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半導(dǎo)體器件及其制造方法與流程

文檔序號:12129283閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施例提供了一種半導(dǎo)體器件,包括:FinFET組件;多個圖案化的偽半導(dǎo)體鰭,布置在所述FinFET組件的多個鰭旁;隔離結(jié)構(gòu),形成在所述圖案化的偽半導(dǎo)體鰭上;以及調(diào)整組件,形成在所述圖案化的偽半導(dǎo)體鰭上,并且電連接至所述FinFET組件。所述圖案化的偽半導(dǎo)體鰭的高度比所述FinFET組件的鰭的高度短。本發(fā)明的實施例還提供了一種制造半導(dǎo)體器件的方法。

技術(shù)研發(fā)人員:黃鉦謙;劉繼文;曾鴻輝;江宗育
受保護(hù)的技術(shù)使用者:臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼:201610728449
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.26
技術(shù)公布日:2017.03.15

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