技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種內(nèi)置光柵半導(dǎo)體激光器,包括由下至上依次設(shè)置的襯底、下包層、下波導(dǎo)層、有源層、上波導(dǎo)層、上包層和頂層,其中上波導(dǎo)層包括第一上波導(dǎo)層和第二上波導(dǎo)層,第一上波導(dǎo)層為有源層的上一層,第二上波導(dǎo)層為上包層的下一層,且第一上波導(dǎo)層與第二上波導(dǎo)層之間設(shè)置有光柵層。本發(fā)明通過在第一上波導(dǎo)層與第二上波導(dǎo)層之間設(shè)置光柵層,可以大大提高半導(dǎo)體激光器的光譜質(zhì)量和溫度穩(wěn)定性,并且可以降低激光器的功耗和體積。
技術(shù)研發(fā)人員:廖柯
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國電子科技集團(tuán)公司第四十四研究所
文檔號(hào)碼:201610945233
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.02
技術(shù)公布日:2017.01.11