亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安科銳盛創(chuàng)新科技有限公司
文檔號(hào)碼：201611184783
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.20
技術(shù)公布日：2017.05.31