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基于寬光譜響應CuPc/F4?TCNQ結構的光電探測器及其制備方法與流程

文檔序號:12370646閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器依次由透光襯底、導電薄膜電極層、CuPc薄膜層、F4-TCNQ薄膜層、金屬薄膜電極層復合組成。

2.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述的透光襯底為玻璃襯底、石英襯底或藍寶石襯底。

3.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述導電薄膜電極層的材料為ITO、FTO或ZnO。

4.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述導電薄膜電極層的厚度為100~200nm。

5.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述金屬薄膜電極層的金屬種類為鋁、銅、金或銀。

6.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述金屬薄膜電極層的厚度為100~200nm。

7.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述CuPc薄膜層的厚度為10~50nm。

8.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器,其特征在于,所述F4-TCNQ薄膜層的厚度為10~100nm。

9.如權利要求1所述的基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器的制備方法,其特征在于,所述的制備方法為:

將表面清洗干凈的透光襯底置于熱蒸發(fā)鍍膜儀的生長室中,并將導電薄膜電極層的材料粉末、CuPc粉末、F4-TCNQ粉末、金屬薄膜電極層的金屬顆粒分別放置于四個鉬舟內,并將四個鉬舟安裝在生長室的四對電極上;生長室抽真空至9.0~9.5×10-4Pa,先對裝有導電薄膜電極層的材料粉末的鉬舟進行電流調節(jié),通過膜厚檢測儀使其蒸發(fā)速率維持在蒸發(fā)至所需厚度后將電流調為零,即完成導電薄膜電極層的蒸鍍;利用相同的方法依次蒸鍍CuPc薄膜層、F4-TCNQ薄膜層、金屬薄膜電極層,其蒸發(fā)速率分別為每層膜蒸鍍完成后均在真空環(huán)境下自然冷卻5min,再蒸鍍下一層膜,最終制備得到所述基于寬光譜響應CuPc/F4-TCNQ結構的光電探測器。

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