技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種鍵合設(shè)備，通過在上壓盤組件與傳動裝置之間設(shè)置柔性壓盤，上壓盤組件的柔性壓盤位于真空腔體內(nèi)部，由于柔性壓盤為可伸縮結(jié)構(gòu)，當柔性壓盤伸長或者膨脹體積增大時，柔性壓盤給予與其連接的上壓盤組件向下的壓力，從而使得上壓盤組件緩慢向下移動，直至上壓盤組件與下壓盤組件皆均勻緊貼鍵合對象后，柔性壓盤繼續(xù)給予上壓盤組件向下的壓力，這樣使得上壓盤組件能夠?qū)︽I合對象均勻施壓，且由于柔性壓盤具有柔性，其伸長或者體積膨脹時較為緩慢，因此保證了上壓盤組件施力的緩慢性和均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：付輝;商飛祥
受保護的技術(shù)使用者：上海微電子裝備（集團）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.29
技術(shù)公布日：2017.11.07