技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及用于確定處理速率的方法和裝置。一種用于在處理室中干法處理襯底的方法被提供。所述襯底被置于所述處理室中。所述襯底被干法處理，其中所述干法處理產(chǎn)生至少一種氣體副產(chǎn)品。所述至少一種氣體副產(chǎn)品的濃度被測量。所述至少一種氣體副產(chǎn)品的所述濃度被用于確定所述襯底的處理速率。

技術(shù)研發(fā)人員：亞辛·卡布茲;呂克·阿爾巴雷德;安德魯·D·貝利;喬治·盧克;塞翁克永·李;索斯藤·利爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：朗姆研究公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.14
技術(shù)公布日：2017.08.08