技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種半導(dǎo)體器件包括至少一個(gè)半導(dǎo)體鰭、柵電極、至少一個(gè)柵極間隔件和柵極電介質(zhì)。該半導(dǎo)體鰭包括至少一個(gè)凹進(jìn)部分和至少一個(gè)溝道部分。柵電極存在于半導(dǎo)體鰭的至少溝道部分上。柵極間隔件存在于柵電極的至少一個(gè)側(cè)壁上。柵極電介質(zhì)至少存在于半導(dǎo)體鰭的溝道部分和柵電極之間。柵極電介質(zhì)比半導(dǎo)體鰭的溝道部分的至少一個(gè)端面延伸更遠(yuǎn)。本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體器件及其制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員：張哲誠;林志翰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.29
技術(shù)公布日：2017.07.21