本發(fā)明涉及抽真空的技術(shù)，具體涉及到反應(yīng)離子刻蝕裝置中的真空抽取的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中廣泛地使用等離子體處理裝置。反應(yīng)離子刻蝕是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法刻蝕技術(shù)，它是在真空系統(tǒng)中利用由等離子體強(qiáng)化后的反應(yīng)離子氣體轟擊目標(biāo)材料，通過(guò)物理轟擊和化學(xué)反應(yīng)來(lái)達(dá)到刻蝕的目的。

因此，在反應(yīng)離子刻蝕裝置進(jìn)行刻蝕時(shí)，需要對(duì)反應(yīng)離子刻蝕裝置中的腔室抽真空，而目前為了能夠提高反應(yīng)離子刻蝕效率，通常采用大功率的真空泵或者增加真空泵的數(shù)量來(lái)加速空氣的抽取，以盡快形成真空環(huán)境。而采用大功率的真空泵或者增加真空泵的數(shù)量以加快抽真空的速度都會(huì)使得成本增加。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

1、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中利用大功率的真空泵抽取真空或者增加真空泵的數(shù)量以加快抽真空的速度都將會(huì)導(dǎo)致成本增加的問(wèn)題，本發(fā)明提出一種在不妨礙真空抽取效率的情況下減小抽真空所用成本的技術(shù)方案。

2、本發(fā)明的所采用的技術(shù)方案

本發(fā)明提供了在采用小功率真空泵的情形下，加快真空抽取速度的裝置和方法，其具體的技術(shù)方案如下：

一種利用真空罐加速抽真空的裝置

所述裝置包括真空泵1、第一管道4、第一閥門(mén)5和第二閥門(mén)6；待抽真空腔室2通過(guò)第一管道4連通真空泵2，真空泵可以直接抽取待抽真空腔室2內(nèi)的氣體，使帶抽真空腔室2達(dá)到真空狀態(tài)。

利用真空罐加速抽真空的裝置設(shè)有真空罐3，所述真空罐3通過(guò)第二管道7分別連通待抽真空腔室2與真空泵1，第二管道7一端連接真空罐3，另一端通過(guò)三通與第一管道4連接；真空罐3既通過(guò)第一管道4和第二管道7連通待抽真空腔室2，又通過(guò)第一管道4和第二管道7連通真空泵1。

第一閥門(mén)5設(shè)置在第二管道7上，第一閥門(mén)5用以控制真空罐3與其它裝置聯(lián)通；所述第二閥門(mén)6設(shè)置在待抽真空腔室2與真空罐3之間的第一管道4上。

優(yōu)選的技術(shù)方案，采用的真空泵1為小功率真空泵。

優(yōu)選的技術(shù)方案，采用的真空罐為1個(gè)或者多個(gè)。

基于上述的利用真空罐加速抽真空的裝置的利用真空罐加速抽真空的方法，所述步驟如下：

a.待抽真空腔室2需要抽取真空時(shí)，打開(kāi)第一閥門(mén)5和第二閥門(mén)6，利用真空罐3抽取待抽真空腔室2中的氣體；

b.待抽真空腔室2與真空罐3的壓力達(dá)到平衡后，待抽真空腔室2與真空罐3的壓力不均衡，氣體自由膨脹，由待抽真空腔室2向真空罐3流動(dòng)，直至二者壓力達(dá)到平衡；關(guān)掉第一閥門(mén)5；

c.保持第二閥門(mén)6打開(kāi)，真空泵1抽取待抽真空腔室2中剩余的氣體，使待抽真空腔室2迅速達(dá)到真空環(huán)境。

在待抽真空腔室2不需要抽取真空時(shí)，可以先利用真空泵1將真空罐3內(nèi)的氣體抽出，使真空罐3保持真空狀態(tài)，在后續(xù)的工作中隨時(shí)可用真空罐3來(lái)抽取帶抽真空腔室2內(nèi)的氣體，具體的方法是打開(kāi)第一閥門(mén)5、關(guān)閉第二閥門(mén)6，利用真空泵1抽取真空罐3內(nèi)的氣體，將真空罐3抽成真空。

進(jìn)一步的技術(shù)方案，真空罐3內(nèi)的氣體既可以通過(guò)真空泵1抽取，也可以通過(guò)其他的抽真空設(shè)備來(lái)抽取。

3、采用本發(fā)明提供的技術(shù)方案，與已有的公知技術(shù)相比，具有如下顯著效果：

本發(fā)明通過(guò)設(shè)置一個(gè)真空罐，先利用氣體的自由膨脹原理，將腔體內(nèi)部的氣體分子數(shù)量迅速減小，之后再使用真空泵抽取剩余空氣，從而縮短腔體抽真空的所需時(shí)間,提高設(shè)備產(chǎn)能，提高了生產(chǎn)效率、降低了成本。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明專(zhuān)利的一種利用真空罐加速抽真空的裝置示意圖。

圖中附圖標(biāo)記對(duì)應(yīng)的零件為：1真空泵，2腔室，3真空罐，4第一管道，5第一閥門(mén)，6第二閥門(mén)，7第二管道。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖和具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述。

利用真空罐加速抽真空的裝置，本實(shí)施例中的技術(shù)方案采用了一個(gè)真空罐。

利用真空罐加速抽真空的裝置包括真空泵1、第一管道4、第一閥門(mén)5和第二閥門(mén)6；待抽真空腔室2通過(guò)第一管道4連通真空泵2，真空泵可以直接抽取待抽真空腔室2內(nèi)的氣體，使帶抽真空腔室2達(dá)到真空狀態(tài)。

利用真空罐加速抽真空的裝置設(shè)有真空罐3，所述真空罐3通過(guò)第二管道7分別連通待抽真空腔室2與真空泵1，第二管道7一端連接真空罐3，另一端通過(guò)三通(圖中未示出)與第一管道4連接；真空罐3既通過(guò)第一管道4和第二管道7連通待抽真空腔室2，又通過(guò)第一管道4和第二管道7連通真空泵1。

第一閥門(mén)5設(shè)置在第二管道7上，，第一閥門(mén)5用以控制真空罐3與其它裝置聯(lián)通；所述第二閥門(mén)6設(shè)置在待抽真空腔室2與真空罐3之間的第一管道4上。

基于上述的利用真空罐加速抽真空的裝置的利用真空罐加速抽真空的方法，所述步驟如下：

a.待抽真空腔室2需要抽取真空時(shí)，打開(kāi)第一閥門(mén)5和第二閥門(mén)6，利用真空罐3抽取待抽真空腔室2中的氣體；

b.待抽真空腔室2與真空罐3的壓力達(dá)到平衡后，待抽真空腔室2與真空罐3的壓力不均衡，氣體自由膨脹，由待抽真空腔室2向真空罐3流動(dòng)，直至二者壓力達(dá)到平衡；關(guān)掉第一閥門(mén)5；

c.保持第二閥門(mén)6打開(kāi)，真空泵1抽取待抽真空腔室2中剩余的氣體，使待抽真空腔室2迅速達(dá)到真空環(huán)境。

在待抽真空腔室2不需要抽取真空時(shí)，可以先利用真空泵1將真空罐3內(nèi)的氣體抽出，使真空罐3保持真空狀態(tài)，在后續(xù)的工作中隨時(shí)可用真空罐3來(lái)抽取帶抽真空腔室2內(nèi)的氣體，具體的方法是打開(kāi)第一閥門(mén)5、關(guān)閉第二閥門(mén)6，利用真空泵1抽取真空罐3內(nèi)的氣體，將真空罐3抽成真空。

以上示意性地對(duì)本發(fā)明的創(chuàng)造及其實(shí)施方式進(jìn)行了描述，本發(fā)明的保護(hù)范圍包括但不限于上述的描述。附圖中所示的也只是本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施方式之一，實(shí)際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以，如果本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員受到本實(shí)用新的啟示，在不脫離本發(fā)明的創(chuàng)造宗旨的情況下，不經(jīng)創(chuàng)造性的設(shè)計(jì)出與本發(fā)明的技術(shù)方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實(shí)施例，均應(yīng)屬于本專(zhuān)利的保護(hù)范圍。