1.一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),包括:襯底,以及生長(zhǎng)在襯底表面的發(fā)光外延層和分布布拉格反射層,發(fā)光外延層和分布布拉格反射層分別位于襯底兩側(cè),其特征在于:所述襯底的背面具有一系列沙漏狀的凹槽結(jié)構(gòu),且所述分布布拉格反射層形成于所述凹槽結(jié)構(gòu)表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其特征在于:所述凹槽結(jié)構(gòu)呈周期性規(guī)則分布。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其特征在于:所述沙漏狀的凹槽結(jié)構(gòu)的深度介于2μm~10μm,寬度介于2μm~10μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu),其特征在于:所述分布布拉格反射層的厚度介于2μm~4μm。
5.一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,包括工藝步驟:
(1)提供一襯底,并在襯底的上表面形成發(fā)光外延層;
(2)采用激光隱形切割工藝,在襯底的背面形成具有一系列沙漏狀的凹槽結(jié)構(gòu);
(3)采用離子束鍍膜工藝,沿著所述凹槽結(jié)構(gòu)表面形成分布布拉格反射層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述步驟(2)中激光隱形切割工藝分為兩步,先對(duì)襯底進(jìn)行第一次激光隱形切割工藝,形成一系列梯形狀的凹槽結(jié)構(gòu);再將襯底倒置,進(jìn)行第二次激光隱形切割工藝,形成一系列倒梯形狀的凹槽結(jié)構(gòu),如此制得具有一系列沙漏狀的凹槽結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述激光隱形切割的激光能量介于0.32W~0.9W,激光頻率介于15KHz~40KHz。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述沙漏狀的凹槽結(jié)構(gòu)的深度介于2μm~10μm,寬度介于2μm~10μm。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述步驟(3)中離子束鍍膜工藝的條件:離子束能量介于200W~2000W,鍍膜速率介于2?/s~5?/s,溫度介于150~300℃。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種發(fā)光二極管結(jié)構(gòu)的制作方法,其特征在于:所述分布布拉格反射層的厚度介于2μm~4μm。