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一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置與流程

文檔序號:12724906閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法,其特征在于,包括以下步驟:

S1:將半導(dǎo)體器件(2)置于化學(xué)溶液中浸泡使得散熱板(22)表面的溢膠(23)軟化;

S2:使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板(22)表面的軟化后溢膠(23)刷除。

2.如權(quán)利要求1所述的除膠方法,其特征在于,所述步驟S2之后還包括:

S3:使用高壓水刀將所述散熱板(22)的表面的殘膠清除。

3.如權(quán)利要求2所述的除膠方法,其特征在于,在所述步驟S3之后還包括:

步驟S4:將所述半導(dǎo)體器件(2)進行電鍍。

4.一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置,其特征在于,包括:浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)以及將半導(dǎo)體器件(2)從浸泡池運輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)的運輸機構(gòu),所述浸泡池中容置有用于軟化溢膠(23)的化學(xué)溶液,所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)包括用于清除軟化后的溢膠(23)的毛刷(11)。

5.如權(quán)利要求4所示的除膠裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)還包括用于驅(qū)動所述毛刷(11)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)和固定所述半導(dǎo)體器件(2)的固定件,所述固定件可移動,以使得所述散熱板(22)的表面的不同位置接觸所述毛刷(11)。

6.如權(quán)利要求5所示的除膠裝置,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)還包括碎屑收集板(3),所述碎屑收集板(3)的端部位于所述毛刷(11)的刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)。

7.如權(quán)利要求6所示的除膠裝置,其特征在于,所述碎屑收集板(3)包括底板(31)和凸設(shè)于所述底板(31)一端的刮板(32),所述刮板(32)靠近所述毛刷(11)且位于刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi),所述刮板(32)的凸設(shè)方向與刷毛在刮板(32)處的運動方向相反。

8.如權(quán)利要求5所示的除膠裝置,其特征在于,所述運輸機構(gòu)包括傳輸鏈,所述固定件位于所述傳輸鏈上,所述毛刷(11)位于所述固定件用于固定半導(dǎo)體器件(2)的一側(cè)。

9.如權(quán)利要求5所示的除膠裝置,其特征在于,所述驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機,所述驅(qū)動電機和所述毛刷(11)的轉(zhuǎn)軸之間連接有減速機構(gòu)。

10.如權(quán)利要求4所示的除膠裝置,其特征在于,除膠裝置還包括位于所述旋轉(zhuǎn)毛刷機構(gòu)(1)后方的水刀清洗機構(gòu)。

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