技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種改善鰭式場效應(yīng)管性能的方法，包括：形成覆蓋襯底表面以及鰭部側(cè)壁表面的隔離層，所述隔離層暴露出第一厚度的鰭部；對高于隔離層的鰭部進(jìn)行退火處理，所述退火處理適于提高所述鰭部頂部拐角的圓滑度，其中，所述退火處理在含有H2的氛圍下進(jìn)行；在進(jìn)行所述退火處理之后，去除第二厚度的隔離層形成隔離結(jié)構(gòu)；在形成所述隔離結(jié)構(gòu)之后，對所述高于隔離結(jié)構(gòu)的鰭部進(jìn)行氧化處理，在鰭部的頂部和側(cè)壁表面形成氧化層。本發(fā)明通過退火處理改善鰭部頂部拐角區(qū)域的圓滑度，使得形成的氧化層厚度均勻性得到提高，同時還避免鰭部底部的寬度尺寸變大，因此形成的鰭式場效應(yīng)管的可靠性和電學(xué)性能均得到提高。

技術(shù)研發(fā)人員：李勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國際集成電路制造(北京)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.05
技術(shù)公布日：2017.10.24