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銀配線的黑化方法及使用其的顯示器裝置與流程

文檔序號:11592435閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種將形成于觸摸面板等所使用的玻璃基板等基材上的網(wǎng)眼狀的銀配線進行黑化的方法。對形成于基材上的銀配線的表面,通過以高輸出進行第一等離子體處理的工序、以低輸出進行第二等離子體處理的工序,能夠以高純度在銀配線的表面形成均勻的銀氧化膜,將銀配線黑化。另外,在兩種等離子體處理之后,通過在空氣中實施加熱,能夠防止銀配線的顏色及電阻值的變動。其結(jié)果是,能夠提供識別性良好的觸摸面板。

技術(shù)研發(fā)人員:北澤裕之;奧村雅仁
受保護的技術(shù)使用者:株式會社寫真化學;株式會社SK電子
技術(shù)研發(fā)日:2016.09.29
技術(shù)公布日:2017.08.08
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