亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種柔性顯示面板的制作方法

文檔序號(hào):12478492閱讀:193來(lái)源:國(guó)知局
一種柔性顯示面板的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種柔性顯示面板,尤其涉及一種彎折良好、防水較佳的柔性顯示面板。



背景技術(shù):

隨著人們要求的提高,窄邊框的顯示裝置的設(shè)計(jì)成為趨勢(shì)。為達(dá)到窄邊框的效果,需要將顯示面板的扇出線(xiàn)路彎折到顯示面板的背面,但這樣要求線(xiàn)路具有較強(qiáng)的抗彎折能力,所以通常將彎折區(qū)的緩沖層減薄,保證彎折區(qū)的厚度小于非彎折區(qū)的厚度,以利用線(xiàn)路的彎折。

如圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)的柔性顯示面板,柔性顯示面板100在柔性基板110上依次沉積軟膜層120、第一緩沖層130、第二緩沖層140、金屬接點(diǎn)150、薄膜晶體管160以及線(xiàn)路170,為利于線(xiàn)路170的彎折,柔性顯示面板100將第二緩沖層140位于彎折區(qū)的部分進(jìn)行蝕刻減薄。但是,由于蝕刻制程的不穩(wěn)定,第二緩沖層140位于彎折區(qū)的部分可能并不是很平整,再者,沉積第二緩沖層140時(shí),也不能完全保證其彎折區(qū)的部分十分平整,這兩個(gè)原因結(jié)合導(dǎo)致第二緩沖層140位于彎折區(qū)的部分不能保證完全平整,進(jìn)而導(dǎo)致線(xiàn)路170的彎折能力不佳,并且隨著柔性顯示面板100尺寸的增加,這種情況愈發(fā)明顯。

如圖1所示,柔性顯示面板100的彎折區(qū)在彎折時(shí),中性軸A位于軟膜層120,導(dǎo)致線(xiàn)路170需承受較大的應(yīng)力,容易損傷線(xiàn)路170。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為改善上述線(xiàn)路彎折能力不佳及易損傷的問(wèn)題,本發(fā)明提供一種柔性顯示面板。

上述的柔性顯示面板包括依次相連的第一非彎折區(qū)、彎折區(qū)及第二非彎折區(qū),該柔性顯示面板還包括:

柔性基板;以及

依次形成于該柔性基板上的第一軟膜層、第一緩沖層、第一金屬線(xiàn)路及第二軟膜層;

其中,該第一金屬線(xiàn)路具有依次相連的第一子金屬線(xiàn)路、第二子金屬線(xiàn)路及第三子金屬線(xiàn)路,該第一子金屬線(xiàn)路位于該第一非彎折區(qū),該第二子金屬線(xiàn)路位于該彎折區(qū)內(nèi),該第三子金屬線(xiàn)路位于該第二非彎折區(qū),該第二軟膜層于對(duì)應(yīng)該第一子金屬線(xiàn)路及該第三子金屬線(xiàn)路的位置分別設(shè)置第一通孔及第二通孔,該第一金屬線(xiàn)路通過(guò)該第一通孔及該第二通孔實(shí)現(xiàn)該第一非彎折區(qū)與該第二非彎折區(qū)的電性導(dǎo)通。

作為可選的技術(shù)方案,該柔性顯示面板具有多條平行的該第一金屬線(xiàn)路。

作為可選的技術(shù)方案,該多條平行的該第一金屬線(xiàn)路用以傳遞柵極信號(hào)或者數(shù)據(jù)信號(hào)。

作為可選的技術(shù)方案,該第一緩沖層具有突出于該第一軟膜層的突出部分。

作為可選的技術(shù)方案,于該第一金屬線(xiàn)路的同道制程中形成對(duì)位標(biāo)記,該對(duì)位標(biāo)記設(shè)置于該突出部分上。

作為可選的技術(shù)方案,該第一緩沖層的材質(zhì)為氧化硅或氮化硅或氧化硅與氮化硅的復(fù)合材質(zhì)。

作為可選的技術(shù)方案,該第一軟膜層及該第二軟膜層的材質(zhì)為聚酰亞胺。

作為可選的技術(shù)方案,該第一軟膜層的厚度小于或等于該第二軟膜層的厚度。

作為可選的技術(shù)方案,該柔性顯示面板在該第二軟膜層上依次形成第二緩沖層、多晶硅、柵極絕緣層及第二金屬層,該多晶硅位于該第一非彎折區(qū),該第二緩沖層及該柵極絕緣層于該第一通孔及該第二通孔的位置開(kāi)設(shè)兩個(gè)第三通孔,該第二金屬層在形成對(duì)應(yīng)該多晶硅的柵極的同時(shí)填充該第一通孔、該第二通孔及該第三通孔。

作為可選的技術(shù)方案,該柔性顯示面板于該第二金屬層蝕刻完成后依次形成無(wú)機(jī)絕緣層及第三金屬層,該無(wú)機(jī)絕緣層于對(duì)應(yīng)該第三通孔的位置設(shè)置第四通孔,該無(wú)機(jī)絕緣層還設(shè)置該柵極對(duì)應(yīng)的源漏極通孔,該第三金屬層于填充該源漏極通孔的同時(shí)完成該第四通孔的填充。

相比于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明的柔性顯示面板通過(guò)將第一金屬線(xiàn)路設(shè)置于第一軟膜層與第二軟膜層之間,而不需要將第一緩沖層蝕刻減薄,從而使得第一金屬線(xiàn)路具有更為穩(wěn)定的彎折能力的同時(shí)具有較好的防水功能。

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述,但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的柔性顯示面板的示意圖;

圖2為本發(fā)明的柔性顯示面板的示意圖;

圖3為圖2的柔性顯示面板的另一視角的示意圖;

圖4為本發(fā)明的柔性顯示面板的一變化例的示意圖;

圖5為本發(fā)明的柔性顯示面板的另一變化例的示意圖。

具體實(shí)施方式

圖2為本發(fā)明的柔性顯示面板的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D1,柔性顯示面板200包括依次相連的第一非彎折D1、彎折區(qū)E及第二非彎折區(qū)D2,柔性顯示面板200還包括柔性基板210、第一軟膜層220、第一緩沖層230、第一金屬線(xiàn)路240及第二軟膜層250。第一軟膜層220、第一緩沖層230、第一金屬線(xiàn)路240及第二軟膜層250依次形成于柔性基板210上。

第一金屬線(xiàn)路240具有依次相連的第一子金屬線(xiàn)路2401、第二子金屬線(xiàn)路2402及第三子金屬線(xiàn)路2403,第一子金屬線(xiàn)路2401位于第一非彎折區(qū)D1,第二子金屬線(xiàn)路2402位于彎折區(qū)E內(nèi),第三子金屬線(xiàn)路2403位于第二非彎折區(qū)D2,第二軟膜層250于對(duì)應(yīng)第一子金屬線(xiàn)路2401及第三子金屬線(xiàn)路2403的位置分別設(shè)置第一通孔251及第二通孔252,第一金屬線(xiàn)路240通過(guò)第一通孔251及第二通孔252實(shí)現(xiàn)第一非彎折區(qū)D1與第二非彎折區(qū)D2的電性導(dǎo)通。如此,通過(guò)將第一金屬線(xiàn)路240設(shè)置于第一軟膜層220與第二軟膜層250之間的方式,即可實(shí)現(xiàn)彎折區(qū)E的第一金屬線(xiàn)路240在彎折后還能夠保持電性導(dǎo)通的效果,而不需要將第一緩沖層240蝕刻減薄,不存在因制程原因?qū)е碌牡谝痪彌_層240表面不平整的問(wèn)題,所以第一金屬線(xiàn)路240具有相對(duì)于圖1中線(xiàn)路170的更為穩(wěn)定的彎折能力。并且,雙層軟膜層加第一緩沖層的結(jié)構(gòu)更有利于防止從基板一側(cè)水汽的侵入,從而避免第一金屬線(xiàn)路240發(fā)生腐蝕的現(xiàn)象,即本發(fā)明的結(jié)構(gòu)具有更好的防水功能。

在本實(shí)施例中,第一金屬線(xiàn)路240的材質(zhì)不作限定,而不同金屬所能承受的應(yīng)力不同,為適應(yīng)這種不同應(yīng)力的需求,柔性顯示面板200可以通過(guò)調(diào)節(jié)第一軟膜層220的厚度來(lái)適應(yīng)第一金屬線(xiàn)路240的彎折能力,第一軟膜層220的厚度小于或等于第二軟膜層250的厚度,例如,第一軟膜層220的厚度越小,第一金屬線(xiàn)路240所需承受的應(yīng)力越小,即第一軟膜層220厚度的選擇端視金屬的彎折能力而定。

在本實(shí)施例中,第一緩沖層230具有突出于第一軟膜層220的突出部分2301。柔性顯示面板200在第一金屬線(xiàn)路240的同道制程中形成對(duì)位標(biāo)記241,對(duì)位標(biāo)記241位于第一緩沖層230的突出部分2301上。對(duì)位標(biāo)記241可作為第一金屬線(xiàn)路240后續(xù)膜層沉積時(shí)的對(duì)位標(biāo)記。

關(guān)于各膜層的材質(zhì),在本實(shí)施例中,第一緩沖層230的材質(zhì)可為氧化硅或氮化硅或氧化硅與氮化硅的復(fù)合材質(zhì);第一軟膜層220及第二軟膜層250的材質(zhì)可為聚酰亞胺。當(dāng)然,在其他實(shí)施例中,第一緩沖層230也可為其他緩沖材質(zhì),第一軟膜層220及第二軟膜層250也可為其他軟性材質(zhì),只需能夠滿(mǎn)足膜層的緩沖及軟性需求即可。

圖3為圖2的柔性顯示面板的另一視角的示意圖,圖2為柔性顯示面板200的截面圖,圖3為柔性顯示面板200的俯視圖。請(qǐng)參照?qǐng)D3,柔性顯示面板200具有多條平行的第一金屬線(xiàn)路240,這些平行的第一金屬線(xiàn)路240可用來(lái)傳遞柵極信號(hào)或者數(shù)據(jù)信號(hào),即第一金屬線(xiàn)路240可作為柵極信號(hào)或者數(shù)據(jù)信號(hào)的扇出線(xiàn)路。

因?yàn)楸景l(fā)明的柔性顯示面板200在彎折區(qū)E不需要減薄,所以還可以在彎折區(qū)E上沉積不同功能的膜層。例如,如圖4所示的本發(fā)明的柔性顯示面板的一變化例,與柔性顯示面板200相比,不同之處在于,柔性顯示面板300在第二軟膜層250上還依次形成第二緩沖層260、多晶硅270、柵極絕緣層280及第二金屬290,多晶硅270位于第一非彎折區(qū)D1,第二緩沖層260及柵極絕緣層280于第一通孔251及第二通孔252的位置開(kāi)設(shè)兩個(gè)第三通孔281,第二金屬層290在形成對(duì)應(yīng)多晶硅270的柵極的同時(shí)填充第一通孔251、第二通孔252及第三通孔281,即不必額外增加一道用于填充第一通孔251、第二通孔252的導(dǎo)電金屬的制程,可在制作柵極的同時(shí)完成第一通孔251、第二通孔252的填充。再例如,如圖5所示的本發(fā)明的柔性顯示面板的另一變化例,與柔性顯示面板300相比,不同之處在于,柔性顯示面板400于第二金屬層290蝕刻完成后還依次形成無(wú)機(jī)絕緣層310及第三金屬層320,無(wú)機(jī)絕緣層310于對(duì)應(yīng)第三通孔(未標(biāo)出)的位置設(shè)置第四通孔

311,無(wú)機(jī)絕緣層310還設(shè)置柵極對(duì)應(yīng)的源漏極通孔312,第三金屬層320于填充源漏極通孔312的同時(shí)完成第四通孔311的填充。

在彎折區(qū)E上沉積更多膜層可增強(qiáng)第一金屬線(xiàn)路240承受應(yīng)力的能力,如圖5所示,柔性顯示面板400在彎折區(qū)E的中性軸B已移至第二軟膜層250上,第一金屬線(xiàn)路240承受應(yīng)力的能力增強(qiáng),如此可防止第一金屬線(xiàn)路240發(fā)生物理性損傷,從而避免第一金屬線(xiàn)路240因損傷而產(chǎn)生的短路現(xiàn)象。

綜上所述,本發(fā)明的柔性顯示面板通過(guò)將第一金屬線(xiàn)路設(shè)置于第一軟膜層與第二軟膜層之間,而不需要將第一緩沖層蝕刻減薄,從而使得第一金屬線(xiàn)路具有更為穩(wěn)定的彎折能力的同時(shí)具有較好的防水功能。另外,本發(fā)明的柔性顯示面板還可通過(guò)調(diào)節(jié)第一軟膜層的厚度及在彎折區(qū)上增加更多的膜層的方式,來(lái)進(jìn)一步增強(qiáng)第一金屬線(xiàn)路的彎折能力。

當(dāng)然,本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例,在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形,但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。

當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3 
網(wǎng)友詢(xún)問(wèn)留言 已有0條留言
  • 還沒(méi)有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1