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含Bi化合物光電探測器及其制作方法與流程

文檔序號:12478974閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種含Bi化合物光電探測器,其特征在于包括襯底、外延層和電極,所述電極與所述外延層連接,所述外延層包括依次形成于所述襯底上的緩沖層、N型接觸層、吸收層和P型接觸層,所述吸收層采用ANxBi1-x,其中,0≤x<1,A=Ga、In或Al,N型接觸層為AlN摻Si,P型接觸層為AlN摻Mg。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述N型接觸層的摻雜濃度大于5×1018cm-3,其厚度在200nm至1000nm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述P型接觸層的摻雜濃度大于5×1018cm-3,其厚度在200nm至500nm之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述吸收層未摻雜,其厚度在200nm至1500nm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述襯底為半絕緣Si或MgO襯底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述緩沖層未摻雜的AlN緩沖層,所述緩沖層的厚度在300nm至1000nm之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含Bi化合物光電探測器,其特征在于:所述電極包括分別與所述P型接觸層和N型接觸層連接的P電極和N電極,所述P電極為Ti/Al/Ni/Au,所述N電極為Ti/Au。

8.權(quán)利要求1至9中任一項所述含Bi化合物光電探測器的制作方法,其特征在于包括:在襯底上直接依次生長緩沖層、N型接觸層、吸收層和P型接觸層,從而形成外延層;以及,對所述外延層進(jìn)行臺面刻蝕,并制備N電極、P電極,形成所述光電探測器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的含Bi化合物光電探測器的制作方法,其特征在于:所述P電極通過磁控濺射或電子束蒸發(fā)而形成。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的含Bi化合物光電探測器的制作方法,其特征在于:所述N電極通過磁控濺射或電子束蒸發(fā)而形成。

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