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薄膜晶體管基板和包括該薄膜晶體管基板的顯示裝置的制作方法

文檔序號(hào):12613819閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種薄膜晶體管基板,所述薄膜晶體管基板包括:

下保護(hù)金屬層,所述下保護(hù)金屬層位于基板上;

緩沖層,所述緩沖層位于所述下保護(hù)金屬層上;

半導(dǎo)體層,所述半導(dǎo)體層位于所述緩沖層上并且包括溝道區(qū)、多個(gè)輕摻雜區(qū)、源極區(qū)和漏極區(qū);

第一絕緣膜,所述第一絕緣膜位于所述半導(dǎo)體層上;

柵極,所述柵極位于所述第一絕緣膜上并且與所述下保護(hù)金屬層連接;

第二絕緣膜,所述第二絕緣膜位于所述柵極上;

源極和漏極,所述源極和所述漏極位于所述第二絕緣膜上,并且所述源極與所述源極區(qū)連接以及所述漏極與所述漏極區(qū)連接;以及

第一電極,所述第一電極與所述漏極連接,

其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊并且不與所述輕摻雜區(qū)交疊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層的寬度小于所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)的寬度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)和所述輕摻雜區(qū)交疊并且不與所述源極區(qū)和所述漏極區(qū)交疊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層的寬度大于所述溝道區(qū)的寬度并且小于所述溝道區(qū)的寬度與所述輕摻雜區(qū)的寬度之和。

6.一種薄膜晶體管基板,所述薄膜晶體管基板包括:

下保護(hù)金屬層,所述下保護(hù)金屬層位于基板上;

緩沖層,所述緩沖層位于所述下保護(hù)金屬層上;

半導(dǎo)體層,所述半導(dǎo)體層位于所述下保護(hù)金屬層上并且包括溝道區(qū)、多個(gè)輕摻雜區(qū)、源極區(qū)和漏極區(qū);

第一絕緣膜,所述第一絕緣膜位于所述半導(dǎo)體層上;

柵極,所述柵極位于所述第一絕緣膜上;

第二絕緣膜,所述第二絕緣膜位于所述柵極上;

漏極,所述漏極位于所述第二絕緣膜上并且與所述漏極區(qū)連接;

源極,所述源極與所述源極區(qū)和所述下保護(hù)金屬層連接;以及

第一電極,所述第一電極與所述漏極連接,

其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊并且不與所述輕摻雜區(qū)交疊。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層的寬度小于所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)的寬度。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)和所述輕摻雜區(qū)交疊并且不與所述源極區(qū)和所述漏極區(qū)交疊。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層的寬度大于所述溝道區(qū)的寬度并且小于所述溝道區(qū)的寬度與所述輕摻雜區(qū)的寬度之和。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)、所述輕摻雜區(qū)、所述源極區(qū)和所述漏極區(qū)交疊。

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜晶體管基板,其中,所述下保護(hù)金屬層的寬度小于所述半導(dǎo)體層的總體寬度并且大于所述溝道區(qū)的寬度與所述輕摻雜區(qū)的寬度之和。

13.一種薄膜晶體管基板,所述薄膜晶體管基板包括:

下保護(hù)金屬層,所述下保護(hù)金屬層位于基板上;

緩沖層,所述緩沖層位于所述下保護(hù)金屬層上;

半導(dǎo)體層,所述半導(dǎo)體層位于所述緩沖層上并且包括溝道區(qū)、多個(gè)輕摻雜區(qū)、源極區(qū)和漏極區(qū);

第一絕緣膜,所述第一絕緣膜位于所述半導(dǎo)體層上;

柵極,所述柵極位于所述第一絕緣膜上并且與所述下保護(hù)金屬層連接;

第二絕緣膜,所述第二絕緣膜位于所述柵極上;

源極和漏極,所述源極和所述漏極位于所述第二絕緣膜上,并且所述源極與所述源極區(qū)連接以及所述漏極與所述漏極區(qū)連接;

第一電極,所述第一電極與所述漏極連接;

有機(jī)層,所述有機(jī)層位于所述第一電極上;以及

第二電極,所述第二電極位于所述有機(jī)層上,

其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊。

14.一種薄膜晶體管基板,所述薄膜晶體管基板包括:

下保護(hù)金屬層,所述下保護(hù)金屬層位于基板上;

緩沖層,所述緩沖層位于所述下保護(hù)金屬層上;

半導(dǎo)體層,所述半導(dǎo)體層位于所述下保護(hù)金屬層上并且包括溝道區(qū)、多個(gè)輕摻雜區(qū)、源極區(qū)和漏極區(qū);

第一絕緣膜,所述第一絕緣膜位于所述半導(dǎo)體層上;

柵極,所述柵極位于所述第一絕緣膜上;

第二絕緣膜,所述第二絕緣膜位于所述柵極上;

漏極,所述漏極位于所述第二絕緣膜上并且與所述漏極區(qū)連接;

源極,所述源極與所述源極區(qū)和所述下保護(hù)金屬層連接;

第一電極,所述第一電極與所述漏極連接;

有機(jī)層,所述有機(jī)層位于所述第一電極上;以及

第二電極,所述第二電極位于所述有機(jī)層上,

其中,所述下保護(hù)金屬層與所述半導(dǎo)體層的所述溝道區(qū)交疊。

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