技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種圖像傳感器結(jié)構(gòu)及其制作方法，通過在CMOS圖像傳感器結(jié)構(gòu)中金屬間介質(zhì)層上的像素陣列之間設(shè)置網(wǎng)格狀介質(zhì)薄膜，將其網(wǎng)格溝槽中疊設(shè)的接觸下電極、光敏薄膜分割為與像素對(duì)應(yīng)的水平陣列，形成電場(chǎng)隔離，使得各分割的光敏薄膜產(chǎn)生的載流子只能匯聚到其下對(duì)應(yīng)的接觸下電極上而不會(huì)到達(dá)周圍像素，從而限制了光生載流子的運(yùn)動(dòng)方向，達(dá)到減小像素間串?dāng)_的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：耿陽(yáng);胡少堅(jiān);陳壽面
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海集成電路研發(fā)中心有限公司
文檔號(hào)碼：201610601001
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.27
技術(shù)公布日：2016.12.07