技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了微腔室激光加工系統(tǒng)和使用局部化的工藝氣體氣氛的方法。所述方法包含加工具有表面的襯底：通過提供工藝氣體至包含該襯底的該表面的該微腔室的中央?yún)^(qū)域和提供簾氣體至包含該襯底的該表面的該腔室的周邊區(qū)域。該方法還包含提供真空至該腔室的區(qū)域，該區(qū)域介于該腔室的中央?yún)^(qū)域與周邊區(qū)域之間，其中真空移除工藝氣體和簾氣體，由此在該腔室的該中央?yún)^(qū)域中的該襯底的該表面和該腔室的該周邊區(qū)域中的該簾氣體的氣簾處形成局部化的工藝氣體氣氛。該方法還包含采用形成激光線的激光束穿過該局部化的工藝氣體氣氛照射該襯底的該表面，以在該襯底的該表面上執(zhí)行激光工藝。

技術(shù)研發(fā)人員：J·麥克沃特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：超科技公司
文檔號(hào)碼：201610384441
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.02
技術(shù)公布日：2016.12.21