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去除柔性基板中氣泡的方法與流程

文檔序號(hào):12749608閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.去除柔性基板中氣泡的方法,所述柔性基板包括玻璃基板,以及設(shè)置在玻璃基板上的ITO層,還包括涂布在所述ITO層的表面的PI層,其特征在于,包括下列步驟:

(a)將所述柔性基板放置在渦流加熱裝置上,其中玻璃基板緊貼所述渦流加熱裝置;

(b)開始渦流加熱,使ITO層升溫,促使所述PI層內(nèi)部的氣泡上升至所述PI層表面后破裂去除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(b)中,加熱功率為500~2000W,加熱時(shí)間為1~5min。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(b)中,加熱功率為1000W,所述加熱時(shí)間為2min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,在所述步驟(b)后還包括步驟(c)對(duì)PI層進(jìn)行固化,采用加熱爐對(duì)PI層進(jìn)行加熱固化。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(c)中,所述加熱固化溫度為300~500℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(c)中,所述加熱固化溫度采用持續(xù)升溫方式到達(dá)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(c)中,所述升溫速率為4~10℃/min。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述步驟(c)中,持續(xù)升溫方式至少包括兩段升溫區(qū)間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述PI層的厚度為7~20μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的去除柔性基板中氣泡的方法,其特征在于,所述PI層的厚度為12μm。

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