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單晶硅基材的織構(gòu)化的制作方法

文檔序號:12129337閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種制備單晶硅基材表面用于后續(xù)織構(gòu)化步驟的方法,所述方法包括:

a.通過使表面與清潔溶液接觸,從所述表面去除污染物,從而將所述表面轉(zhuǎn)變成經(jīng)過預清潔的表面;

b.用水性溶液對所述經(jīng)過預清潔的表面進行蝕刻,所述水性溶液包含12-19重量%,優(yōu)選13-18%的KOH和/或NaOH,從而將所述經(jīng)過預清潔的表面轉(zhuǎn)變成經(jīng)蝕刻的表面;

c.在7-10的pH,用水性介質(zhì)來清洗所述經(jīng)蝕刻的表面,從而將所述經(jīng)蝕刻的表面轉(zhuǎn)變成經(jīng)清洗、蝕刻的表面;以及

d.使所述經(jīng)清洗、蝕刻的表面與臭氧化的去離子水在2-4.5的pH接觸,從而將所述經(jīng)清洗、蝕刻的表面轉(zhuǎn)變成經(jīng)制備的表面。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,去除污染物包括使所述表面與包含反應(yīng)性氧物質(zhì)的溶液接觸。

3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,使所述表面與包含反應(yīng)性氧物質(zhì)的溶液接觸包括:使所述表面與臭氧化的去離子水在2-4.5,優(yōu)選2-4,更優(yōu)選2-3的pH接觸。

4.如權(quán)利要求2或3所述的方法,其特征在于,用于步驟a的所述臭氧化的去離子水的pH是在去離子水中存在HCl作為主要的酸或者僅有的酸的結(jié)果。

5.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,用于步驟d的所述臭氧化的去離子水的pH是2-4,優(yōu)選2-3。

6.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,步驟b包括:將所述經(jīng)過預清潔的表面浸入水性溶液的浴中,所述水性溶液包含12-19重量%,優(yōu)選13-18%的KOH和/或NaOH。

7.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,用于步驟c的所述水性介質(zhì)的溫度是30-60℃,優(yōu)選40-50℃。

8.如權(quán)利要求1或2所述的方法,其特征在于,用于步驟c的所述水性介質(zhì)是去離子水。

9.一種對單晶硅基材表面進行織構(gòu)化的方法,該方法包括:通過權(quán)利要求1或2所述的方法來制備單晶硅基材表面,以及該方法還包括步驟e:用水性堿性溶液接觸所述經(jīng)制備的表面,對所述經(jīng)制備的表面進行織構(gòu)化,從而將所述經(jīng)制備的表面轉(zhuǎn)變成織構(gòu)化表面。

10.如權(quán)利要求9所述的方法,其特征在于,所述水性堿性溶液是如下物質(zhì)的水性溶液:

a.氫氧化鉀或氫氧化鈉;以及

b.異丙醇和/或表面活性劑。

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