本發(fā)明涉及半導(dǎo)體的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體引線框架在使用環(huán)氧樹脂封裝后，有些產(chǎn)品由于設(shè)計問題，會有溢膠殘留在引線腳和散熱片上，需要在后續(xù)的鍍錫之前去除干凈。去除溢膠方法目前主要是化學(xué)溶液浸泡法(Chemical Deflush)、電解法(Electrolisis Deflush)和機(jī)械法(Michenical Deflush)。機(jī)械法因采用的噴射介質(zhì)會損傷基材現(xiàn)在已很少采用。電解法主要是通過在散熱板表面電解產(chǎn)生氣體將溢膠和散熱板的表面分離，當(dāng)電解電壓或電流過高會損傷芯片造成分層，并且對某些嚴(yán)重的溢膠也無法去除。化學(xué)溶液浸泡法通過化學(xué)溶液和溢膠之間的化學(xué)作用使溢膠溶解或軟化松動，再結(jié)合后續(xù)的高壓水刀噴淋，可以干凈徹底的除去溢膠，是目前行業(yè)除溢膠的主流方法。

但是當(dāng)溢膠比較嚴(yán)重時，化學(xué)溶液浸泡軟膠后，水刀也無法將比較嚴(yán)重的溢膠清除掉，仍然會有殘留，影響產(chǎn)品的性能，此時往往只能通過人工使用刮板等繼續(xù)刮除，勞動強(qiáng)度大且效率低下。

申請?zhí)枮椤?00610022335.9”的對比文件公開了一種清除半導(dǎo)體元器件上殘膠的方法及設(shè)備，其利用刀具將半導(dǎo)體器件的殘膠進(jìn)行切除，再利用含金剛沙耐磨拋光專用毛刷清除剩余的殘膠。從對比文件的描述可以看出，其主要是上下沖裁切除半導(dǎo)體側(cè)面的毛邊的殘膠，無法針對散熱板的殘膠進(jìn)行清除，且利用刀具強(qiáng)行清除有可能會損壞到半導(dǎo)體元器件本身，且含金剛沙耐磨拋光專用毛刷清除剩余的殘膠時是相當(dāng)于一個打磨的過程，將表面的殘膠磨掉，直接對固態(tài)的殘膠打磨不僅效率低下，且可能對半導(dǎo)體器件產(chǎn)生傷害。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的第一目的在于提出一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，可以方便的清除散熱板表面的溢膠，省時省力。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，包括以下步驟：

S1：將半導(dǎo)體器件置于化學(xué)溶液中浸泡使得散熱板表面的溢膠軟化；

S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板表面的軟化后溢膠刷除。

進(jìn)一步的，所述步驟S2之后還包括：

S3：使用高壓水刀將所述散熱板的表面的殘膠清除。

進(jìn)一步的，在所述步驟S3之后還包括：

步驟S4：將所述半導(dǎo)體器件進(jìn)行電鍍。

本發(fā)明的第二目的在于提出一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，可以方便的清除散熱板表面的溢膠，省時省力。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，包括：浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)以及將半導(dǎo)體器件從浸泡池運(yùn)輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，所述浸泡池中容置有用于軟化溢膠的化學(xué)溶液，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)包括用于清除軟化后的溢膠的毛刷。

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)還包括用于驅(qū)動所述毛刷旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)和固定所述半導(dǎo)體器件的固定件，所述固定件可移動，以使得所述散熱板的表面的不同位置接觸所述毛刷。

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)還包括碎屑收集板，所述碎屑收集板的端部位于所述毛刷的刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述碎屑收集板包括底板和凸設(shè)于所述底板一端的刮板，所述刮板靠近所述毛刷且位于刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)，所述刮板的凸設(shè)方向與刷毛在刮板處的運(yùn)動方向相反。

進(jìn)一步的，所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)包括傳輸鏈，所述固定件位于所述傳輸鏈上，所述毛刷位于所述固定件用于固定半導(dǎo)體器件的一側(cè)。

進(jìn)一步的，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)和所述毛刷的轉(zhuǎn)軸之間連接有減速機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，除膠裝置還包括位于所述旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)后方的水刀清洗機(jī)構(gòu)。

有益效果：本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法及除膠裝置。除膠方法包括以下步驟：S1：將半導(dǎo)體器件置于化學(xué)溶液中浸泡使得散熱板表面的溢膠軟化；S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將所述散熱板表面的軟化后溢膠刷除。由于溢膠已經(jīng)被軟化，即使溢膠非常嚴(yán)重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠，且由于溢膠已經(jīng)軟化，因此，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明提供的除膠方法的流程圖。

圖2是本發(fā)明提供的除膠裝置的旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)的示意圖。

其中：

1-旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)，11-毛刷，2-半導(dǎo)體器件，21-注膠封裝層，22-散熱板，23-溢膠，3-碎屑收集板，31-底板，32-刮板，4-碎屑。

具體實施方式

為使本發(fā)明解決的技術(shù)問題、采用的技術(shù)方案和達(dá)到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合附圖并通過具體實施方式來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。

如圖2所示，半導(dǎo)體器件2在注塑封裝時，散熱板22下面形成注塑封裝層21，散熱板22上面可能會產(chǎn)生溢膠23，且有時溢膠23非常嚴(yán)重，直接使用化學(xué)溶液浸泡軟化后使用高壓水刀也不能清除干凈，因此，如圖1所示，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠方法，包括以下步驟：

S1：將半導(dǎo)體器件2置于化學(xué)溶液中浸泡使得散熱板22表面的溢膠23軟化，通過化學(xué)溶液浸泡軟化溢膠23是成熟的工藝，此處不再具體贅述，主要通過控制化學(xué)溶液的濃度、溫度和浸泡時間等來控制溢膠23的軟化程度；

S2：使用旋轉(zhuǎn)毛刷將散熱板22表面的軟化后溢膠23刷除，如圖2所示。

由于溢膠23已經(jīng)被軟化，即使溢膠22非常嚴(yán)重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠23，且由于溢膠23已經(jīng)軟化，因此，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板22的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。

旋轉(zhuǎn)毛刷可以將絕大部分的軟化后的溢膠23清除，但是可能會遺漏一些細(xì)小的溢膠23，為了進(jìn)一步清除剩余的細(xì)小的溢膠23，步驟S2之后還包括：S3：使用高壓水刀將散熱板22的表面的殘膠清除，高壓水刀不僅可以將細(xì)小的溢膠23清除，且對半導(dǎo)體器件2上的化學(xué)溶液進(jìn)行清洗干凈，方便后續(xù)操作。由于散熱板22上的大部分殘膠均被旋轉(zhuǎn)毛刷取出，因此，高壓水刀的清除工作量不大，可以使用小功率的高壓水刀作業(yè)，節(jié)約設(shè)備成本。一般而言，在步驟S3之后還會包括：步驟S4：將半導(dǎo)體器件進(jìn)行電鍍，和其他元件等結(jié)合。

本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體器件的散熱板的除膠裝置，如圖2所示，包括：浸泡池、旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1以及將半導(dǎo)體器件2從浸泡池運(yùn)輸?shù)叫D(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)，浸泡池中容置有用于軟化溢膠23的化學(xué)溶液，旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1包括用于清除軟化后的溢膠23的毛刷11。半導(dǎo)體器件2上的溢膠23在浸泡池中被化學(xué)溶液軟化后，隨著半導(dǎo)體器件2被運(yùn)輸機(jī)構(gòu)帶到旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1處，被毛刷11清除。由于溢膠23已經(jīng)被軟化，即使溢膠22非常嚴(yán)重，旋轉(zhuǎn)毛刷也可以快速地清除溢膠23，且由于溢膠23已經(jīng)軟化，旋轉(zhuǎn)毛刷采用普通毛刷即可，不需要使用耐磨的專用毛刷，節(jié)約成本，也不會對散熱板22的表面產(chǎn)生磨損，省時省力，提高工作效率。旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1后方還可以設(shè)置水刀清洗機(jī)構(gòu)，以通過高壓水刀對散熱板23上的剩余殘膠進(jìn)行清除，也將半導(dǎo)體器件2上的化學(xué)溶液清洗干凈。

本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1包括用于驅(qū)動毛刷11旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)和固定半導(dǎo)體器件2的固定件，固定件可移動，以使得散熱板22的表面的不同位置接觸毛刷11，將散熱板22的表面的不同部位的溢膠23均能被毛刷11清除。運(yùn)輸機(jī)構(gòu)包括傳輸鏈，固定件位于傳輸鏈上，毛刷11位于固定件用于固定半導(dǎo)體器件2的一側(cè)，傳輸鏈在運(yùn)動時，可以帶動固定件和半導(dǎo)體器件2運(yùn)動，并經(jīng)過毛刷11的下部。

本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)毛刷機(jī)構(gòu)1還包括碎屑收集板3，碎屑收集板3的端部位于毛刷11的刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)，刷毛在旋轉(zhuǎn)時不斷擊打在碎屑收集板3上，使得刷毛上的殘膠脫落到碎屑收集板3上形成碎屑4，保持刷毛的干凈，避免刷毛由于殘留的殘膠過多，對散熱板22表面的溢膠23的清除效果產(chǎn)生影響。碎屑收集板3包括底板31和凸設(shè)于底板31一端的刮板32，刮板32靠近毛刷11且位于刷毛的旋轉(zhuǎn)區(qū)域內(nèi)，刮板32的凸設(shè)方向與刷毛在刮板32處的運(yùn)動方向相反，刷毛在擊打到刮板32上時，殘膠脫落到底板31上，刮板32可以阻止碎屑32繼續(xù)被刷毛帶向下方，將碎屑4阻擋在底板31上。

為了便于控制毛刷11的轉(zhuǎn)速，驅(qū)動機(jī)構(gòu)可以包括驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)和毛刷11的轉(zhuǎn)軸之間連接有減速機(jī)構(gòu)，便于根據(jù)實際情況控制毛刷11的轉(zhuǎn)速，獲得更好的清除效果。

以上內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處，本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本發(fā)明的限制。