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太陽能電池硅片的制絨方法與流程

文檔序號(hào):12614101閱讀:2349來源:國知局

本發(fā)明屬于太陽能電池制備技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種太陽能電池硅片的制絨方法。



背景技術(shù):

在太陽能電池表面的處理中,制絨是將硅表面進(jìn)行預(yù)清洗并用強(qiáng)堿或強(qiáng)酸腐蝕成類似金字塔狀或蜂窩狀結(jié)構(gòu)的過程。制絨的目的是其作用不僅可以降低表面的反射率,去除損傷層,而且還可以在電池的內(nèi)部形成光陷阱(減反射絨面),利用陷光原理,增加了光線在硅片體內(nèi)運(yùn)動(dòng)的有效長度,有利于硅基體對(duì)光線的吸收,從而提高太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。為此,人們嘗試了許多新的制絨工藝,這些方法都可以得到較好的絨面效果,但卻存在各種不足。機(jī)械刻槽由于刻槽深度較大,對(duì)硅片厚度要求較高,不適用于薄襯底太陽電池,變相提高了成本;蜂窩絨面結(jié)構(gòu)技術(shù)雖然具備出色的陷光效果,但工藝復(fù)雜不適合工業(yè)化生產(chǎn);電化學(xué)腐蝕法在大面積硅片上的制絨均勻性不穩(wěn)定。就目前工業(yè)化生產(chǎn)而言,普遍運(yùn)用的酸腐蝕液是硝酸和氫氟酸體系來制絨,但本領(lǐng)域的技術(shù)人員認(rèn)為基于硝酸和氫氟酸的酸腐蝕液是一種自催化反應(yīng),化學(xué)反應(yīng)的較為劇烈,制得的絨面腐蝕坑均勻性較差因此制得的多晶硅電池片質(zhì)量較低。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對(duì)以上問題提供一種基于硝酸和氫氟酸的酸腐蝕液及制得的絨面腐蝕坑均勻性較好的傳動(dòng)軸中間支撐用橡膠。

本發(fā)明解決以上問題所用的技術(shù)方案是:提供一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:2.0~3.6:2.4,KOH:水=7:120~160,HF:HCL:水=4:3~7:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 260~300ml,加入HNO3 90~140ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 5~20ml,加入水50~70ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 50~90ml,HCL 60~110ml,加入水10~50ml。

作為優(yōu)選,所述HF:HNO3:水=1:2.5~3.2:2.4。

作為更優(yōu)選,所述HF:HNO3:水=1:2.92:2.4。

作為優(yōu)選,所述KOH:水=7:130~155。

作為更優(yōu)選,所述KOH:水=7:150。

作為優(yōu)選,所述HF:HCL:水=4:4~6:10。

作為更優(yōu)選,所述HF:HCL:水=4:5.5:10。

作為優(yōu)選,所述第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 285ml,加入HNO3 115ml。

作為優(yōu)選,所述第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH12ml,加入水60ml。

作為優(yōu)選,所述第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 70.5ml,HCL 85ml,加入水25ml。

采用以上方法后,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果:

本發(fā)明采用這樣的組分配比硝酸和氫氟酸的酸腐蝕液及方法加工后,不需要其它添加劑就可制備絨面腐蝕坑均勻性較好的硅片,對(duì)光線的吸收率也就較高,且在生產(chǎn)過程中采用這樣的添液方式,使得生產(chǎn)的連續(xù)性較好,生產(chǎn)效率較高,從而可大幅降低生產(chǎn)成本。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合具體實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步描述。

實(shí)施例一

一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:2.0:2.4,KOH:水=7:160,HF:HCL:水=4:7:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 260ml,加入HNO3 90ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 5ml,加入水50ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 50ml,HCL 60ml,加入水10ml。三個(gè)槽中的液體每周全部更換一次新的。

實(shí)施例二

一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:3.6:2.4,KOH:水=7:160,HF:HCL:水=4:7:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 300ml,加入HNO3 140ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 20ml,加入水70ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 90ml,HCL 110ml,加入水50ml。三個(gè)槽中的液體每周全部更換一次新的。

實(shí)施例三

一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:2.92:2.4,KOH:水=7:150,HF:HCL:水=4:5.5:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 285ml,加入HNO3 115ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 12ml,加入水60ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF70.5ml,HCL85ml,加入水25ml。三個(gè)槽中的液體每周全部更換一次新的。

實(shí)施例四

一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:2.5:2.4,KOH:水=7:130,HF:HCL:水=4:4:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 268ml,加入HNO3 100ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 7ml,加入水55ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF58.5ml,HCL 75ml,加入水20ml。三個(gè)槽中的液體每周全部更換一次新的。

實(shí)施例五

一種太陽能電池硅片的制絨方法,它包括以下步驟:

(1)將HF、HNO3和水的混合液、KOH和水的混合液以及HF、HCL和水的混合液分別放入到鏈?zhǔn)街平q機(jī)的第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽中,且體積比為:HF:HNO3:水=1:3.2:2.4,KOH:水=7:155,HF:HCL:水=4:6:10;所述水均為純水;

(2)啟動(dòng)鏈?zhǔn)街平q機(jī),使得鏈上的硅片依次通過第一個(gè)槽、第二個(gè)槽和第三個(gè)槽;在第一個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF 280ml,加入HNO3 130ml;在第二個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入KOH 18ml,加入水65.5ml;在第三個(gè)槽中每100片硅片通過后,加入HF80ml,HCL 100.5ml,加入水45.5ml。三個(gè)槽中的液體每周全部更換一次新的。

以上實(shí)施例僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例,本發(fā)明不僅限于以上實(shí)施例還允許有其它結(jié)構(gòu)變化,凡在本發(fā)明獨(dú)立權(quán)要求范圍內(nèi)變化的,均屬本發(fā)明保護(hù)范圍。

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