技術(shù)編號：12478974
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種含Bi化合物光電探測器及其制作方法，可覆蓋紫外到紅外波段的探測，并實(shí)現(xiàn)與Si材料的集成，可以更有效的應(yīng)用在各種光探測領(lǐng)域。背景技術(shù)光電探測器用途廣泛，從紫外的消毒、火災(zāi)探測到可見光或近紅外的射線測量、光度計(jì)量等，再到紅外波段的制導(dǎo)、熱成像及遙感等。是軍民應(yīng)用上的重要器件。尤其是近年來突飛猛進(jìn)的光纖通信產(chǎn)業(yè)，更需要高性能探測器的支持。(Ga、In、Al)NxBi1-x化合物材料的獨(dú)特性質(zhì)可以應(yīng)用到很多領(lǐng)域，尤其是光電器件。AlNBi在理論上帶寬可從6.2eV...
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