本發(fā)明涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種芯片封裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越向小型化、智能化以及高可靠性方向發(fā)展,而集成電路封裝直接影響著集成電路、電子模塊乃至整機(jī)性能,在集成電路晶片尺寸逐步縮小、集成度不斷提高的情況下,電子工業(yè)對集成電路封裝救贖提出了越來越高的要求。
目前的扇出(fanout)工藝,芯片埋在樹脂材料中,當(dāng)芯片工作時產(chǎn)生的熱量因散熱不好而累積,從而造成芯片過熱,性能降低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明提供一種芯片封裝工藝,能夠解決現(xiàn)有技術(shù)存在的散熱不佳導(dǎo)致芯片性能降低的問題。
為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的一個技術(shù)方案是:提供一種芯片封裝結(jié)構(gòu),該芯片封裝結(jié)構(gòu)包括第一金屬圖案層、芯片、第二金屬圖案層和封料層,其中,芯片包括設(shè)有連接凸點(diǎn)的第一側(cè)面和未設(shè)置連接凸點(diǎn)的第二側(cè)面,所述芯片設(shè)置在所述第一金屬圖案層上,且所述第二側(cè)面與所述第一金屬圖案層接觸;第二金屬圖案層設(shè)置在所述芯片之上,所述第二金屬圖案層的至少部分區(qū)域與所述連接凸點(diǎn)接觸;封料層所述封料層包覆所述第一金屬圖案層、所述芯片和所述第二金屬圖案層,且所述封料層的一側(cè)裸露出所述第一金屬圖案層,所述封料層的另一側(cè)裸露出所述第二金屬圖案層。
其中,所述芯片外周設(shè)有限位部件,以限定所述芯片的位置。
其中,所述限位部件包括多個限位柱體,所述多個限位柱體嵌在所述封料層內(nèi)部并圍成一個裝載空間,所述芯片設(shè)置在所述裝載空間內(nèi)。
其中,所述限位柱體形成在所述第一金屬圖案層上,所述限位柱體的一端與所述第一金屬圖案層接觸。
其中,所述第一金屬圖案層包括互不相連的基部和散熱部,所述基部設(shè)置在所述散熱部的外周;所述限位柱體形成在所述基部上;所述芯片設(shè)置在所述散熱部上,且所述第二側(cè)面與所述散熱部接觸。
其中,所述限位柱體為金屬柱體,所述第二金屬圖案層的至少部分區(qū)域與所述限位柱體的另一端接觸。
其中,所述基部包括多個互不相連的布線區(qū)域,每個所述布線區(qū)域上至少設(shè)置有一個所述限位柱體。
其中,所述散熱部呈網(wǎng)狀。
其中,所述封料層包括第一封料層和第二封料層,所述第一金屬圖案層和所述芯片嵌在所述第一封料層內(nèi),所述第二金屬圖案層嵌在所述第二封料層內(nèi)。
其中,所述封料層為樹脂層。
本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況,本發(fā)明通過將第一金屬圖案層和第二金屬圖案層分別在封料層的兩側(cè)裸露出來,并且,芯片的第二側(cè)面與第一金屬圖案層接觸,因而,即使芯片嵌于封料層中,芯片工作時產(chǎn)生的熱量能從第一金屬圖案層及時散發(fā)出去,而不會造成熱量的累積,避免芯片過熱而導(dǎo)致性能降低。
附圖說明
為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)的俯視圖;
圖2是圖1中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)中第一金屬圖案層和限位部件的俯視圖;
圖4是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)一個區(qū)域的側(cè)視圖;
圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝工藝的流程示意圖;
圖6是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的芯片封裝工藝的流程示意圖;
圖7是圖6中步驟S21時的俯視圖;
圖8是圖7中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖9是圖6中步驟S22時的俯視圖;
圖10是圖9中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖11是圖6中步驟S23時的俯視圖;
圖12是圖11中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖13是圖6中步驟S24的第一封料預(yù)制片壓合前的俯視圖;
圖14是圖13中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖15是圖6中步驟S24的第一封料預(yù)制片壓合后的俯視圖;
圖16是圖15中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖17是圖6中步驟S24形成第一封料層后的俯視圖;
圖18是圖17中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖19是圖6中步驟S25時的俯視圖;
圖20是圖19中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖21是圖6中步驟S26壓合第二封料預(yù)制片后的俯視圖;
圖22是圖21中A區(qū)域的側(cè)視圖;
圖23是圖6中步驟S26形成第二封料層后的俯視圖;
圖24是圖23中A區(qū)域的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
請參閱圖1和圖2,圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是圖1中A區(qū)域的側(cè)視圖。
本發(fā)明的芯片封裝結(jié)構(gòu)至少包括第一金屬圖案層10、芯片20、第二金屬圖案層30以及封料層40,其中,芯片20設(shè)置在第一金屬圖案層10上,并與第一金屬圖案層10接觸,第二金屬圖案層30設(shè)置在芯片20之上,封料層40包覆第一金屬圖案層10、芯片20和第二金屬圖案層30。
具體地,芯片20包括設(shè)有連接凸點(diǎn)21的第一側(cè)面22和未設(shè)置連接凸點(diǎn)21的第二側(cè)面23,芯片20設(shè)置在第一金屬圖案層10上,且芯片20的第二側(cè)面23與第一金屬圖案層10接觸,以使芯片20產(chǎn)生的熱量可以從第一金屬圖案層10導(dǎo)出。
第二金屬圖案層30設(shè)置在芯片20之上,第二金屬圖案層30的至少部分區(qū)域與連接凸點(diǎn)21接觸,以通過第二金屬圖案層30將芯片20與外部電路導(dǎo)通。
封料層40包覆第一金屬圖案層10、芯片20和第二金屬圖案層30,且封料層40的一側(cè)裸露出第一金屬圖案層10,封料層40的另一側(cè)裸露出第二金屬圖案層30。該封料層40一方面能起絕緣作用,另一方面使芯片20更加牢固地固定在第一金屬圖案層40上,能有效避免芯片20脫落的情況發(fā)生。
區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明通過將第一金屬圖案層10和第二金屬圖案層30分別在封料層40的兩側(cè)裸露出來,并且,芯片20的第二側(cè)面23與第一金屬圖案層10接觸,因而,即使芯片20嵌于封料層40中,芯片20工作時產(chǎn)生的熱量能從第一金屬圖案層10及時散發(fā)出去,而不會造成熱量的累積,避免芯片20過熱而導(dǎo)致性能降低。
在芯片20外周設(shè)有限位部件,以限定芯片20的位置,從而防止塑封時候封料在固化過程中的漲縮導(dǎo)致芯片20偏移。
具體而言,在本實(shí)施例中,限位部件包括多個限位柱體50,多個限位柱體50嵌在封料層40內(nèi)部并圍成一個裝載空間60,芯片20設(shè)置在裝載空間60內(nèi)。例如,本實(shí)施例的芯片20為方形,限位柱體50形成柵欄并圍成一個方形,芯片20裝載在該方形的裝載空間60內(nèi)。當(dāng)然,在其它一些實(shí)施例中,芯片20可以是其它形狀,限位柱體50形成的柵欄則圍成與芯片20近似的形狀。
可以理解地,在其它一些實(shí)施例中,限位部件還可以是其它結(jié)構(gòu),例如,限位部件為設(shè)置在芯片四個角處的L形件,或者設(shè)置在芯片20四條邊上的擋板等,只要能限定芯片20的位置,防止芯片20偏移即可。
限位柱體50形成在第一金屬圖案層10上,限位柱體50的一端與第一金屬圖案層10接觸,從而以第一金屬圖案層10作為限位柱體50的基礎(chǔ),形成框架結(jié)構(gòu),能增加結(jié)合力,提高限位柱體50的穩(wěn)固性。
請參閱圖3,圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)中第一金屬圖案層和限位部件的俯視圖。第一金屬圖案層10包括互不相連的基部11和散熱部12,基部11設(shè)置在散熱部12的外周。具體地,限位柱體50形成在基部11上,芯片20則設(shè)置在散熱部12上,且第二側(cè)面23與散熱部12接觸。其中,散熱部12呈網(wǎng)狀,例如,本實(shí)施例的散熱部12為一個方形的網(wǎng),該方形的網(wǎng)的形狀和大小與芯片的第二側(cè)面23的形狀和大小相近,芯片20的第二側(cè)面23直接與該散熱部12接觸,由于散熱部12為金屬材料,因而散熱部12能將芯片20的熱量充分導(dǎo)出。
限位柱體50為金屬柱體,第二金屬圖案層30的至少部分區(qū)域與限位柱體50的另一端接觸。因此,限位柱體50的兩端分別連接第一金屬圖案層10和第二金屬圖案層30,第二金屬圖案層30與芯片20的連接凸點(diǎn)21連接,從而可以建立連接凸點(diǎn)21與限位柱體20以及第一金屬層10之間的連接。使得第一金屬層10也能作為基線,從而使芯片20的第一側(cè)面22和第二側(cè)面23均能與外部電路連接。
舉例而言,本實(shí)施例中的第二金屬圖案層30包括多個圓形的連接盤31以及連接橋32,第二金屬圖案層30的一部分區(qū)域,如本實(shí)施例的中間的區(qū)域中,每個連接盤31分別對應(yīng)一個連接凸點(diǎn)21,并與該連接凸點(diǎn)21連接,其余區(qū)域的連接盤31則位于中間區(qū)域的外周,外周的連接盤31中,有部分連接盤31通過連接橋32與中間區(qū)域的部分連接盤31連接。此外,連接橋32還可以設(shè)置在中間區(qū)域,而在不同的連個連接凸點(diǎn)21之間建立連接。連接盤31和連接橋32的形狀和數(shù)量根據(jù)實(shí)際需要來設(shè)置??梢岳斫獾?,在另一些實(shí)施例中,第二金屬圖案層30還可以具有其他圖案。
第一金屬圖案層10中的基部和11散熱部12之間互不相連,從而使得基部11作為基線而與外部電路連通,起導(dǎo)通作用,而散熱部12起散熱作用。
基部11包括多個互不相連的布線區(qū)域,例如圖3中的布線區(qū)域13a,13b、13c、13d、13e和13f,每個布線區(qū)域上至少設(shè)置有一個限位柱體50,以建立該布線區(qū)域與芯片20之間的連接。例如圖3中布線區(qū)域13a上設(shè)有5個限位柱體50,布線區(qū)域13b、13c、13d上分別設(shè)有1個限位柱體50,13e上設(shè)有4個限位柱體50,具體布線區(qū)域的數(shù)量以及每個布線區(qū)域上設(shè)置的限位柱體50的數(shù)量根據(jù)實(shí)際需求而設(shè)置。
封料層40包括第一封料層41和第二封料層42,第一金屬圖案層10、芯片20和限位部件嵌在第一封料層41內(nèi),第二金屬圖案層30嵌在第二封料層42內(nèi)。
具體地,本實(shí)施例的第一封料層41包覆第一金屬圖案層10、芯片20和限位柱體50,使得芯片20、第一金屬圖案層10和限位柱體50的位置固定。
第二封料層42包覆第二金屬圖案層30,使得第二金屬圖案層30能更牢固地固定在第一封料層41上。
具體地,封料層40為樹脂層,例如環(huán)氧樹脂,環(huán)氧樹脂的密封性能較好,塑封容易。
綜上,本發(fā)明的芯片封裝結(jié)構(gòu)中,芯片20產(chǎn)生的熱量能及時從第一金屬圖案層10散發(fā)出去,避免熱量的累積,維護(hù)了芯片20的性能。
如圖4所示,圖4是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的芯片封裝結(jié)構(gòu)一個區(qū)域的側(cè)視圖。本實(shí)施例與上述實(shí)施例的區(qū)別在于,本實(shí)施例的芯片封裝結(jié)構(gòu)為兩個上述實(shí)施例的芯片封裝結(jié)構(gòu)的堆疊,并且,底層的芯片封裝結(jié)構(gòu)的第二金屬圖案層30與限位柱體50對應(yīng)的位置處,以及頂層的芯片封裝結(jié)構(gòu)的第一金屬圖案層10余限位柱體50對應(yīng)的位置處通過焊球70進(jìn)行連接,以實(shí)現(xiàn)兩個芯片之間的導(dǎo)通。
可以理解地,在其它一些實(shí)施例中,還可以是多個上述實(shí)施例的芯片封裝結(jié)構(gòu)的堆疊。
請繼續(xù)參閱圖5,圖5是本發(fā)明實(shí)施例提供的芯片封裝工藝的流程示意圖。
本實(shí)施例的芯片封裝工藝包括以下步驟:
S11:在載板上形成第一金屬圖案層。
第一金屬圖案層10的形成過程可以是:先在載板上形成一金屬層,再通過黃光制程,經(jīng)過曝光、顯影、蝕刻等步驟形成預(yù)設(shè)的圖案,從而形成第一金屬圖案層10。
S12:將芯片設(shè)置在第一金屬圖案層上,其中,芯片包括設(shè)有連接凸點(diǎn)的第一側(cè)面和未設(shè)置連接凸點(diǎn)的第二側(cè)面,第二側(cè)面與第一金屬圖案層接觸。
具體地,載板的一面通過激光形成對準(zhǔn)標(biāo)記,芯片20則按照對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行設(shè)置。本實(shí)施例的芯片20的整個第二側(cè)面23均與第一金屬圖案層10接觸,從而能充分散熱。
S13:在載板上設(shè)置第一封料層,以包覆第一金屬圖案層和芯片,并使第一封料層的表面裸露連接凸點(diǎn)。
具體地,本實(shí)施例中,第一封料層41的設(shè)置包括以下步驟:先在載板上壓合第一封料預(yù)制片,以使第一封料預(yù)制片包覆第一金屬圖案層10和芯片20,再打磨第一封料預(yù)制片的表面,以形成第一封料層41,并使連接凸點(diǎn)21裸露出來。
可以理解地,在其他一些實(shí)施例中,還可以通過形成通孔來裸露出連接凸點(diǎn)21。
S14:在第一封料層上形成第二金屬圖案層,并使第二金屬圖案層的至少部分區(qū)域與連接凸點(diǎn)接觸。
第二金屬圖案層30的形成過程可以是:先在載板上形成一金屬層,再通過黃光制程,經(jīng)過曝光、顯影、蝕刻等步驟形成預(yù)設(shè)的圖案,從而形成第二金屬圖案層30。并且,第二金屬圖案層30的部分區(qū)域與連接凸點(diǎn)21接觸,從而建立的連接凸點(diǎn)21和第二金屬圖案層30之間的連接,從而使外部電路通過第二金屬圖案層30而與芯片20導(dǎo)通。
S15:在第一封料層上設(shè)置第二封料層,第二封料層的表面裸露第二金屬圖案層。
步驟S15中,第二封料層42的設(shè)置包括以下步驟:先在第一封料層41上壓合第二封料預(yù)制片,以使第二封料預(yù)制片包覆第二金屬圖案層30,再打磨第二封料預(yù)制片的表面,以形成第二封料層42,并使第二金屬圖案層30裸露出來。
S16:拆除載板,以使第一封料層的表面裸露第一金屬圖案層。
步驟S16后,第一金屬圖案層10裸露在第一封料層41的表面,而芯片20的第二側(cè)面23與該第一金屬圖案層41接觸,從而使得芯片20產(chǎn)生的熱量能通過第一金屬圖案層10散發(fā)出去,而不會造成熱量的累積,避免芯片20過熱而導(dǎo)致性能降低。
請參閱圖6,圖6是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的芯片封裝工藝的流程示意圖。
S21:在載板上形成第一金屬圖案層。
如圖7和圖8所示,圖7是圖6中步驟S21時的俯視圖。圖8是圖7中A區(qū)域的側(cè)視圖。本實(shí)施例的第一金屬圖案層10形成在載板90上,該第一金屬圖案層10包括基部11和散熱部12,其中,基部11設(shè)置在散熱部12的外周,基部11包括多個互不相連的布線區(qū)域11a、11b、11c、11d、11e和11f。散熱部12呈網(wǎng)狀。
基部11和散熱部12之間互不相連,從而使得基部11作為基線而與外部電路連通,起導(dǎo)通作用,而散熱部12起散熱作用。
S22:在載板之上形成限位部件,以限定芯片的位置。
請參閱圖9和圖10,圖9是圖6中步驟S22時的俯視圖。圖10是圖9中A區(qū)域的側(cè)視圖。具體地,限位部件包括多個限位柱體50,該限位柱體50為金屬柱體,多個限位柱體50圍成一個裝載空間60,例如限位柱體5圍繞在散熱部12的外周而在散熱部12的上方形成裝載空間60。本實(shí)施例的多個限位柱體50均形成在基部11上,使基部11作為限位柱體50的基礎(chǔ),形成框架結(jié)構(gòu),能增加結(jié)合力,提高限位柱體50的穩(wěn)固性。基部11的每個布線區(qū)域上至少設(shè)置有一個限位柱體50。
可以理解地,在其它一些實(shí)施例中,限位部件還可以是其它結(jié)構(gòu),例如,限位部件為設(shè)置在芯片20四個角處的L形件,或者設(shè)置在芯片20四條邊上的擋板等,只要能限定芯片20的位置,防止芯片20偏移即可。
S23:將芯片設(shè)置在第一金屬圖案層上,其中,芯片包括設(shè)有連接凸點(diǎn)的第一側(cè)面和未設(shè)置連接凸點(diǎn)的第二側(cè)面,第二側(cè)面與第一金屬圖案層接觸。
如圖11和圖12所示,圖11是圖6中步驟S23的俯視圖,圖12是圖11中A區(qū)域的側(cè)視圖。
芯片20包括設(shè)有連接凸點(diǎn)21的第一側(cè)面22和未設(shè)置連接凸點(diǎn)21的第二側(cè)面23。將芯片20設(shè)置在限位柱體50形成的裝載空間60內(nèi),從而通過限位柱體50防止塑封時候封料在固化過程中的漲縮導(dǎo)致芯片20偏移。同時,將芯片20設(shè)置在散熱部12上,使第二側(cè)面23與散熱部12接觸。
S24:在載板上設(shè)置第一封料層,以包覆第一金屬圖案層、芯片和限位部件,并使第一封料層的表面裸露連接凸點(diǎn)和限位部件。
步驟S24具體包括:
先在載板90上壓合第一封料預(yù)制片43,以使第一封料預(yù)制片43包覆第一金屬圖案層10、芯片20以及限位柱體50。如圖13、圖14、圖15和圖16所示,圖13是圖6中步驟S24的第一封料預(yù)制片壓合前的俯視圖。圖14是圖13中A區(qū)域的側(cè)視圖。圖15是圖6中步驟S24的第一封料預(yù)制片壓合后的俯視圖。圖16是圖15中A區(qū)域的側(cè)視圖。
然后,打磨第一封料預(yù)制片43的表面,以形成第一封料層41,并使連接凸點(diǎn)21和限位柱體50裸露出來。如圖17和圖18所示,圖17是圖6中步驟S24形成第一封料層后的俯視圖,圖18是圖17中A區(qū)域的側(cè)視圖。
S25:在第一封料層上形成第二金屬圖案層,并使第二金屬圖案層的至少部分區(qū)域與連接凸點(diǎn)接觸,至少部分區(qū)域與限位柱體的另一端接觸。
如圖19和圖20所示,圖19是圖6中步驟S25的俯視圖。圖20是圖19中A區(qū)域的側(cè)視圖。步驟S25中,在第一封料層41上形成第二金屬圖案層30,舉例而言,本實(shí)施例中的第二金屬圖案層30包括多個圓形的連接盤31以及連接橋32,第二金屬圖案層30的一部分區(qū)域,如本實(shí)施例的中間的區(qū)域中,每個連接盤31分別對應(yīng)一個連接凸點(diǎn)21,并與該連接凸點(diǎn)21連接,其余區(qū)域的連接盤31則位于中間區(qū)域的外周,外周的連接盤31中,有部分連接盤31通過連接橋32與中間區(qū)域的部分連接盤31連接。此外,連接橋32還可以設(shè)置在中間區(qū)域,而在不同的連個連接凸點(diǎn)21之間建立連接。連接盤31和連接橋32的形狀和數(shù)量根據(jù)實(shí)際需要來設(shè)置??梢岳斫獾?,在另一些實(shí)施例中,第二金屬圖案層30還可以具有其他圖案。
S26:在第一封料層上設(shè)置第二封料層,第二封料層的表面裸露第二金屬圖案層。
步驟S26具體包括以下步驟:
如圖21和圖22所示,圖21是圖6中步驟S26壓合第二封料預(yù)制片后的俯視圖,圖22是圖21中A區(qū)域的側(cè)視圖。在第一封料層41上壓合第二封料預(yù)制片44,以使第二封料預(yù)制片44包覆第二金屬圖案層30。
如圖23和圖24所示,圖23是圖6中步驟S26形成第二封料層后的俯視圖,圖24是圖23中A區(qū)域的側(cè)視圖。打磨第二封料預(yù)制片44的表面,以形成第二封料層42,并使第二金屬圖案層30裸露出來。
S27:拆除載板,以使第一封料層的表面裸露第一金屬圖案層。
步驟S27中,將載板拆除之后,得到如圖1和圖2所示的芯片封裝結(jié)構(gòu),該封裝結(jié)構(gòu)中,第一金屬圖案層10裸露在第一封料層41的表面,以將芯片20的熱量散發(fā)出去。
此外,由于第一金屬圖案層10和第二金屬圖案層30分別裸露在封料層40的兩側(cè)表面,并且由于限位柱體50為金屬柱體,限位柱體50的兩端分別連接第一金屬圖案層10和第二金屬圖案層30,第二金屬圖案層30與芯片20的連接凸點(diǎn)21連接,從而可以建立連接凸點(diǎn)21與限位柱體50以及第一金屬圖案層10之間的連接。使得第一金屬圖案層10也能作為基線,從而使芯片20的第一側(cè)面22和第二側(cè)面23均能與外部電路連接。
在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中,在上述實(shí)施例中,步驟S21-S27之后,還包括:將經(jīng)過上述步驟S21-S27形成的兩個芯片封裝結(jié)構(gòu)堆疊起來,并通過焊球進(jìn)行焊接,最終形成如圖4所示的芯片封裝結(jié)構(gòu)。具體地,底層的芯片封裝結(jié)構(gòu)的第二金屬圖案層30與限位柱體50對應(yīng)的位置處,以及頂層的芯片封裝結(jié)構(gòu)的第一金屬圖案層10余限位柱體50對應(yīng)的位置處通過焊球70進(jìn)行連接,以實(shí)現(xiàn)兩個芯片之間的導(dǎo)通。
可以理解地,在其它一些實(shí)施例中,還可以是多個上述實(shí)施例的芯片封裝結(jié)構(gòu)的堆疊。
綜上所示,本發(fā)明能及時將芯片產(chǎn)生的熱量散發(fā)出去,防止熱量累積,維護(hù)了芯片的性能。
以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施方式,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。